一种X射线光电子能谱仪紫外光电子能谱专用样品台装置的制作方法

技术特征：
1.一种x射线光电子能谱仪紫外光电子能谱专用样品台装置，设有样品台基架，其特征在于，所述样品台基架设有第一凹部、与第一凹部侧边边缘处耦合的铜片以及多个第二凹部；所述铜片与样品台基架所在的平面形成夹角进而与第一凹部配合形成参考样品固定机构；所述第一凹部与所述多个第二凹部相隔，每个第二凹部的一端设置有第三凹部，所述第三凹部表面设有可嵌合推入的孔洞，所述孔洞用于安装固定导电夹，通过第二凹部、第三凹部与导电夹形成待测样品固定机构。2.根据权利要求1所述的x射线光电子能谱仪紫外光电子能谱专用样品台装置，其特征在于，所述导电夹采用三翼结构，包括连接部件、第一短翼、第二短翼和一个长翼，两个短翼、一个长翼分别与所述连接部件耦合于一体，所述第一短翼与通过孔洞推入与样品台基架嵌合连接，直至完全推入时与样品台基架耦合固定。3.根据权利要求2所述的x射线光电子能谱仪紫外光电子能谱专用样品台装置，其特征在于，以所述第一短翼的位置为底架，所述第一短翼为直翼，相对底架设置在上方的第二短翼和长翼均在其中间位置处分别向下倾斜，所述倾斜范围为0.01-0.05cm。4.根据权利要求1所述的x射线光电子能谱仪紫外光电子能谱专用样品台装置，其特征在于，所述夹角小于或等于60
°
。5.根据权利要求1所述的x射线光电子能谱仪紫外光电子能谱专用样品台装置，其特征在于，所述第一凹部与所述多个第二凹部等间隔排布。6.根据权利要求1所述的x射线光电子能谱仪紫外光电子能谱专用样品台装置，其特征在于，所述铜片设置在第一凹部的一侧，铜片的长度范围为第一凹部与铜片连接的侧边长度的0.5至1倍。7.根据权利要求6所述的x射线光电子能谱仪紫外光电子能谱专用样品台装置，其特征在于，所述铜片采用半圆形状铜片，所述半圆形铜片厚度的范围为0.1mm至0.15mm，所述半圆形铜片半径的范围为0.3cm至1cm。8.根据权利要求7所述的x射线光电子能谱仪紫外光电子能谱专用样品台装置，其特征在于，所述第一凹部的任意3个侧边处分别设置所述半圆形状铜片，相邻的半圆形铜片最短距离为0.6cm。9.根据权利要求1所述的x射线光电子能谱仪紫外光电子能谱专用样品台装置，其特征在于，所述第二凹部的数量为5个。10.根据权利要求9所述的x射线光电子能谱仪紫外光电子能谱专用样品台装置，其特征在于，所述样品台基架设置为长方体，所述样品台基架的长宽高分别不大于5cm、2.5cm和0.3cm；所述第一凹部为长方体，长宽均为1.1cm，深度为0.02mm。

技术总结
本实用新型公开了一种X射线光电子能谱仪紫外光电子能谱专用样品台装置，该装置设有样品台基架，该样品台基架设有第一凹部、与第一凹部侧边边缘处耦合的铜片以及多个第二凹部；铜片与样品台基架所在的平面形成夹角进而与第一凹部配合形成参考样品固定机构，第一凹部与多个第二凹部相隔，每个第二凹部的一端设置有第三凹部，第三凹部表面设有可嵌合推入的孔洞，孔洞用于安装固定导电夹，通过第二凹部、第三凹部与导电夹形成待测样品固定机构。本实用新型通过第一凹部与铜片装载银箔，免除重复拆取银箔的麻烦，使制样过程变得简单快捷，还通过导电夹与第二凹部、第三凹部固定待测样品，保证样品待测位置免受损伤，又保证样品表面有良好的电接触。良好的电接触。良好的电接触。


技术研发人员：范燕 徐昕荣 李冰 魏强 刘佳 石志锋 戴春艳 陈秀文
受保护的技术使用者：华南理工大学
技术研发日：2021.05.14
技术公布日：2022/1/14