连续镀敷装置的制作方法

本实用新型涉及连续镀敷装置。

背景技术：

在日本特开2018－3150号公报(专利文献1)中记载有连续镀敷装置。在该连续镀敷装置中，在基材输送至镀敷槽前，夹紧工具抓持着基材。

专利文献1：日本特开2018－3150号公报

技术实现要素：

本实用新型的目的在于，提供能够以稳定的状态抓持基材的连续镀敷装置。

本实用新型所涉及的连续镀敷装置具有镀敷槽、回收槽、轨道和夹紧工具。镀敷槽对镀敷液进行收容。回收槽与镀敷槽相接，且对从镀敷槽溢出的镀敷液进行回收。轨道配置于镀敷槽及回收槽各自的上方，且沿镀敷槽和回收槽所排列的方向延伸。夹紧工具具有沿轨道的内壁面移动的引导辊。轨道包含：内壁面的间隔为第1宽度的第1区域；第2区域，其从第1区域分离、且内壁面的间隔具有大于第1宽度的第2宽度；以及第3区域，其与第1区域及第2区域各自相连，位于第1区域和第2区域之间，随着从第1区域朝向第2区域而内壁面的宽度变大。第2区域及第3区域各自位于镀敷槽的上方。第1区域位于镀敷槽和回收槽的边界的上方。

实用新型的效果

根据本实用新型，能够提供能够以稳定的状态抓持基材的连续镀敷装置。

附图说明

图1是表示本实施方式所涉及的连续镀敷装置的结构的俯视示意图。

图2是表示本实施方式所涉及的连续镀敷装置的结构的侧视示意图。

图3是表示基材的输送机构的结构的侧视示意图。

图4是表示镀敷区域的结构的俯视示意图。

图5是沿图4的v－v线的剖面示意图。

图6是沿图4的vi－vi线的剖面示意图。

图7是表示闭合的状态下的连续镀敷装置用夹紧工具的结构的正面示意图。

图8是表示打开的状态下的连续镀敷装置用夹紧工具的结构的正面示意图。

图9是表示轨道的结构的局部剖面示意图。

图10是表示镀敷区域及镀敷区域的上方的结构的侧视示意图。

图11是表示镀敷区域及镀敷区域的上方的结构的俯视示意图。

标号的说明

1前处理区域

2镀敷区域

3后处理区域

4放卷机

5卷绕机

6第1轮

7第2轮

8链条

9电源

10连续镀敷装置用夹紧工具(夹紧工具)

11引导辊

12凸起部

13支撑部

14连接部件

15中央支撑部件

16支点轴部件

17基座板

18弹簧部件

19安装部件

20喷流管

21正极电极

22镀敷槽

23管部

24喷流孔

25镀敷液

27一端

28另一端

29基材抓持部件

30轨道

31内壁面

62回收槽

71边界板

72整流板

100连续镀敷装置

a基材

b行进方向

c方向

d轨迹

s1第1区域

s2第2区域

s3第3区域

s4第4区域

s5第5区域

w1第1宽度

w2第2宽度

w3第3宽度

w4间隔

具体实施方式

[本实用新型的实施方式的说明]

下面，基于附图对本实用新型的实施方式进行说明。此外，在下面的附图中对相同或者相当的部分标注同一参照编号，不重复其说明。

(1)本实用新型所涉及的连续镀敷装置100具有镀敷槽22、回收槽62、轨道30和夹紧工具10。镀敷槽22对镀敷液25进行收容。回收槽62与镀敷槽22相接，且对从镀敷槽22溢出的镀敷液25进行回收。轨道30配置于镀敷槽22及回收槽62各自的上方，且沿镀敷槽22和回收槽62所排列的方向延伸。夹紧工具10具有沿轨道30的内壁面31移动的引导辊11。轨道30包含：第1区域s1，其内壁面31的间隔为第1宽度w1；第2区域s2，其与第1区域s1分离、且内壁面31的间隔具有大于第1宽度w1的第2宽度w2；以及第3区域s3，其与第1区域s1及第2区域s2各自相连，位于第1区域s1和第2区域s2之间，且随着从第1区域s1朝向第2区域s2而内壁面31的宽度变大。第2区域s2及第3区域s3各自位于镀敷槽22的上方。第1区域s1位于镀敷槽22和回收槽62的边界的上方。

根据上述(1)所涉及的连续镀敷装置100，第2区域s2及第3区域s3各自位于镀敷槽22的上方。第1区域s1位于镀敷槽22和回收槽62的边界的上方。随着从第1区域s1朝向第2区域s2而内壁面31的宽度变大的第3区域s3位于第1区域s1和第2区域s2之间。夹紧工具10在第3区域s3开始抓持基材。因此，夹紧工具10不是在回收槽62中而在镀敷槽22中能够将基材抓持。因此，不会受到从镀敷槽22向回收槽62溢出的镀敷液25的影响，夹紧工具10能够将基材抓持。其结果，夹紧工具10能够以稳定的状态抓持基材。

(2)上述(1)所涉及的连续镀敷装置100可以具有：边界板71，其将镀敷槽22和回收槽62分隔；以及一对整流板72，它们设置于回收槽62内，且与边界板71相接。将一对整流板72之间配置为，使得基材经过一对整流板72之间，由此能够对由于从镀敷槽22向回收槽62溢出的镀敷液25的影响而基材抖动进行抑制。其结果，能够抑制抓持基材的位置从期望的位置偏移。

(3)在上述(2)所涉及的连续镀敷装置100中，一对整流板72的间隔w4可以小于第1宽度w1。

(4)上述(1)至(3)中任一项所涉及的连续镀敷装置100可以还具有将基材送出的放卷机4。可以是在基材的行进方向上，回收槽62位于放卷机4和镀敷槽22之间。

(5)上述(4)所涉及的连续镀敷装置100可以还具有将基材进行回收的卷绕机5。可以是在基材的行进方向上，镀敷槽22位于卷绕机5和回收槽62之间。

[本实用新型的实施方式的详细内容]

(连续镀敷装置)

首先，对本实用新型的一个实施方式(也称为本实施方式)所涉及的连续镀敷装置100的结构进行说明。

图1是表示本实施方式所涉及的使用夹紧工具的连续镀敷装置的结构的俯视示意图。如图1所示，连续镀敷装置100主要具有放卷机4、卷绕机5、前处理区域1、镀敷区域2和后处理区域3。放卷机4是将镀敷前的基材a送出的机械。镀敷前的基材a以辊状卷绕于放卷机4。卷绕机5是将镀敷后的基材a回收的机械。镀敷后的基材a以辊状卷绕于卷绕机5。基材a的种类并不特别受到限定，例如为ccl(coppercladlaminate)。ccl例如是在聚酰亚胺层上形成有铜层。

图2是表示本实施方式所涉及的使用夹紧工具的连续镀敷装置的结构的侧视示意图。如图2所示，前处理区域1配置于放卷机4和镀敷区域2之间。镀敷区域2配置于前处理区域1和后处理区域3之间。后处理区域3配置于镀敷区域2和卷绕机5之间。

从放卷机4发出的基材a输送至前处理区域1。在前处理区域1中进行镀敷前的基材a的清洗。在前处理区域1中例如进行脱脂处理。具体地说，在前处理区域1中进行酸处理、水洗处理等。经过了前处理区域1的基材a输送至镀敷区域2。在镀敷区域2中对基材a进行镀敷处理。经过了镀敷区域2的基材a输送至后处理区域3。在后处理区域3中进行镀敷后的基材a的清洗。在后处理区域3中例如将附着于基材a的镀敷液25去除。在后处理区域3中进行水洗处理、干燥处理等。

图3是表示基材的输送机构的结构的侧视示意图。如图3所示，连续镀敷装置100例如还具有多个夹紧工具10、第1轮6、第2轮7和链条8。第1轮6在从镀敷区域2观察时配置于前处理区域1侧。第2轮7在从镀敷区域2观察时配置于后处理区域3侧。链条8安装于第1轮6及第2轮7。第1轮6及第2轮7旋转，由此链条8旋转。

在链条8安装有多个夹紧工具10。下侧的链条8的行进方向与基材a的行进方向b相同。上侧的链条8的行进方向与基材a的行进方向b相反。在经过了第1轮6的链条8的部分安装的夹紧工具10抓持基材a。在夹紧工具10正在经过镀敷区域2之上的期间，夹紧工具10在抓持着基材a的状态下输送基材a。在接近第2轮7的链条8的部分安装的夹紧工具10放开基材a。将基材a放开的夹紧工具10绕第2轮7进行旋转。

图4是表示镀敷区域的结构的俯视示意图。如图4所示，镀敷区域2主要具有镀敷槽22、镀敷液25、正极电极21和喷流管20。如图4所示，正极电极21和喷流管20沿与基材a的行进方向b平行的方向交替地配置。正极电极21设置于基材a的两侧。喷流管20设置于基材a的两侧。正极电极21的形状例如为板状。

图5是沿图4的v－v线的剖面示意图。如图5所示，一对正极电极21各自浸渍于镀敷液25。一对正极电极21各自与电源9的正极电连接。一对正极电极21中的一者与基材a的一个面相对。一对正极电极21的另一者与基材a的另一个面相对。夹紧工具10以夹着基材a的上端部的方式抓持基材a。夹紧工具10与电源9的负极电连接。经由夹紧工具10对基材a施加电压。夹紧工具10的一部分浸渍于镀敷液25。

图6是沿图4的vi－vi线的剖面示意图。如图6所示，一对喷流管20各自具有管部23和多个喷流孔24。在1个管部23形成的喷流孔24的数量并不特别受到限定，例如大于或等于5个而小于或等于10个。在一对喷流管20中的一者形成的多个喷流孔24与基材a的一个面相对。在一对喷流管20中的另一者形成的多个喷流孔24与基材a的另一个面相对。来自多个喷流孔24的镀敷液25朝向基材a的表面喷出。

(夹紧工具)

接下来，对连续镀敷装置用夹紧工具的结构进行说明。

图7是表示闭合的状态下的连续镀敷装置用夹紧工具的结构的正面示意图。如图7所示，本实施方式所涉及的连续镀敷装置用夹紧工具10主要具有一组支点轴部件16、一组连接部件14、一组基座板17、一组基材抓持部件29、一组引导辊11、一组弹簧部件18、中央支撑部件15和安装部件19。

一组连接部件14各自位于中央支撑部件15的两侧。一组引导辊11各自位于中央支撑部件15的两侧。一组弹簧部件18位于中央支撑部件15的两侧。一组连接部件14各自位于中央支撑部件15和一组基座板17各自之间。

一组连接部件14各自构成为能够绕一组支点轴部件16各自转动。连接部件14绕支点轴部件16转动是指连接部件14沿以支点轴部件16为中心的虚拟圆的圆弧而移动。一组连接部件14各自为棒状的部件。一组支点轴部件16各自可以安装于中央支撑部件15。

一组基座板17各自安装于一组连接部件14各自的一端侧。一组基材抓持部件29各自安装于一组连接部件14各自的另一端侧。在与将连接部件14的一端27和连接部件14的另一端28相连的直线平行的方向上，支点轴部件16位于连接部件14的一端27和连接部件14的另一端28之间。连接部件14的一端侧是指支点轴部件16和连接部件14的一端27之间的连接部件14的区域。连接部件14的另一端侧是指支点轴部件16和连接部件14的另一端28之间的连接部件14的区域。

一组引导辊11各自安装于一组基座板17中的各个基座板17。一组弹簧部件18各自位于中央支撑部件15和一组连接部件14中的各个连接部件14之间。一组基座板17各自位于一组支点轴部件16各自和一组引导辊11各自之间。

一组基材抓持部件29具有一组支撑部13和一组凸起部12。一组支撑部13各自安装于一组连接部件14各自的另一端侧。一组凸起部12各自安装于一组支撑部13中的各个支撑部13。一组凸起部12各自是与基材a接触的部分。安装部件19例如安装于链条8(参照图3)。

图8是表示打开的状态下的连续镀敷装置用夹紧工具的结构的正面示意图。如图8所示，如果沿从外侧朝向内侧的方向，对一组引导辊11各自施加外力，则一组引导辊11的间隔变小。从外侧朝向内侧的方向是指从一组引导辊11各自朝向中央支撑部件15的方向。通过减小一组引导辊11的间隔，从而一组连接部件14各自绕一组支点轴部件16转动。由此，一组基材抓持部件29的间隔变大。

在不对一组引导辊11各自施加外力的情况下，通过一组弹簧部件18的回弹力对一组连接部件14各自从中央支撑部件15向远离轨道30方向施加力。由此，一组连接部件14各自绕一组支点轴部件16转动。其结果，一组基材抓持部件29的间隔变小(参照图7)。通过在一组基材抓持部件29之间配置基材a，从而基材a被一组基材抓持部件29保持。

图9是表示轨道的结构的局部剖面示意图。如图9所示，轨道30主要具有第1区域s1、第2区域s2、第3区域s3、第4区域s4和第5区域s5。在第1区域s1，轨道30的内壁面31的间隔为第1宽度w1。在第2区域s2，轨道30的内壁面31的间隔为第2宽度w2。第2宽度w2大于第1宽度w1。第2区域s2与第1区域s1分离。第3区域s3位于第1区域s1和第2区域s2之间。第3区域s3与第1区域s1及第2区域s2各自相连。在第3区域s3，随着从第1区域s1朝向第2区域s2，轨道30的内壁面31的宽度变大。

在第4区域s4，轨道30的内壁面31的间隔为第3宽度w3。第3宽度w3大于第1宽度w1。第3宽度w3可以与第2宽度w2相同。第4区域s4与第1区域s1分离。第5区域s5位于第1区域s1和第4区域s4之间。第5区域s5与第1区域s1及第4区域s4各自相连。在第5区域s5，随着从第1区域s1朝向第4区域s4，轨道30的内壁面31的宽度变大。第1区域s1位于第5区域s5和第3区域s3之间。

如图9所示，一组引导辊11沿轨道30的内壁面31移动。轨道30例如配置于镀敷槽22的上方。轨道30例如沿基材a的行进方向b延伸。

一组引导辊11例如从第4区域s4朝向第2区域s2移动。在一组引导辊11位于第1区域s1的情况下，一组引导辊11的间隔变小。在该情况下，一组基材抓持部件29的间隔变大。从另一观点而言，一组基材抓持部件29打开。在一组引导辊11位于第2区域s2及第4区域s4各自的情况下，一组引导辊11的间隔变大。在该情况下，一组基材抓持部件29的间隔变小。从另一观点而言，一组基材抓持部件29闭合。

如果一组引导辊11沿从第1区域s1朝向第2区域s2的方向经过第3区域s3，则一组引导辊11的间隔逐渐地变大。一组基材抓持部件29的间隔逐渐地变小。从另一观点而言，一组基材抓持部件29逐渐地闭合。如果一组引导辊11沿从第4区域s4朝向第1区域s1的方向经过第5区域s5，则一组引导辊11的间隔逐渐地变小。一组基材抓持部件29的间隔逐渐地变大。从另一观点而言，一组基材抓持部件29逐渐地打开。如以上所述，一组引导辊11经过内壁面31的宽度不同的轨道30，由此能够对一组基材抓持部件29的开闭进行控制。

图10是表示镀敷区域及镀敷区域的上方的结构的侧视示意图。如图10所示，连续镀敷装置100具有轨道30(参照图9)。如图10所示，轨道30配置于镀敷区域2和链条8之间。轨道30配置于链条8的外周侧。镀敷区域2具有镀敷槽22和回收槽62。镀敷槽22对镀敷液25进行收容。回收槽62与镀敷槽22相接。回收槽62对从镀敷槽22溢出的镀敷液25进行回收。

镀敷槽22相对于回收槽62，位于基材a的行进方向b的前方。在基材a的行进方向b上，回收槽62位于放卷机4和镀敷槽22之间。在基材a的行进方向b上，镀敷槽22位于卷绕机5和回收槽62之间。

轨道30配置于镀敷槽22及回收槽62各自的上方。轨道30沿镀敷槽22和回收槽62所排列的方向延伸。从另一观点而言，轨道30沿基材a的行进方向b配置。如图10所示，在侧视观察时，位于回收槽62的上方的轨道30的形状可以为圆弧状。在侧视观察时，位于镀敷槽22的上方的轨道30可以具有直线状的部分和圆弧状的部分。

图11是表示镀敷区域及镀敷区域的上方的结构的俯视示意图。如图11所示，轨道30具有第1区域s1、第2区域s2、第3区域s3、第4区域s4和第5区域s5。如图11所示，第1区域s1位于镀敷槽22和回收槽62的边界的上方。第2区域s2及第3区域s3各自位于镀敷槽22的上方。第4区域及第5区域各自位于回收槽62的上方。

如图10及图11所示，连续镀敷装置100可以还具有边界板71和一对整流板72。边界板71将镀敷槽22和回收槽62分隔。边界板71可以为镀敷槽22的一部分，也可以为回收槽62的一部分。镀敷槽22和回收槽62也可以共有边界板71。镀敷液25会越过边界板71，从镀敷槽22向回收槽62溢出。一对整流板72例如设置于回收槽62内。一对整流板72例如与边界板71相接。一对整流板72可以从边界板71向与基材a的行进方向b相反的方向延伸。一对整流板72的间隔w4可以小于第1宽度w1。

如图10及图11所示，镀敷液25溢出的方向c与基材a的行进方向b相反。在图10中，虚线表示夹紧工具10的前端的轨迹d。在图10及图11中，双点划线表示基材a。如图11所示，第3区域s3位于镀敷槽22的上方。夹紧工具10在第3区域s3，开始抓持基材a。如图10所示，夹紧工具10不是在回收槽62中而是在镀敷槽22中开始抓持基材a。

接下来，对本实施方式所涉及的连续镀敷装置的作用效果进行说明。

根据本实施方式所涉及的连续镀敷装置100，第2区域s2及第3区域s3各自位于镀敷槽22的上方。第1区域s1位于镀敷槽22和回收槽62的边界的上方。随着从第1区域s1朝向第2区域s2而内壁面31的宽度变大的第3区域s3位于第1区域s1和第2区域s2之间。夹紧工具10在第3区域s3开始抓持基材。因此，夹紧工具10不是在回收槽62中而是在镀敷槽22中能够将基材抓持。因此，能够不受从镀敷槽22向回收槽62溢出的镀敷液25的影响而夹紧工具10抓持基材。其结果，夹紧工具10能够以稳定的状态将基材抓持。

另外，本实施方式所涉及的连续镀敷装置100可以具有：边界板71，其将镀敷槽22和回收槽62分隔；以及一对整流板72，它们设置于回收槽62内，且与边界板71相接。将一对整流板72之间配置为，使得基材经过一对整流板72之间，从而能够抑制由于从镀敷槽22向回收槽62溢出的镀敷液25的影响而基材抖动。其结果，能够对抓持基材的位置从期望的位置偏移进行抑制。

应该认为本次公开的实施方式在所有方面都是例示，且并不是限制性的内容。本实用新型的范围不是由上述的说明表示，而是由实用新型的权利要求书表示，包含与实用新型的权利要求书等同的含义以及范围内的全部变更。