一种复合式坐标测量仪的制作方法

技术特征：
1.一种复合式坐标测量仪，其特征在于：测量仪包括带地脚(1)的花岗石底座(2)、龙门侧立柱(3)、y轴移动台组件(4)、x轴移动台组件(5)、z轴移动台组件(6)、复合式测头组件(7)和控制台，所述y轴移动台组件(4)安装于所述花岗石底座(2)的上部并位于两根龙门侧立柱(3)之间设置，所述x轴移动台组件(5)、的两端下部支撑在两根龙门侧立柱(3)的顶部，所述z轴移动台组件(6)插接在所述x轴移动台组件(5)中部并随之横向移动，所述复合式测头组件(7)安装于z轴移动台组件(6)的下端并随之竖向移动，所述测量仪还包括一个底光源组件(8)，所述底光源组件(8)的上端连接至所述x轴移动台组件(5)并随之横向移动，所述底光源组件(8)的下端连接至所述y轴移动台组件(4)内部，并向上方提供底光，所述y轴移动台组件(4)、x轴移动台组件(5)、z轴移动台组件(6)和复合式测头组件(7)均与所述控制台电讯连接。2.根据权利要求1所述的复合式坐标测量仪，其特征在于：所述y轴移动台组件(4)包括安装在花岗石底座(2)上间隔设置的左右两个y轴导轨(401)，在两个y轴导轨(401)之间y向设置y轴直线电机定子(402)、y轴直线电机动子(403)、y侧气浮滑板(404)和y轴光栅单元(405)，在两个所述y轴导轨(401)上安装多个y向磁压钢片(406)和磁铁座(407)，一个上浮滑板(408)通过所述磁铁座(407)和y向磁压钢片(406)横跨的安装在两个y轴导轨(401)上；在所述上浮滑板(408)上方设置检测载台(409)和载台玻璃板(410)。3.根据权利要求2所述的复合式坐标测量仪，其特征在于：所述y轴移动台组件(4)还包括设置在y轴导轨(401)外侧边的y轴防脱块(411)和缓冲单元(412)，并在一个y轴导轨(401)的外侧设置拖链(413)。4.根据权利要求2或3所述的复合式坐标测量仪，其特征在于：所述载台玻璃板(410)设置在所述检测载台(409)的顶面，在所述检测载台(409)的中部开设底光源腔(4091)，所述底光源组件(8)的下端可控的在所述底光源腔(4091)内横向移动，并透过所述载台玻璃板(410)向上方提供底光。5.根据权利要求2所述的复合式坐标测量仪，其特征在于：所述x轴移动台组件(5)包括x轴横梁(501)、x向气浮滑板组(502)、x向磁压钢条(503)、x轴直线电机定子(504)、x轴直线电机动子(505)；所述x轴横梁(501)横跨在两根龙门侧立柱(3)顶端固定设置，所述x向气浮滑板组(502)的多个气浮滑板设置在所述x轴横梁(501)的顶面和侧面，所述x向磁压钢条(503)设置在所述x轴横梁(501)的两侧面并于侧面设置的气浮滑板并排临近设置，所述x轴直线电机定子(504)固定至一个侧面上的x向磁压钢条(503)和气浮滑板外表面上，所述x轴直线电机动子(505)配套的连接至所述x轴直线电机定子(504)上；在所述x轴横梁(501)中部设置z向开口，用于安装z轴移动台组件(6)，并在所述x轴横梁(501)底面临近所述z向开口的横向边处设置x轴光栅单元(506)。6.根据权利要求2所述的复合式坐标测量仪，其特征在于：所述z轴移动台组件(6)包括装置包括z轴支架(601)、z轴主体(602)、z轴电机组(603)、锁控单元(604)、限位单元(605)、平衡单元(606)和z轴光栅单元，其中，z轴主体(602)、z轴电机组(603)、锁控单元(604)、限位单元(605)和平衡单元(606)连接至所述z轴支架(601)上，并由所述z轴支架(601)固定至所述x轴移动台组件(5)上；所述z轴电机组(603)驱动所述z轴主体(602)竖向可控的移动，所述锁控单元(604)和平衡单元(606)用于在异常状态下锁定z轴并停机，所述限位单元(605)和设置在所述z轴主
体(602)上并限制z轴主体(602)的运动在限定行程阈值内。7.根据权利要求2所述的复合式坐标测量仪，其特征在于：所述复合式测头组件(7)包括接触式探针(701)、影像测头(702)和光谱共焦测头(703)，融合标定后的复合式测头组件(7)在z轴移动台组件(6)控制下沿着z轴竖向移动，并独立或全部参与坐标测量。8.根据权利要求6所述的复合式坐标测量仪，其特征在于：所述底光源组件(8)设置在所述复合式测头组件(7)下方且可控的横向移动，且所述底光源组件(8)包括安装于x轴移动台组件(5)的x向气浮滑板组(502)上的底光源直线电机(801)，一个底光源转接板(802)安装于所述底光源直线电机(801)的动子上并随之可控的横向移动，一个底光源l形转接架(803)的两端分别连接所述底光源转接板(802)和一个底光源本体(804)，通过底光源l形转接架(803)将底光源本体(804)置于所述检测载台(409)的底光源腔(4091)中。9.根据权利要求6所述的复合式坐标测量仪，其特征在于：所述测量仪还包括误差补偿单元，所述误差补偿单元包括设置在y轴移动台组件(4)、x轴移动台组件(5)、z轴移动台组件(6)的光栅单元处的温度传感器，用于实时测量温度数据进行温度误差补偿。10.根据权利要求6所述的复合式坐标测量仪，其特征在于：所述测量仪还包括气控系统(9)，所述气控系统(9)包括气源(901)、前置常压阀(902)、三级过滤阀组(903)、一级分流阀(904)、三轴调压阀(905)、三轴电磁开关(906)、三轴分流阀(907)、闸瓦调压阀(908)和锁定电磁阀(909)，所述三轴分流阀(907)与y轴移动台组件(4)、x轴移动台组件(5)、z轴移动台组件(6)连通；所述闸瓦调压阀(908)与z轴移动台组件(6)设置的平衡气缸闸瓦连接，以实现对异常气压的停机应急反应；所述锁定电磁阀(909)与z轴移动台组件(6)的锁控单元(604)连接，以应对异常速度和加速度的锁定应急反应。

技术总结
本发明提供了一种复合式坐标测量仪，属于高精测量领域，测量仪包括带地脚的花岗石底座、龙门侧立柱、Y轴移动台组件、X轴移动台组件、Z轴移动台组件、复合式测头组件、误差补偿单元、气控系统和控制台，本发明的复合式测量仪具备三种不同测量头，通过设置温度补偿、气压异常应对、速度及加速度异常控制提高了测量仪的精度和测控效率，测量精度能够达到亚微米甚至亚纳米级别，在工业测量领域可以广泛应用。用。用。


技术研发人员：王志伟 曹葵康 周健 朱怡 杨聪 黄沄 蔡雄飞 徐一华
受保护的技术使用者：苏州天准科技股份有限公司
技术研发日：2021.11.04
技术公布日：2022/3/25