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一种快速制备类金刚石薄膜的方法与流程

2021-09-25 01:12:00 来源:中国专利 TAG:金刚石 制备 改性 薄膜 表面

技术特征:
1.一种快速制备类金刚石薄膜的方法,其特征在于:包括如下的步骤:(1)将样品或试样衬底经研磨、抛光后,采用去离子水、丙酮和酒精依次进行除油、除垢预处理;(2)将预处理后的样品固定在特制的试样夹上,再将固定好的样品(阴极)和阳极电极固定在电解液容器(装置)的顶盖上,保证样品与电极平行,样品与电极的间距为5

10mm;(3)配置一定比例的碳源 电解质 水的电解液,在电解液容器(装置)中加入电解液,保证电解液的液面高于阴极和阳极电极20mm以上,确保反应过程中样品始终处于电解液液面以下,盖上顶盖;(4)开启电解液容器(装置)冷却循环水和电解液搅拌装置,启动电源,施加100

350v的电压,保持3

30min,即可制备出厚度为1

30μm的类金刚石薄膜。2.根据权利要求1中所述的一种快速制备类金刚石薄膜的方法,其特征在于:所述步骤(1)和步骤(2)中所用样品衬底可以是金属、单晶si以及ito玻璃等一系列材料中的任一种材料。3.根据权利要求1中所述的一种快速制备类金刚石薄膜的方法,其特征在于:所述的样品衬底的预处理,若为碳钢、不锈钢等金属类材料,则需要先经过热处理工艺后再进行研磨、抛光和除油、除垢预处理;若为非金属类材料,直接进行研磨、抛光和除油、除垢预处理。4.根据权利要求1中所述的一种快速制备类金刚石薄膜的方法,其特征在于:所述的特制的试样夹是铂片,或聚四氟乙烯材料制成的导电u型电极夹;所述的电解液容器(装置)是玻璃材质的烧杯、方形玻璃容器,或亚克力材质的方形耐高温容器;所述的电解液容器(装置)顶盖是特制尺寸的玻璃或亚克力树脂板。5.根据权利要求1中所述的一种快速制备类金刚石薄膜的方法,其特征在于:所述的阳极电极为高纯石墨板、铂片或钛基金属氧化物涂层板等,在制备过程中,阴极样品与阳极电极始终保持平行,电解液的液面高于阴极和阳极电极20mm以上,保证反应过程中样品始终处于电解液液面以下。6.根据权利要求1中所述的一种快速制备类金刚石薄膜的方法,其特征在于:所述的电解液中,碳源为20

50%甲醇,或20

50%二甲基亚砜,或20

50%冰醋酸等含碳的有机物或无机物;电解质为2

5%氯化钾或氯化钠或醋酸镍;所述的水为纯净水或去离子水。7.根据权利要求1中所述的一种快速制备类金刚石薄膜的方法,其特征在于:所述的电解液搅拌装置为内置磁砖子或外置搅拌器。

技术总结
本发明提供一种快速制备类金刚石薄膜的方法,包括如下的步骤:(1)将样品或试样衬底经研磨、抛光后,采用去离子水、丙酮和酒精依次进行除油、除垢预处理;(2)将预处理后的样品固定在特制的试样夹上,再将固定好的样品阴极和阳极电极固定在电解液容器装置的顶盖上;(3)配置一定比例的碳源 电解质 水的电解液,在电解液容器装置中加入电解液,盖上顶盖;(4)开启电解液容器装置冷却循环水和电解液搅拌装置,启动电源,施加100


技术研发人员:刘瑞良 边城鑫 宋天宇 李凌泽 杨前程
受保护的技术使用者:哈尔滨工程大学
技术研发日:2021.06.23
技术公布日:2021/9/24
再多了解一些

本文用于企业家、创业者技术爱好者查询,结果仅供参考。

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