一种基于等离激元纳米腔的高品质光学折射率传感器的制作方法

技术特征：
1.一种基于等离激元纳米腔的高品质光学折射率传感器，其特征在于包括基底(1)、超光滑金属膜(2)、介质层(3)和金属纳米六角板(4)；基底(1)上部设有金属膜(2)，金属膜(2)上为介质层(3)，介质层(3)的中部为金属纳米六角板(4)；所述金属膜(2)和金属纳米六角板(4)采用金属材料为金。2.根据权利要求1所述基于等离激元纳米腔的高品质光学折射率传感器，其特征在于：所述基底(1)、金属膜(2)和介质层(3)的对边长度比金属纳米六角板的对边长度大于0.5cm。3.根据权利要求1所述基于等离激元纳米腔的高品质光学折射率传感器，其特征在于：所述介质层(3)的材质为三氧化二铝或二氧化硅。4.根据权利要求1所述基于等离激元纳米腔的高品质光学折射率传感器，其特征在于：所述基底(1)硅或蓝宝石材料。5.根据权利要求1所述基于等离激元纳米腔的高品质光学折射率传感器，其特征在于：所述金属膜(2)和金属纳米六角板(4)采用金属材料为银。6.根据权利要求1所述基于等离激元纳米腔的高品质光学折射率传感器，其特征在于：所述金属纳米六角板的对边长度为150-250nm。7.根据权利要求1所述基于等离激元纳米腔的高品质光学折射率传感器，其特征在于：所述金属纳米六角板的厚度为30-80nm，金属膜的厚度为50-150nm，介质层的厚度为3-8nm，基底厚度为200-5000μm。

技术总结
本发明涉及一种基于等离激元纳米腔的高品质光学折射率传感器，包括多个单元：金属纳米六角板、介质层、金属膜以及基底。传感器各个单元从下往上分别为基底、金属膜、介质层和金属纳米六角板。本发明所展示的结构是单个纳米颗粒与金膜构成的纳米腔，探究的是纳米尺度的传感响应。本发明解决了LSPR传感器的灵敏度偏低问题，使得该纳米腔传感器灵敏度可达360nm/RIU。解决了金属结构辐射损耗很高的问题，使得该纳米腔的品质因数高达11RIU-1


技术研发人员：肖发俊 王其发 李晨阳 侯莉萍 赵建林
受保护的技术使用者：西北工业大学
技术研发日：2021.11.17
技术公布日：2022/2/18