两平动一转动大行程无耦合并联压电微动平台的制作方法

技术特征：

技术总结
本发明公开了两平动一转动大行程无耦合并联压电微动平台，包括用作承载物体的动台面，动台面的下方间隙设有定台体，定台体的中间设有第一容纳槽，第一容纳槽间隙设有螺固于动台面的动台体；动台体还设有第一传导部、第二传导部和第三传导部；定台体在位于第一容纳槽的边缘设有间隙容纳第二柔性薄板的第三容纳槽；第一传导部、第二传导部和第三传导部的各自刚性部的第一驱动单元、第二驱动单元和第三驱动单元；通过对第一驱动单元、第二驱动单元和第三驱动单元的驱动实现动台体及动台面在水平面内的两平动及一转动。本发明的优点是平台整体结构简单紧凑、工作台面大、位移行程大、无寄生位移、固有频率高、易于集成位移式传感器。

技术研发人员：崔玉国;张圣贤;娄军强;马剑强;周鹏飞;惠相君
受保护的技术使用者：宁波大学
技术研发日：2019.01.30
技术公布日：2019.06.14