移动体装置、移动方法、曝光装置、曝光方法、平板显示器的制造方法、以及元件制造方法与流程

技术特征：
1.一种移动体装置，其具备：第1移动体，保持物体，能往彼此交叉的第1及第2方向移动；第2移动体，其能往所述的第2方向移动；基准构件，于所述的第1及第2方向，作为所述的第1移动体的移动的基准；第1测量系统，通过设在所述的第1及第2移动体中的一方的第1读头、与设在另一方且具有所述的第1及第2方向的测量成分而能测量所述的第1移动体于所述的第1方向的移动范围的第1格子区域，来取得所述的第1移动体相对所述的基准构件的位置信息；第2测量系统，通过设在所述的第2移动体与所述的基准构件中的一方的第2读头、与设在另一方且具有所述的第1及第2方向的测量成分而能测量所述的第1移动体于所述的第2方向的移动范围的第2格子区域，来取得所述的第1移动体相对所述的基准构件的位置信息；以及控制系统，根据以所述的第1及第2测量系统取得的位置信息，控制相对所述的基准构件于所述的第1及第2方向的所述的第1移动体的位置；所述的第1测量系统，使所述的第1读头相对所述的第1格子区域一边往所述的第1方向移动、一边照射测量光束以取得所述的第1移动体的位置信息；所述的第2测量系统，使所述的第2读头相对所述的第2格子区域一边往所述的第2方向移动、一边照射测量光束以取得所述的第1移动体的位置信息。2.一种移动体装置，其具备：第1移动体，保持物体，能往彼此交叉的第1方向与第2方向移动；第1测量系统，其包含所述的第1及第2方向的测量成分的第1格子区域、与一边相对所述的第1格子区域往所述的第1方向移动一边照射测量光束的第1读头中的一方设于所述的第1移动体，以测量于所述的第1及第2方向的所述的第1移动体的位置信息；第2移动体，其设有所述的第1格子区域与所述的第1读头中的另一方，能往所述的第2方向移动；第2测量系统，其包含所述的第1及第2方向的测量成分的第2格子区域、与一边相对所述的第2格子区域往所述的第2方向移动一边照射测量光束的第2读头中的一方设于所述的第2移动体，第2格子区域与所述的第2格子区域中的另一方以和所述的第2移动体对向的方式设置，以测量于所述的第1及第2方向的所述的第2移动体的位置信息；以及控制系统，根据以所述的第1及第2测量系统测量的所述的位置信息，进行于所述的第1及第2方向的所述的第1移动体的移动控制。3.一种移动体装置，其具备：第1移动体，保持物体，能往彼此交叉的第1方向与第2方向移动；第2移动体，其能往所述的第2方向移动；第1测量系统，其包含所述的第1及第2方向的测量成分的第1格子区域、与一边相对所述的第1格子区域往所述的第1方向移动一边照射测量光束的第1读头中的一方设于所述的第1移动体，所述的第1格子区域与所述的第1格子区域中的另一方以和所述的第1移动体对向的方式设置，以测量于所述的第1方向的所述的第1移动体的位置信息；第2测量系统，其包含所述的第1及第2方向的测量成分的第2格子区域、与一边相对所述的第2格子区域往所述的第2方向移动一边照射测量光束的第2读头中的一方设于所述的
第2移动体，第2格子区域与所述的第2格子区域中的另一方以和所述的第2移动体对向的方式设置，以测量于所述的第2方向的所述的第2移动体的位置信息；第3测量系统，测量所述的第1格子区域与所述的第1格子区域中的另一方、与第2格子区域与所述的第2格子区域中的另一方的相对位置信息；以及控制系统，根据以所述的第1、第2及第3测量系统测量的所述的位置信息，进行于所述的第1及第2方向的所述的第1移动体的移动控制。4.一种移动体装置，相对第1构件使物体移动，其具备：第1移动体，保持所述的物体，能相对所述的第1构件往彼此交叉的第1及第2方向移动；第2移动体，其能相对所述的第1物体往所述的第2方向移动；驱动系统，使所述的第1及第2移动体往所述的第2方向移动；第1测量系统，其具有设在所述的第1及第2移动体中的一方的第1读头、与设在另一方的第1格子区域，通过所述的第1读头及所述的第1格子区域取得关于所述的第1移动体与所述的第2移动体的相对位置的第1位置信息；第2测量系统，其具有设在所述的第2移动体与所述的第1物体中的一方的第2读头、与设在另一方的第2格子区域，通过所述的第2读头及所述的第2格子区域取得关于所述的第1物体与所述的第2移动体的相对位置的第2位置信息；以及控制系统，根据所述的第1及第2位置信息，控制相对所述的第1构件于所述的第1及第2方向的所述的第1移动体的位置；所述的第1测量系统的所述的第1读头与所述的第1格子区域中的一方，根据所述的第1移动体往所述的第1方向的可动范围配置；所述的第2测量系统的所述的第2读头与所述的第2格子区域中的一方，根据所述的第2移动体往所述的第2方向的可动范围配置。5.如权利要求1至4中任一项的移动体装置，其中，所述的第1移动体以所述的第1及2读头的测量光束的照射不会从所述的第1及第2格子区域的各个脱离的方式，往所述的第1方向移动。6.如权利要求5的移动体装置，其中，所述的第1移动体以所述的第1读头进行的测量光束的照射不会从所述的第1格子区域脱离的方式，往所述的第2方向移动。7.如权利要求1的移动体装置，其中，所述的第2格子区域与所述的第2读头中的另一方设于所述的基准构件。8.如权利要求2或3的移动体装置，其进一步具备于所述的第1及第2方向，作为所述的第1移动体的移动的基准的基准构件；所述的第2格子区域与所述的第2读头中的另一方设于所述的基准构件。9.如权利要求4的移动体装置，其中，所述的第1构件作为所述的第1移动体的移动的基准的基准构件。10.如权利要求1至9中任一项的移动体装置，其进一步具备测量所述的第1格子区域与所述的第1读头中的另一方、与所述的第2格子区域与所述的第2读头中的一方的相对位置信息的测量系统。11.如权利要求1或2的移动体装置，其中，所述的第1读头设于所述的第1移动体。12.如权利要求1至11中任一项的移动体装置，其中，所述的第2移动体支承所述的第1
移动体。13.如权利要求1至12中任一项的移动体装置，其进一步具备使所述的第2移动体往所述的第2方向移动的驱动系统。14.如权利要求1至13中任一项的移动体装置，其进一步具备以非接触方式支承所述的物体的支承部；所述的第1移动体将被所述的支承部以非接触方式支承的所述的物体往所述的第1及第2方向移动。15.如权利要求1至14中任一项的移动体装置，其中，所述的第1移动体支承被所述的支承部以非接触方式支承的所述的物体的端部。16.如权利要求1至15中任一项的移动体装置，其中，所述的第1移动体保持所述的物体外周端部中的一端部侧。17.如权利要求15或16的移动体装置，其中，所述的第1移动体由在所述的第1或第2方向分离设置的多个构件构成；所述的多个构件保持所述的物体的不同区域。18.一种曝光装置，其具备：权利要求1至17中任一项的移动体装置；以及对所述的物体照射能量束以使所述的物体曝光的光学系统。19.如权利要求18的曝光装置，其中，所述的第1方向于所述的曝光时，所述的物体通过所述的第1移动体相对所述的光学系统移动的方向。20.如权利要求18或19的曝光装置，其中，所述的第2方向具有多个区划区域的所述的物体，为变更所述的曝光的对象区域而移动的方向。21.如权利要求18至20中任一项的曝光装置，其中，所述的物体用于平板显示器的基板。22.如权利要求21的曝光装置，其中，所述的基板的至少一边的长度或对角长为500mm以上。23.一种平板显示器的制造方法，其包含：使用权利要求18至22中任一项的曝光装置使所述的物体曝光的动作；以及使曝光后的所述的物体显影的动作。24.一种元件制造方法，其包含：使用权利要求18至22中任一项的曝光装置使所述的物体曝光的动作；以及使曝光后的所述的物体显影的动作。25.一种移动方法，其包含：相对基准构件使保持物体的第1移动体往彼此交叉的第1及第2方向移动的动作；通过第2移动体使所述的第1移动体往所述的第2方向移动的动作；通过第1测量系统，以设在所述的第1及第2移动体中的一方的第1读头、与设在另一方且具有所述的第1及第2方向的测量成分而能测量所述的第1移动体于所述的第1方向的移动范围的第1格子区域，取得所述的第1移动体相对所述的基准构件的位置信息，通过第2测量系统，以设在所述的第2移动体与所述的基准构件中的一方的第2读头、与设在另一方且具有所述的第1及第2方向的测量成分而能测量所述的第1移动体于所述的第2方向的移动
范围的第2格子区域，取得所述的第1移动体相对所述的基准构件的位置信息的动作；以及根据以所述的第1及第2测量系统取得的位置信息，控制相对所述的基准构件于所述的第1及第2方向的所述的第1移动体的位置的动作；所述的取得动作，以所述的第1测量系统一边使所述的第1读头相对所述的第1格子区域往所述的第1方向移动、一边照射测量光束以取得所述的第1移动体的位置信息，以所述的第2测量系统一边使所述的第2读头相对所述的第2格子区域往所述的第2方向移动、一边照射测量光束以取得所述的第1移动体的位置信息。26.一种移动方法，其包含：使保持物体的第1移动体往彼此交叉的第1方向与第2方向移动的动作；通过所述的第1测量系统，包含所述的第1及第2方向的测量成分的第1格子区域、与一边相对所述的第1格子区域往所述的第1方向移动一边照射测量光束的第1读头中的一方设于所述的第1移动体，以测量于所述的第1及第2方向的所述的第1移动体的位置信息的动作；通过第2移动体，设有所述的第1格子区域与所述的第1读头中的另一方，往所述的第2方向移动的动作；通过第2测量系统，包含所述的第1及第2方向的测量成分的第2格子区域、与一边相对所述的第2格子区域往所述的第2方向移动一边照射测量光束的第2读头中的一方设于所述的第2移动体，第2格子区域与所述的第2格子区域中的另一方以和所述的第2移动体对向的方式设置，以测量于所述的第1及第2方向的所述的第2移动体的位置信息的动作；以及根据以所述的第1及第2测量系统测量的所述的位置信息，进行于所述的第1及第2方向的所述的第1移动体的移动控制的动作。27.一种移动方法，其包含：使保持物体的第1移动体在与所述的光学系统的光轴方向正交的既定平面内往彼此交叉的第1方向与第2方向移动的动作；通过第2移动体使所述的第1移动体往所述的第2方向移动的动作；通过第1测量系统，包含所述的第1及第2方向的测量成分的第1格子区域、与一边相对所述的第1格子区域往所述的第1方向移动一边照射测量光束的第1读头中的一方设于所述的第1移动体，所述的第1格子区域与所述的第1格子区域中的另一方以和所述的第1移动体对向的方式设置，以测量于所述的第1方向的所述的第1移动体的位置信息的动作；通过第2测量系统，包含所述的第1及第2方向的测量成分的第2格子区域、与一边相对所述的第2格子区域往所述的第2方向移动一边照射测量光束的第2读头中的一方设于所述的第2移动体，第2格子区域与所述的第2格子区域中的另一方以和所述的第2移动体对向的方式设置，以测量于所述的第2方向的所述的第2移动体的位置信息的动作；通过第3测量系统，测量所述的第1格子区域与所述的第1格子区域中的另一方、和第2格子区域与所述的第2格子区域中的另一方的相对位置信息的动作；以及根据以所述的第1、第2及第3测量系统测量的所述的位置信息，进行于所述的第1及第2方向的所述的第1移动体的移动控制的动作。28.一种移动方法，其包含：使保持物体的第1移动体相对第1物体往彼此交叉的第1及第2方向移动的动作；
相对第1物体通过所述的第2移动体使所述的第1移动体往所述的第2方向移动的动作；使所述的第1及第2移动体往所述的第2方向移动的动作；具有设在所述的第1及第2移动体的一方的第1读头、与设在另一方的第1格子区域，所述的第1读头与所述的第1格子区域中的一方根据所述的第1移动体往所述的第1方向的可动范围配置，通过所述的第1读头及所述的第1格子区域取得关于所述的第1移动体与所述的第2移动体的相对位置的第1位置信息的动作；具有设在所述的第2移动体与所述的第1物体的一方的第2读头、与设在另一方的第2格子区域，所述的第2读头与所述的第2格子区域中的一方根据所述的第2移动体往所述的第2方向的可动范围配置，通过所述的第2读头及所述的第2格子区域取得关于所述的第1物体与所述的第2移动体的相对位置的第2位置信息的动作；以及根据所述的第1及第2位置信息，控制相对所述的第1构件的所述的第1及第2方向的所述的第1移动体的位置的动作。29.一种曝光方法，包含以权利要求25至28中任一项的移动方法，使所述的物体往所述的第1方向移动的动作；以及对往所述的第1方向移动的所述的物体照射能量束，以使所述的物体曝光动作。30.一种平板显示器的制造方法，其包含：使用权利要求29的曝光方法使基板曝光的动作；以及使所述的曝光后的基板显影的动作。31.一种元件制造方法，其包含：使用权利要求29的曝光方法使基板曝光的动作；以及使所述的曝光后的基板显影的动作。

技术总结
本发明的移动基板(P)的移动体装置，具备：保持基板(P)可往X轴及Y轴方向移动的基板保持具(32)、可往Y轴方向移动的Y粗动载台(24)、通过设在基板保持具(32)的读头(74x、74y)与设在Y粗动载台(24)的标尺(72)取得基板保持具(32)的位置信息的第1测量系统、通过设在Y粗动载台(24)的读头(80x、80y)与标尺(78)取得Y粗动载台(24)的位置信息的第2测量系统、根据以第1及第2测量系统取得的位置信息控制基板保持具(32)的位置的控制系统，第1测量系统一边使读头(74x、74y)相对标尺(72)往X轴方向移动一边照射测量光束，第2测量系统一边使读头(80x、80y)相对标尺(78)往Y轴方向移动一边照射测量光束。光束。光束。


技术研发人员：青木保夫
受保护的技术使用者：株式会社尼康
技术研发日：2017.09.29
技术公布日：2021/9/24