一种硅异质结太阳能电池铜金属化的方法

技术特征：
1.一种硅异质结太阳能电池铜金属化的方法，其特征在于，包括如下步骤：s1、镀前处理：将图形化硅异质结太阳能电池进行镀前处理；s2、化学镀铜处理：通过化学镀铜方法在图形化硅异质结太阳能电池的透明导电薄膜上进行化学镀铜工艺制备种子层；s3、电镀铜处理：然后再将图形化硅异质结太阳能电池进行铜电镀工艺处理，得到金属铜电极。2.根据权利要求1所述的一种硅异质结太阳能电池铜金属化的方法，其特征在于，步骤s1中，镀前处理按照如下方法进行：s11、清洗：将图形化硅异质结太阳能电池置于20～40℃的无水乙醇中清洗1～10分钟；s12、除油：将清洗后的图形化硅异质结太阳能电池置于20～40℃的除油液除油1～8分钟，然后用自来水或去离子水清洗1～3分钟；s13、刻蚀：将除油后的图形化硅异质结太阳能电池置于20～40℃的刻蚀液中进行粗化处理1～8分钟，然后用去离子水清洗1～3分钟；s14、敏化：将刻蚀后的图形化硅异质结太阳能电池置于20～40℃的敏化液中敏化3～10分钟；s15、活化：将敏化后的图形化硅异质结太阳能电池置于20～40℃的活化液中敏化3～10分钟，然后用去离子水清洗1～3分钟；s16、还原：将活化后的图形化硅异质结太阳能电池置于20～40℃的10～20g/l nah2po2·
h2o还原液中还原1～5分钟，然后用去离子水清洗1～3分钟。3.根据权利要求2所述的一种硅异质结太阳能电池铜金属化的方法，其特征在于，步骤s12中，除油液的配方包括如下组分：10～30g/l naoh、20～30g/l na2co3、20～30g/l na3po4·
12h2o、10～15na2sio3以及1～3g/l曲拉通x-100。4.根据权利要求2所述的一种硅异质结太阳能电池铜金属化的方法，其特征在于，步骤s13中，刻蚀液的配方包括如下组分：20～30ml/l h2o2、35～45g/l na2so4、10～15g/l nh4f、15～25g/l柠檬酸以及1～2ml/l h2so4。5.根据权利要求2所述的一种硅异质结太阳能电池铜金属化的方法，其特征在于，步骤s14中，敏化液的配方包括如下组分：4～6g/l nacn、8～12g/l乙二胺以及8～12g/l cucl。6.根据权利要求2所述的一种硅异质结太阳能电池铜金属化的方法，其特征在于，步骤s15中，活化液配方包括如下组分：0.2～0.8g/l pdcl2和3～7ml/l浓盐酸。7.根据权利要求2所述的一种硅异质结太阳能电池铜金属化的方法，其特征在于，步骤s2中，化学镀铜处理的具体步骤如下：将还原后的图形化硅异质结太阳能电池置于60～90℃的化学镀液中化镀2～10分钟，然后用自来水或去离子水清洗1～3分钟。8.根据权利要求7所述的一种硅异质结太阳能电池铜金属化的方法，其特征在于，化学镀铜液配方包括如下组分：5～30g/l cuso4·
5h2o、5～30g/l nah2po2·
h2o、5～30g/l柠檬酸、2～20g/l nach3coo
·
3h2o、1～8g/l十二烷基苯磺酸钠以及1～5mg/l硫脲。9.根据权利要求8所述的一种硅异质结太阳能电池铜金属化的方法，其特征在于，步骤s3中，电镀铜处理的具体步骤如下：将化学镀铜后的图形化硅异质结太阳能电池置于电镀液中与电源负极相连，磷铜板置
于电镀液中与电源正极相连，20～40℃下电镀5～30分钟，然后用去离子水清洗1～3分钟，最后吹干或烘干，即可在图形化硅异质结太阳能电池上制得附着力和导电性良好的金属铜电极。10.根据权利要求9所述的一种硅异质结太阳能电池铜金属化的方法，其特征在于，电镀液的配方包括如下组分：150～220g/l cuso4·
5h2o、50～100ml/l浓硫酸、0.02～0.08g/l氯离子、0.001～0.01g/l聚二硫二丙烷磺酸钠、0.1～0.3ml/l聚乙二醇以及0.001～0.02ml/l 5-氨基-1,3,4-噻二唑-2-硫醇。

技术总结
本发明公开了一种硅异质结太阳能电池铜金属化的方法，涉及晶硅太阳能电池及半导体制造技术领域，包括S1、将图形化硅异质结太阳能电池进行镀前处理；S2、通过化学镀铜方法在图形化硅异质结太阳能电池的透明导电薄膜上进行化学镀铜工艺制备种子层；S3、然后再将图形化硅异质结太阳能电池进行铜电镀工艺处理，得到金属铜电极。本发明设计合理，提供的先化学镀铜再电镀铜的硅异质结太阳能电池金属化方法，可控制铜栅线宽度小于30μm，真正实现硅异质结太阳能电池的降本增效。质结太阳能电池的降本增效。质结太阳能电池的降本增效。


技术研发人员：孙善富 张春福 程鹏飞 王莹麟 郝熙东 许录平
受保护的技术使用者：西安电子科技大学
技术研发日：2023.07.18
技术公布日：2023/10/25