激光装置的制作方法

技术特征：
1.一种激光装置，包括：激光模块，射出激光束；第一光学系统，扩展从所述激光模块射出的所述激光束在第一方向上的尺寸并射出，所述第一方向与射出方向交叉；第二光学系统，使将从所述第一光学系统射出的所述激光束沿所述第一方向分割的多个子光束沿与所述射出方向及所述第一方向交叉的第二方向排列而射出；第三光学系统，使从所述第二光学系统射出的所述激光束的能量在所述第一方向上均匀化；以及第四光学系统，减小从所述第三光学系统射出的所述激光束在所述第一方向上的尺寸。2.根据权利要求1所述的激光装置，其中，所述第二光学系统使所述激光束在所述第一方向上的尺寸与在所述第二方向上的尺寸相互交换而射出。3.根据权利要求2所述的激光装置，其中，所述第二光学系统保持所述激光束在所述第一方向及所述第二方向上的光束质量因子，并且使在所述第一方向及所述第二方向上的尺寸相互交换。4.根据权利要求1所述的激光装置，其中，所述第三光学系统包括：第一短轴均化器，包括入射面沿所述射出方向的反方向凸出且射出面为平面结构的圆筒透镜阵列；第二短轴均化器，布置于所述第一短轴均化器的另一侧，并且包括入射面为平面结构且射出面沿所述射出方向凸出的圆筒透镜阵列；第三短轴均化器，布置于所述第二短轴均化器的另一侧，并且包括入射面为平面结构且射出面沿所述射出方向凸出的透镜。5.根据权利要求1所述的激光装置，其中，还包括：第五光学系统，使所述激光束的能量在所述第二方向上均匀化。6.根据权利要求5所述的激光装置，其中，所述第五光学系统包括：第一长轴均化器，包括入射面沿所述射出方向的反方向凸出且射出面为平面结构的圆筒透镜阵列；第二长轴均化器，布置于所述第一长轴均化器的另一侧，并且包括入射面为平面结构且射出面沿所述射出方向凸出的圆筒透镜阵列；第三长轴均化器，布置于所述第二长轴均化器的另一侧，并且包括入射面为平面结构且射出面沿所述射出方向凸出的透镜。7.根据权利要求5所述的激光装置，其中，经过所述第二光学系统的所述激光束入射到所述第五光学系统。8.根据权利要求1所述的激光装置，其中，所述第四光学系统包括沿所述第二方向延伸且入射面沿所述射出方向的反方向凸出的圆筒形凸透镜。
9.根据权利要求8所述的激光装置，其中，从所述第四光学系统射出的所述激光束在对象基板的上表面形成焦点。10.根据权利要求1所述的激光装置，其中，穿过所述第一光学系统之前的所述激光束保持针对所述第二方向的光束质量因子并减小针对所述第一方向的光束质量因子。

技术总结
提供一种激光装置。根据一实施例的激光装置包括：激光模块，射出激光束；第一光学系统，扩展从所述激光模块射出的所述激光束在第一方向上的尺寸并射出，所述第一方向与射出方向交叉；第二光学系统，使将从第一光学系统射出的激光束沿第一方向分割的多个子光束沿与射出方向及第一方向交叉的第二方向排列而射出；第三光学系统，使从第二光学系统射出的激光束的能量在第一方向上均匀化；以及第四光学系统，减小从第三光学系统射出的激光束在第一方向上的尺寸。向上的尺寸。向上的尺寸。


技术研发人员：三宫暁史 柳济吉 朴喆镐 李惠淑 蔡永洙 韩圭完
受保护的技术使用者：三星显示有限公司
技术研发日：2021.05.13
技术公布日：2021/11/19