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基于仿生学的纤毛光学流体传感器阵列及流场测试方法
本发明涉及mems流体传感,特别是涉及基于仿生学的纤毛光学流体传感器阵列及流场测试方法。背景技术:1、流体测量技术被广泛应用在我们生活中的各个领域,包括军用,民用和生物医学领域等。流体测量主要包括对典......
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差分电容式纤毛水听器及其制造方法
1.本发明涉及cmos-mems集成的传感器制造技术领域,具体是一种差分电容式纤毛水听器及其制备方法。背景技术:2.当前,声波是唯一能在水下进行远距离信息传输的载体,我们对海洋进行探索和研究主要采用水......
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扭转式仿生纤毛流速传感器装置
本发明涉及微机电技术领域的传感器技术领域,具体地,涉及一种扭转式仿生纤毛流速传感器装置。背景技术:流速和壁面剪应力传感器是流体测量中重要的传感器,它们被广泛地用于环境气象监测、流体传输的过程控制、飞行......
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基于MEMS的压电式仿生耳蜗纤毛感受器及其加工方法与流程
本发明涉及mems在助听方面的应用技术领域,具体为一种基于mems的压电式仿生耳蜗纤毛感受器及其加工方法。背景技术:在全球范围内,听力损失的社会和经济影响相当大。据世界卫生组织(who)估计,全世界有......