具有一致MRAM裸片定向的MOKE计量的系统及方法与流程

技术特征：
1.一种计量工具，其包括：磁铁，其用以产生磁场；载物台系统，其用以将多个磁性随机存取存储器(mram)裸片定位在所述磁场中的mram晶片上，所述载物台系统包括其上将要安装所述mram晶片的卡盘；光学器件，其用以提供激光束且引导所述激光束以在所述mram晶片上的相应mram裸片经定位在所述磁场中的情况下，入射于所述相应mram裸片上，所述激光束具有偏振；及检测器，其用以接收由所述mram晶片上的所述相应mram裸片反射的所述激光束，且测量所述反射激光束的所述偏振的旋转；其中所述计量工具可配置以当所述激光束在所述mram晶片上的每一mram裸片经定位在所述磁场中的情况下入射于所述mram裸片上时，为所述mram裸片提供相对于所述激光束的所述偏振的共同定向。2.根据权利要求1所述的工具，其中：所述卡盘具有旋转轴线；所述载物台系统具有第一平移轴线及第二平移轴线；且所述载物台系统经配置以使所述卡盘沿所述第一及第二平移轴线平移且使所述卡盘围绕所述旋转轴线旋转，以将每一mram裸片定位在所述mram晶片上以具有相对于所述激光束的所述偏振的所述共同定向。3.根据权利要求2所述的工具，其中所述载物台系统进一步包括：第一平移载物台，所述卡盘经耦合到其以使所述卡盘沿所述第一平移轴线平移；第一电动机，其用以使所述第一平移载物台沿所述第一平移轴线移动；第二平移载物台，所述第一平移载物台经耦合到其以使所述卡盘及所述第一平移载物台沿所述第二平移轴线平移；第二电动机，其用以使所述第二平移载物台沿所述第二旋转轴线移动；及第三电动机，其用以使所述卡盘围绕所述旋转轴线旋转。4.根据权利要求2所述的工具，其中所述第一及第二平移轴线是垂直的。5.根据权利要求1所述的工具，其中：所述磁铁经配置以当所述mram晶片上的所述相应mram裸片被定位在所述磁场中时产生所述磁场以法向于所述相应mram裸片；且所述光学器件经配置以当所述mram晶片上的所述相应mram裸片定位在所述磁场中时引导所述激光束以法向入射于所述相应mram裸片上。6.根据权利要求1所述的工具，其中：所述光学器件包括用以产生所述激光束的激光器，用以使所述激光束偏振为具有所述偏振的偏振器，及用以操纵所述激光束以入射于所述mram晶片上的所述相应mram裸片上的镜；且所述检测器包括分析器。7.根据权利要求6所述的工具，其中：所述激光器及偏振器可围绕其相应纵轴线旋转以改变所述激光束的所述偏振；且所述检测器可根据所述激光器及偏振器的旋转而旋转。8.根据权利要求7所述的工具，其中：
所述卡盘具有旋转轴线；所述载物台系统具有第一平移轴线；且所述载物台系统经配置以使所述卡盘沿所述第一轴线平移且使所述卡盘围绕所述旋转轴线旋转，以将每一mram裸片定位在所述mram晶片上以接收所述激光束。9.一种方法，其包括在计量工具中：产生磁场；将磁性随机存取存储器(mram)晶片定位在所述磁场中，所述mram晶片包括多个mram裸片；在所述mram晶片被定位在所述磁场中的情况下，提供激光束以入射于所述mram晶片上，所述激光束具有偏振；将相应mram裸片连续定位在所述mram晶片上，使得所述激光束在所述相应mram裸片被定位在所述磁场中时，连续入射于所述相应mram裸片上，其包括当所述激光束入射于所述mram裸片上时，将所述相应mram裸片中的每一者定向为具有相对于所述激光束的所述偏振的共同定向；及针对所述相应mram裸片中的每一者，测量由所述mram裸片反射的所述激光束的所述偏振的旋转。10.根据权利要求9所述的方法，其中连续地定位所述相应mram裸片包括将每一mram裸片连续地定位在所述mram晶片上，使得所述激光束在所述mram裸片被定位在所述磁场中且经定向为具有相对于所述激光束的所述偏振的共同定向时，连续地入射于每一mram裸片上。11.根据权利要求9所述的方法，其进一步包括将所述mram晶片安装在卡盘上，其中连续地定位所述相应mram裸片包括：使所述卡盘旋转；及使所述卡盘沿第一平移轴线及沿第二平移轴线平移。12.根据权利要求11所述的方法，其中所述第一及第二平移轴线是垂直的。13.根据权利要求9所述的方法，其中：提供所述激光束包括引导所述激光束以法向入射于所述相应mram裸片上；且产生所述磁场包括配置所述磁场以法向于所述相应mram裸片。14.根据权利要求9所述的方法，其中提供所述激光束包括：使用激光器产生所述激光束；及使用偏振器使所述激光束偏振以具有所述偏振。15.根据权利要求14所述的方法，其中所述定向包括使所述激光器及所述偏振器围绕其相应纵轴线旋转以改变所述偏振。16.根据权利要求15所述的方法，其中连续地定位所述相应mram裸片包括：使所述卡盘旋转；及使所述卡盘沿单个平移轴线平移。17.根据权利要求15所述的方法，其中：所述测量使用检测器来执行；且所述方法进一步包括使所述检测器根据所述激光器及所述偏振器的所述旋转而旋转。
18.一种计量工具，其包括：磁铁，其用以产生磁场；载物台系统，其用以将多个磁性随机存取存储器(mram)裸片定位在所述磁场中的mram晶片上，所述载物台系统包括其上将要安装所述mram晶片的卡盘；光学器件，其用以提供激光束且引导所述激光束以在所述mram晶片上的相应mram裸片被定位在所述磁场中的情况下，入射于所述相应mram裸片上，所述激光束具有偏振；及检测器，其用以接收由所述mram晶片上的所述相应mram裸片反射的所述激光束且测量所述反射激光束的所述偏振的旋转；一或多个处理器；及存储器，其存储用于由所述一或多个处理器执行的一或多个程序，所述一或多个程序包括用于当所述激光束在所述mram晶片上的每一mram裸片经定位在所述磁场中的情况下入射于所述mram裸片上时，为所述mram裸片提供相对于所述激光束的所述偏振的共同定向的指令。

技术总结
本发明公开一种计量工具，其包含用以产生磁场的磁铁及用以将多个MRAM裸片定位在所述磁场中的MRAM晶片上的载物台系统。所述载物台系统包含其上将要安装所述MRAM晶片的卡盘。所述计量工具进一步包含用以提供激光束且引导所述激光束以入射于经定位在所述磁场中的相应MRAM裸片上的光学器件。所述计量工具额外包含用以接收由所述相应MRAM裸片反射的所述激光束且测量所述反射激光束的偏振的旋转的检测器。所述计量工具可配置以为所述MRAM晶片上的每一MRAM裸片提供相对于所述激光束的所述偏振的共同定向。偏振的共同定向。偏振的共同定向。


技术研发人员：F
受保护的技术使用者：科磊股份有限公司
技术研发日：2020.07.24
技术公布日：2022/3/4