技术特征:
1.一种包括用于检测化学物质的集成传感器模块的装置,所述传感器模块包括:
UV辐射源,能够操作以将UV辐射发射到样本上;和
传感器,包括多个专用通道,所述专用通道被设置成接收由所述样本反射的所述UV辐射,其中每个所述通道选择性地对UV光谱的不同相应部分敏感,并且其中所述通道共同覆盖足以重建所述样本的光谱曲线的所述UV光谱的至少一部分。
2.根据权利要求1所述的装置,其中所述通道共同覆盖所述UV光谱的连续部分。
3.根据权利要求2所述的装置,其中所述通道在所述UV光谱的所述连续部分上平均分布。
4.根据权利要求2-3中任一项所述的装置,其中所述UV光谱的所述连续部分是10nm-400nm。
5.根据权利要求2-3中任一项所述的装置,其中所述UV光谱的所述连续部分是200nm-400nm。
6.根据权利要求2-5中任一项所述的装置,其中每个所述通道具有相同的半峰全宽光谱灵敏度。
7.根据权利要求6所述的装置,其中所述半峰全宽不超过10nm。
8.根据权利要求6所述的装置,其中所述半峰全宽不超过5nm。
9.根据前述权利要求中任一项所述的装置,其中每个所述通道包括相应的感测设备和设置在所述相应的感测设备的UV辐射敏感部分上方的相应的UV滤光器。
10.根据前述权利要求中任一项所述的装置,还包括电子控制单元,所述电子控制单元能够操作以至少部分地基于来自所述通道的相应信号来确定所述通道的总响应度是否与特定化学物质的光谱特征一致。
11.根据权利要求10所述的装置,其中所述电子控制单元能够操作以将所述通道的总响应度与存储在存储器中的预定值进行比较。
12.根据权利要求11所述的装置,其中所述电子控制单元能够操作以至少部分地基于所述比较来识别所述样本的构成。
13.一种方法,包括:
向样本发射UV辐射;
在多个专用通道中的至少一些中感测由所述样本反射的UV辐射,其中每个所述通道选择性地对UV光谱的不同相应部分敏感,并且其中所述通道共同覆盖足以重建所述样本的光谱曲线的所述UV光谱的至少一部分;
在电子控制单元中接收来自所述多个通道的输出信号;以及
基于所述输出信号识别所述样本的构成。
14.根据权利要求13所述的方法,其中所述通道共同覆盖所述UV光谱的连续部分。
15.根据权利要求14所述的方法,其中所述通道在所述UV光谱的所述连续部分上平均分布。
16.根据权利要求14-15中任一项所述的方法,其中所述UV光谱的所述连续部分是10nm-400nm。
17.根据权利要求14-15中任一项所述的方法,其中所述UV光谱的所述连续部分是200nm-400nm。
18.根据权利要求13-17中任一项所述的方法,其中每个所述通道具有相同的半峰全宽光谱灵敏度。
19.根据权利要求18所述的方法,其中所述半峰全宽不超过10nm。
20.根据权利要求18所述的方法,其中所述半峰全宽不超过5nm。
21.根据权利要求13-20中任一项所述的方法,其中识别所述构成包括确定所述通道的总响应度是否与特定化学物质的光谱特征一致。
22.根据权利要求21所述的方法,其中识别所述构成包括将所述通道的总响应度与存储在存储器中的预定值进行比较。
技术总结
一种装置包括用于检测化学物质的集成传感器模块。传感器模块包括UV辐射源,该UV辐射源能够操作以将UV辐射发射到样本上。传感器模块还包括传感器,该传感器包括专用通道,该专用通道设置成接收由样本反射的UV辐射。每个通道选择性地对UV光谱的不同相应部分敏感;通道共同覆盖足以重建样本的光谱曲线的UV光谱的至少一部分。电子控制单元可用于基于来自通道的信号识别样本的构成。
技术研发人员:F.罗格;T.切斯勒;
受保护的技术使用者:ams有限公司;
技术研发日:2020.08.11
技术公布日:2022.03.11
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