压电振动板及压电振动器件的制作方法

技术特征：
1.一种压电振动板，通过厚度剪切振动而动作，其特征在于：具备振动部、包围着该振动部的外周的外框部、及将所述振动部与所述外框部连结的保持部，在所述振动部与所述外框部之间设置有通过对该压电振动板进行切取而形成的切取部，在所述振动部的一个主面上形成有第一激励电极，在所述振动部的另一个主面上形成有与所述第一激励电极成对的第二激励电极，在所述第一激励电极和所述第二激励电极中的一方的激励电极上，形成有俯视时突出于另一方的激励电极的至少一个突出部，所述另一方的激励电极具有至少一对相互平行的平行边，所述突出部被构成为，俯视时比所述平行边之间的部分更向外侧突出，并具有俯视时不平行于所述平行边的外缘形状。2.一种压电振动板，通过厚度剪切振动而动作，其特征在于：具备振动部、包围着该振动部的外周的外框部、及将所述振动部与所述外框部连结的保持部，在所述振动部与所述外框部之间设置有通过对该压电振动板进行切取而形成的切取部，在所述振动部的一个主面上形成有第一激励电极，在所述振动部的另一个主面上形成有与所述第一激励电极成对的第二激励电极，所述第一激励电极和所述第二激励电极均被构成为，相对于与该压电振动板的x轴平行的直线线对称的形状，在所述第一激励电极和所述第二激励电极中的一方的激励电极上，设置有至少一个俯视时不与另一方的激励电极重叠地向外侧突出的突出部，所述突出部具有俯视时不平行于x轴的外缘形状。3.如权利要求1或2所述的压电振动板，其特征在于：所述一方的激励电极的重心被设在俯视时与所述另一方的激励电极的重心基本一致的位置。4.一种压电振动板，通过厚度剪切振动而动作，其特征在于：具备振动部、包围着该振动部的外周的外框部、及将所述振动部与所述外框部连结的保持部，在所述振动部与所述外框部之间，设置有通过对该压电振动板进行切取而形成的切取部，在所述振动部的一个主面上形成有第一激励电极，在所述振动部的另一个主面上形成有与所述第一激励电极成对的第二激励电极，所述第一激励电极的重心被设在俯视时与所述第二激励电极的重心基本一致的位置，俯视时所述第一激励电极和所述第二激励电极中的一方的激励电极相对于另一方的激励电极倾斜地配置。5.如权利要求4所述的压电振动板，其特征在于：所述一方的激励电极中，在夹着所述第一激励电极的重心的两侧的位置分别设置有俯视时不与所述另一方的激励电极相重叠地向外侧突出的突出部，各个突出部具有俯视时不平行于所述另一方的激励电极的外缘的外缘形状。6.如权利要求1至5中任一项所述的压电振动板，其特征在于：
所述另一方的激励电极的面积大于所述一方的激励电极的面积。7.如权利要求1至6中任一项所述的压电振动板，其特征在于：在所述保持部的一个主面上形成有与所述第一激励电极连接的第一引出布线，在所述保持部的另一个主面上形成有与所述第二激励电极连接的第二引出布线，所述第一引出布线和所述第二引出布线向相同方向延伸。8.如权利要求7所述的压电振动板，其特征在于：所述第一引出布线和所述第二引出布线中的一方的引出布线被配置为，俯视时错开另一方的引出布线。9.如权利要求1至8中任一项所述的压电振动板，其特征在于：所述一方的激励电极被构成为菱形，所述另一方的激励电极被构成为矩形。10.如权利要求1至9中任一项所述的压电振动板，其特征在于：只设置有一个所述保持部。11.一种压电振动器件，具备权利要求1至10中任一项所述的压电振动板，其特征在于：具备将所述压电振动板的所述第一激励电极覆盖的第一密封构件、及将所述压电振动板的所述第二激励电极覆盖的第二密封构件，所述第一密封构件与所述压电振动板相接合、且所述第二密封构件与所述压电振动板相接合，从而所述压电振动板的所述振动部被气密密封。

技术总结
晶体振动片(10)具备振动部(11)、包围着该振动部(11)的外周的外框部(12)、将振动部(11)与外框部(12)连结的保持部(13)，在振动部(11)的一个主面上形成有第一激励电极(111)，在振动部(11)的另一个主面上形成有第二激励电极(112)，第二激励电极(112)具有相互平行的平行边(112e、112g)，在第一激励电极(111)上设有俯视时相对第二激励电极(112)比平行边(112e、112g)之间的部分更向外侧突出的突出部(111c、111d)，突出部(111c、111d)具有俯视时不平行于平行边(112e、112g)的外缘形状。基于该结构，在由保持部将振动部与外框部连结的带框体的压电振动板、及具备这样的压电振动板的压电振动器件中，能够减少乱真而提高电气特性。能够减少乱真而提高电气特性。能够减少乱真而提高电气特性。


技术研发人员：名古屋涉
受保护的技术使用者：株式会社大真空
技术研发日：2020.05.28
技术公布日：2021/12/17