一种桌面型高能量密度极紫外辐照损伤测试装置的制作方法

技术特征：
1.一种桌面型高能量密度极紫外辐照损伤测试装置，包括测试箱(10)，其特征在于，所述测试箱(10)的外部连接有充气组件(20)和抽气组件(30)，所述测试箱(10)的顶端设有密封组件(40)，所述测试箱(10)的内部设有导气组件(50)；所述测试箱(10)包括与所述抽气组件(30)的吸气端相连接的光波腔室(11)，以及安装于所述光波腔室(11)外表面的光源腔室(12)以及物镜腔室(13)；所述密封组件(40)包括安装于所述光波腔室(11)上表面的第一气缸(41)，安装于所述物镜腔室(13)上表面的第二气缸(42)，以及安装于所述第一气缸(41)的活塞杆延伸至光波腔室(11)内部的一端和第二气缸(42)的活塞杆延伸至物镜腔室(13)内部的一端的密封板(43)，所述密封板(43)的外壁设有气囊密封机构(44)，所述气囊密封机构(44)的进气端与所述抽气组件(30)的出气端相连接；所述导气组件(50)包括设于所述光波腔室(11)内部第一导气扇(51)，以及设于所述物镜腔室(13)内部的第二导气扇(52)，所述第一导气扇(51)和第二导气扇(52)均位于所述充气组件(20)的出气端。2.根据权利要求1所述的一种桌面型高能量密度极紫外辐照损伤测试装置，其特征在于，所述装置还包括设于所述光源腔室(12)内部的高反镜(121)，插接于所述光源腔室(12)壳体上的nd：yag激光器(122)，以及安装于所述物镜腔室(13)内部的真空三维位移台(131)。3.根据权利要求2所述的一种桌面型高能量密度极紫外辐照损伤测试装置，其特征在于，所述光波腔室(11)的内部安装有铜靶(111)，所述铜靶(111)靠近真空三维位移台(131)的一侧设有滤片(112)。4.根据权利要求1所述的一种桌面型高能量密度极紫外辐照损伤测试装置，其特征在于，所述充气组件(20)包括穿设于所述光波腔室(11)壳体上的第一充气管(21)，穿设于所述物镜腔室(13)壳体上的第二充气管(22)，以及连接所述第一充气管(21)和第二充气管(22)的第一三通管(23)，所述第一充气管(21)和第二充气管(22)的进气端均设有第一针阀(231)。5.根据权利要求4所述的一种桌面型高能量密度极紫外辐照损伤测试装置，其特征在于，所述充气组件(20)还包括与所述第一三通管(23)的进气端相连接的第三充气管(24)，以及与所述第三充气管(24)的进气端相连接的第二三通管(25)，所述第二三通管(25)的两侧分别连接有第四充气管(2a)和第五充气管(26)，所述第四充气管(2a)的进气端连接有氮气罐(27)，所述第五充气管(26)的进气端连接有氦气罐(28)，所述第四充气管(2a)和第五充气管(26)的进气端均设有第二针阀(29)。6.根据权利要求1所述的一种桌面型高能量密度极紫外辐照损伤测试装置，其特征在于，所述抽气组件(30)包括穿设于所述光波腔室(11)壳体上的抽气管(31)，以及与所述抽气管(31)的出气端相连接的真空泵(32)。7.根据权利要求6所述的一种桌面型高能量密度极紫外辐照损伤测试装置，其特征在于，所述气囊密封机构(44)包括嵌入于所述密封板(43)外表面的气囊(441)，相邻两个所述气囊(441)之间通过第一软管(442)相连接，所述光波腔室(11)内部的所述气囊(441)通过第二软管(443)与所述真空泵(32)的出气端相连接。8.根据权利要求3所述的一种桌面型高能量密度极紫外辐照损伤测试装置，其特征在
于，所述铜靶(111)通过转动轴(116)与所述光波腔室(11)转动连接，所述转动轴(116)延伸至外部的一端连接有蜗轮(113)，所述蜗轮(113)的一侧啮合连接有蜗杆(114)，所述蜗杆(114)通过轴承座与所述光波腔室(11)的下表面相连接，所述蜗杆(114)的一侧与固定于所述光波腔室(11)下表面的电机(115)相连接。9.根据权利要求1所述的一种桌面型高能量密度极紫外辐照损伤测试装置，其特征在于，所述第一导气扇(51)与第二导气扇(52)的结构相同，所述第一导气扇(51)包括安装于所述光波腔室(11)内部的扇框(511)，以及通过旋转轴(512)与所述扇框(511)转动连接、且等距设置的多个扇叶(513)，每个所述旋转轴(512)延伸至外部的一端均连接有转动盘(514)，相邻两个所述转动盘(514)之间通过第一连杆(515)相连接。10.根据权利要求9所述的一种桌面型高能量密度极紫外辐照损伤测试装置，其特征在于，所述第一导气扇(51)中靠近第二导气扇(52)的第一连杆(515)以及第二导气扇(52)靠近第一导气扇(51)的第一连杆(515)延伸至外部的一端均连接有第二连杆(516)，两个所述第二连杆(516)之间通过第三连杆相连接，靠近所述第一导气扇(51)的所述第二连杆(516)的一侧通过转轴与电动伸缩杆(517)相连接，所述电动伸缩杆(517)安装于所述光波腔室(11)下表面。

技术总结
本发明提出一种桌面型高能量密度极紫外辐照损伤测试装置，包括测试箱，测试箱的外部连接有充气组件和抽气组件，测试箱的顶端设有密封组件，测试箱的内部设有导气组件；测试箱包括与抽气组件的吸气端相连接的光波腔室，以及安装于光波腔室外表面的光源腔室以及物镜腔室；密封组件包括安装于光波腔室上表面的第一气缸，安装于物镜腔室上表面的第二气缸，以及安装于第一气缸的活塞杆延伸至光波腔室内部的一端和第二气缸的活塞杆延伸至物镜腔室内部的一端的密封板；导气组件包括设于光波腔室内部第一导气扇，以及设于物镜腔室内部的第二导气扇。本发明能够快速引导氦气和氮气充入测试箱，以便于调整测试箱内部气压。以便于调整测试箱内部气压。以便于调整测试箱内部气压。


技术研发人员：王康 卢胜杰 邓慧 魏杰 张传彪
受保护的技术使用者：菏泽学院
技术研发日：2021.12.15
技术公布日：2022/3/18