一种高效全氢罩式退火炉的制作方法

1.本实用新型涉及退火炉技术领域，具体为一种高效全氢罩式退火炉。


背景技术：

2.退火炉是在半导体器件制造中使用的一种工艺，其包括加热多个半导体晶片以影响其电性能。热处理是针对不同的效果而设计的。可以加热晶片以激活掺杂剂，将薄膜转换成薄膜或将薄膜转换成晶片衬底界面，使致密沉积的薄膜，改变生长的薄膜的状态，修复注入的损伤，移动掺杂剂或将掺杂剂从一个薄膜转移到另一个薄膜或从薄膜进入晶圆衬底。退火炉可以集成到其他炉子处理步骤中，例如氧化，或者可以自己处理。退火炉是由专门为加热半导体晶片而设计的设备完成的。退火炉是节能型周期式作业炉，超节能结构，采用纤维结构。
3.现有的全氢罩式退火炉的罩体无法有效的对内部进行保温和隔热，并且罩体的密封效果不佳，使得退火腔内部会出现气体外泄，增加加热所需时间，并且现有的罩体在固定到退火炉上方时，操作不方便，并且罩体取出时，同样步骤繁多。


技术实现要素：

4.本实用新型的目的在于提供一种高效全氢罩式退火炉，以解决上述背景技术中提出的问题。
5.为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种高效全氢罩式退火炉，包括炉体，所述炉体内部设置有退火腔，所述炉体内壁上端内部设置有第一活动槽，第一活动槽内部设置有推杆，推杆上端设置有第一移槽，第一移槽上端设置有顶杆，所述推杆外侧固定连接按块，所述炉体上端固定连接第一固定块，第一固定块内部设置有第二活动槽，第二活动槽内部设置有传动结构，所述炉体上端设置有罩体，罩体底部固定连接隔热层，隔热层外侧设置有橡胶垫，所述隔热层底部固定连接保温层，所述罩体底部外侧固定连接第二固定块，第二固定块内部设置有卡接结构。
6.优选的，所述第一移槽内侧设置为斜面，顶杆底部紧贴第一移槽内侧斜面，顶杆贯穿炉体并延伸至第二活动槽内，推杆外侧贯穿炉体并延伸至外侧，按块位于炉体外侧。
7.优选的，所述炉体上端左右对称设置有两块第一固定块，每个第一固定块内部均设置有第二活动槽，每个第二活动槽内部均设置有传动结构，第一移槽对应第一固定块设置有两个，每个第一移槽上端均设置有顶杆。
8.优选的，所述传动结构包括滑槽、滑块、移块、第二移槽，滑槽位于第二活动槽上端，滑槽底部连通第二活动槽，滑槽内部设置有滑块，滑块底部固定连接移块，移块底部设置有第二移槽，第二移槽内侧设置为斜面，顶杆顶部紧贴第二移槽内侧斜面。
9.优选的，所述卡接结构包括卡接腔、弹簧、移板、卡接块，所述卡接腔位于第二固定块内部，卡接腔内部设置有弹簧，弹簧外侧固定连接移板，移板以弹簧为中心左右对称设置有两块，每块移板外侧固定连接卡接块，卡接块外侧底部设置为斜面。
10.与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：
11.1.通过罩体底部设置保温层，可以对内部退火腔进行保温，罩体底部设置隔热层，可以防止退火腔内部温度传递到罩体，避免罩体自身温度出现上上，隔热层外侧设置橡胶垫，可以很好的对退火腔内部进行密封，使得退火腔内部不会出现气体外泄，保证整体退火炉的气密性，降低加热所需时间。
12.2.通过卡接结构，可以方便罩体固定在炉体上方，方便将罩体的固定，通过推杆配合传动结构，可以方便将罩体取下，减少了安装罩体取下罩体的步骤，减少所需时间，增加生产效率，提高经济效益。
附图说明
13.图1为本实用新型立体图；
14.图2为本实用新型剖面图；
15.图3为本实用新型传动结构示意图。
16.图中：炉体1、退火腔2、第一活动槽3、推杆4、第一移槽5、顶杆6、按块7、第一固定块8、传动结构9、第二活动槽10、罩体11、橡胶垫12、隔热层13、保温层14、第二固定块15、卡接结构16、卡接腔17、弹簧18、移板19、卡接块20、滑槽91、滑块92、移块93、第二移槽94。
具体实施方式
17.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
18.请参阅图1至图3，本实用新型提供一种技术方案：一种高效全氢罩式退火炉，包括炉体1，炉体1内部设置有退火腔2，炉体1内壁上端内部设置有第一活动槽3，第一活动槽3内部设置有推杆4，推杆4上端设置有第一移槽 5，第一移槽5上端设置有顶杆6，推杆4外侧固定连接按块7，炉体1上端固定连接第一固定块8，第一固定块8内部设置有第二活动槽10，第二活动槽10内部设置有传动结构9，炉体1上端设置有罩体11，罩体11底部固定连接隔热层13，隔热层13外侧设置有橡胶垫12，隔热层13底部固定连接保温层14，罩体11底部外侧固定连接第二固定块15，第二固定块15内部设置有卡接结构16。
19.第一移槽5内侧设置为斜面，顶杆6底部紧贴第一移槽5内侧斜面，顶杆6贯穿炉体1并延伸至第二活动槽10内，推杆4外侧贯穿炉体1并延伸至外侧，按块7位于炉体1外侧，推杆4可以通过第一移槽5将顶杆6向上推动。
20.炉体1上端左右对称设置有两块第一固定块8，每个第一固定块8内部均设置有第二活动槽10，每个第二活动槽10内部均设置有传动结构9，第一移槽5对应第一固定块8设置有两个，每个第一移槽5上端均设置有顶杆6，第一固定块8可以通过第二活动槽10将卡接块20固定。
21.传动结构9包括滑槽91、滑块92、移块93、第二移槽94，滑槽91位于第二活动槽10上端，滑槽91底部连通第二活动槽10，滑槽91内部设置有滑块92，滑块92底部固定连接移块93，移块93底部设置有第二移槽94，第二移槽94内侧设置为斜面，顶杆6顶部紧贴第二移槽
94内侧斜面，传动结构9 可以将卡接块20推出第二活动槽10内。
22.卡接结构16包括卡接腔17、弹簧18、移板19、卡接块20，所述卡接腔 17位于第二固定块15内部，卡接腔17内部设置有弹簧18，弹簧18外侧固定连接移板19，移板19以弹簧18为中心左右对称设置有两块，每块移板19 外侧固定连接卡接块20，卡接块20外侧底部设置为斜面，卡接结构6可以将罩体11固定在炉体1上方。
23.工作原理：
24.安装时，首先将罩体11底部的保温层14对准退火腔2，将第二固定块 15对准两个第一固定块8之间的槽口，将罩体11向下按动，固定块15进入两个第一固定块8之间的槽口，卡接块20底部的斜面收到挤压，卡接块20 回到卡接腔17内部，当第二固定块15完全进入后，第二活动槽10对准卡接块20，弹簧18推动移板19向外侧移动，移板19推动卡接块20向外侧移动，卡接块20进入第二活动槽10，完成将罩体11固定在炉体1顶部。需要将罩体取下时，首先将按块7向内部安东，按块7推动推杆4沿第一活动槽3向内部移动，推杆4通过第一移槽5外侧的斜面与顶杆6底部的摩擦，推动顶杆6向上移动，通过顶杆6顶部的与第二移槽94内侧斜面的摩擦，推动移块93向内侧移动，移块93将卡接块20推回卡接腔17内部，就可以将罩体11 取下。
25.尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。