气固分离结构、进料装置和电化学沉积设备的制作方法

技术特征：

1.一种气固分离结构，其特征在于，包括：

进料管路，所述进料管路上设置有第一阀门，所述进料管路包括相连的第一进料部和第二进料部；

出料管路，所述出料管路具有相对的第一开口和第二开口，所述第二进料部从所述第一开口伸入至所述出料管路中；

所述第二进料部与所述出料管路之间形成排气通道，所述出料管路与所述第二进料部相对的部分设置有排气孔，所述排气通道与所述排气孔连通。

2.根据权利要求1所述的气固分离结构，其特征在于，所述第二进料部的出料口的横截面积小于所述第二进料部的进料口的横截面积。

3.根据权利要求1所述的气固分离结构，其特征在于，沿远离所述第一进料部的方向，所述第二进料部的横截面积逐渐缩小。

4.根据权利要求1所述的气固分离结构，其特征在于，所述出料管路上设置有第二阀门，所述第二阀门与所述进料管路的出料口之间具有间隔。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的气固分离结构，其特征在于，所述排气孔沿所述出料管路的周向均匀分布。

6.根据权利要求1至4中任一项所述的气固分离结构，其特征在于，所述第一阀门设置在所述出料管路的第一开口处。

7.根据权利要求1至4中任一项所述的气固分离结构，其特征在于，所述进料管路与所述出料管路同轴设置。

8.一种进料装置，其特征在于，包括：供料源、输料管路、排气管路、药液搅拌槽以及如权利要求1至7中任一项所述的气固分离结构；

所述进料管路通过所述输料管路与所述供料源连通；

所述出料管路与所述药液搅拌槽的进料口连通，所述出料管路上的所述排气孔与所述排气管路连通。

9.根据权利要求8所述的进料装置，其特征在于，所述出料管路上设置有第二阀门；

所述进料装置还包括驱动器，所述驱动器被配置为，响应于排气控制信号的控制，驱动所述第二阀门打开；以及至少响应于第一进料控制信号的控制，驱动所述第一阀门打开。

10.根据权利要求9所述的进料装置，其特征在于，所述进料装置还包括湿度检测器，所述湿度检测器被配置为：监测所述出料管路中的湿度，并在所述出料管路中的湿度低于预设阈值时，生成第二进料控制信号；

所述驱动器还被配置为，响应于所述第一进料控制信号和所述第二进料控制信号的同时控制，驱动所述第一阀门打开。

11.一种电化学沉积设备，其特征在于，包括权利要求8至10中任一项所述的进料装置。

技术总结
本实用新型提供一种气固分离结构，涉及显示产品的生产领域，其中，气固分离结构包括：进料管路，所述进料管路上设置有第一阀门，所述进料管路包括相连的第一进料部和第二进料部；出料管路，所述出料管路具有相对的第一开口和第二开口，所述第二进料部从所述第一开口伸入至所述出料管路中；所述第二进料部与所述出料管路之间形成排气通道，所述出料管路与所述第二进料部相对的部分设置有排气孔，所述排气通道与所述排气孔连通。本实用新型还提供一种进料装置和电化学沉积设备。本实用新型可以改善进入出料管路中的气体干扰药粉投放的问题。

技术研发人员：孙少东;闫俊伟;袁广才;张国才;董士豪;张丽蕾;高浩然;付文悦;王成飞;潘小杰
受保护的技术使用者：京东方科技集团股份有限公司
技术研发日：2020.09.29
技术公布日：2021.08.20