靶材修复设备的制作方法

技术特征：
1.一种靶材修复设备，其特征在于，包括：具有容纳腔(111)的外罩(110)；两组固定组件(132)，收容于所述容纳腔(111)内，两组所述固定组件(132)在第一方向上间隔设置；具有加热腔(153)的加热装置(150)，收容于所述容纳腔(111)内并位于两组所述固定组件(132)之间；以及喷涂机构(178)，收容于所述容纳腔(111)内并位于所述加热装置(150)的一侧，所述喷涂机构(178)包括清理组件(1781)和修复组件(1783)，所述清理组件(1781)用于向所述加热腔(153)喷涂清理介质，所述修复组件(1783)用于向所述加热腔(153)喷涂修复介质。2.根据权利要求1所述的靶材修复设备，其特征在于，所述加热装置(150)具有在垂直于所述第一方向的第二方向上相对设置的第一开口(154)和第二开口(155)，所述第一开口(154)和所述第二开口(155)分别连通所述容纳腔(111)和所述加热腔(153)。3.根据权利要求2所述的靶材修复设备，其特征在于，所述加热装置(150)包括在所述第二方向上间隔设置的第一加热体(151)和第二加热体(152)，所述第一加热体(151)和所述第二加热体(152)之间界定形成所述加热腔(153)以及所述第一开口(154)和所述第二开口(155)。4.根据权利要求2所述的靶材修复设备，其特征在于，所述靶材修复设备还包括：压辊(192)，所述压辊(192)的一侧通过所述第二开口(155)伸入所述加热腔(153)内；及压辊驱动件，与所述压辊(192)传动连接，用于驱动所述压辊(192)相对所述加热装置(150)转动。5.根据权利要求4所述的靶材修复设备，其特征在于，所述靶材修复设备还包括压紧驱动件(196)，所述压紧驱动件(196)设于所述压辊(192)一侧，所述压紧驱动件(196)用于对所述压辊(192)施加沿所述第二方向朝向所述加热腔(153)的压紧力。6.根据权利要求1所述的靶材修复设备，其特征在于，所述靶材修复设备还包括沿第一方向延伸的导轨(172)，所述喷涂机构(178)安装于所述导轨(172)，并受控地沿所述导轨(172)在所述第一方向上往复移动。7.根据权利要求6所述的靶材修复设备，其特征在于，所述靶材修复设备还包括：移动座，可移动地安装于所述导轨(172)；及直线驱动单元(176)，安装于所述导轨(172)并与所述移动座传动连接，所述直线驱动单元(176)用于驱动所述移动座沿所述第一方向往复移动。8.根据权利要求1所述的靶材修复设备，其特征在于，所述固定组件(132)包括：开设有安装孔的固定卡盘；及多个卡爪，安装于所述固定卡盘一侧并周向环绕于所述安装孔外，每个所述卡爪可沿所述安装孔的径向方向移动以形成大小可变的夹持间隙。9.根据权利要求1所述的靶材修复设备，其特征在于，所述靶材修复设备还包括：进水管(161)，所述进水管(161)的一端伸入所述容纳腔(111)并朝其中一组所述固定组件(132)延伸；及出水管(163)，所述出水管(163)的一端伸入所述容纳腔(111)并朝另一组所述固定组
件(132)延伸。10.根据权利要求9所述的靶材修复设备，其特征在于，所述靶材修复设备还包括供水装置(165)，所述供水装置(165)设于所述外罩(110)外，所述进水管(161)和所述出水管(163)远离所述固定组件(132)的另一端连接于所述供水装置(165)。11.根据权利要求1至10任一项所述的靶材修复设备，其特征在于，所述外罩(110)开设有连通所述容纳腔(111)和所述外罩(110)的外环境的进气口(112)。12.根据权利要求11所述的靶材修复设备，其特征在于，所述靶材修复设备还包括供气装置(180)，所述供气装置设于所述外罩(110)外，所述进气口(112)连通所述供气装置(180)。

技术总结
本实用新型涉及一种靶材修复设备，包括：具有容纳腔的外罩；两组固定组件，收容于容纳腔内，两组固定组件在第一方向上间隔设置；具有加热腔的加热装置，收容于容纳腔内并位于两组固定组件之间；喷涂机构，收容于容纳腔内并位于加热装置的一侧，喷涂机构包括清理组件和修复组件，清理组件用于向加热腔喷涂清理介质，修复组件用于向加热腔喷涂修复介质。上述靶材修复设备，在利用喷涂装置喷涂清理介质清除待修复的靶材的表面残留后，可在利用加热装置对待修复的靶材加热的同时利用喷涂装置喷涂修复介质对靶材进行修复，从而方便快捷地实现了圆柱形靶材的修复，具有较高的修复效率和良品率。良品率。良品率。


技术研发人员：刘召辉 陈国栋 林维乐 王燕东 郭永胜 苏硕剑
受保护的技术使用者：宁德时代新能源科技股份有限公司
技术研发日：2021.10.15
技术公布日：2022/3/8