微机械部件和形成层结构的方法与流程

本发明涉及微机械部件。本发明还涉及形成层结构的方法。背景技术：de102007051537b4描述了光学多层镜，其据称可用作例如法布里-珀罗干涉仪（fabry-perot-interferometer......

2024-07-27 66

#形成层#微机#部件