一种全差分李萨如调频MEMS陀螺仪

本发明属于微机电，具体涉及一种全差分李萨如调频mems陀螺仪。背景技术：1、陀螺仪是一种检测外部输入角速率或角度的惯性传感器，mems陀螺仪具有尺寸小、功耗低、成本低等特点，在图像稳定、室内导航、可穿......

2024-11-21 42

#陀螺仪#差分#李萨如