波纹管毛刷微动结构的制作方法

技术特征：
1.波纹管毛刷微动结构，包括波纹管本体(1)、上链接杆(2)和下链接杆(3)，其特征在于：所述上链接杆(2)的右侧和下链接杆(3)的左侧均延边缘螺纹连接有螺栓(4)，所述上链接杆(2)和下链接杆(3)的法兰均通过螺栓(4)与波纹管本体(1)的法兰螺纹连接，所述上链接杆(2)法兰的左侧和下链接杆(3)法兰的右侧均安装有o型密封圈(5)，所述波纹管本体(1)右侧法兰的内腔焊接有方轴，且方轴的左侧栓接有伸缩阻挡机构(6)。2.根据权利要求1所述的波纹管毛刷微动结构，其特征在于：所述上链接杆(2)和下链接杆(3)的法兰均栓接有固定环(7)，所述固定环(7)的底部栓接有箱体(8)，所述箱体(8)内腔底部的外侧通过轴承转动连接有丝杆(9)，所述丝杆(9)的顶部贯穿箱体(8)并栓接有把手，所述箱体(8)的顶部通过转套与丝杆(9)的表面转动连接，所述丝杆(9)的表面螺纹连接有螺纹套(10)，所述螺纹套(10)的内侧栓接有移动板，且移动板的底部栓接有支撑座(11)，所述支撑座(11)的底部贯穿箱体(8)并向下延伸。3.根据权利要求1所述的波纹管毛刷微动结构，其特征在于：所述波纹管本体(1)顶部和底部的两端部均栓接有固定箱(12)，所述固定箱(12)内腔靠近波纹管本体(1)的一侧栓接有弹簧，且弹簧远离波纹管本体(1)的一侧栓接有移动杆(13)，所述移动杆(13)远离弹簧的一侧贯穿固定箱(12)并栓接有挡板。4.根据权利要求1所述的波纹管毛刷微动结构，其特征在于：所述波纹管本体(1)的正面和背面均粘接有减震块，且减震块的材质为橡胶。5.根据权利要求1所述的波纹管毛刷微动结构，其特征在于：所述波纹管本体(1)的表面均喷涂有防腐蚀层(14)，所述防腐蚀层(14)的材质为环氧煤沥青重防腐涂料。6.根据权利要求5所述的波纹管毛刷微动结构，其特征在于：所述防腐蚀层(14)的外侧喷涂有耐磨层(15)，所述耐磨层(15)的材质为聚氨酯涂料。7.根据权利要求6所述的波纹管毛刷微动结构，其特征在于：所述耐磨层(15)的厚度范围介于10um-20um之间。8.根据权利要求2所述的波纹管毛刷微动结构，其特征在于：所述箱体(8)内腔的底部粘接有密封圈，且密封圈的内圈与支撑座(11)的表面活动连接。9.根据权利要求2所述的波纹管毛刷微动结构，其特征在于：所述箱体(8)内腔的内侧开设有滑槽(16)，所述滑槽(16)的内腔滑动连接有滑块(17)，所述滑块(17)的外侧与移动板的内侧栓接。10.根据权利要求2所述的波纹管毛刷微动结构，其特征在于：所述支撑座(11)的底部粘接有防滑垫。

技术总结
本实用新型公开了波纹管毛刷微动结构，包括波纹管本体、上链接杆和下链接杆，所述上链接杆的右侧和下链接杆的左侧均延边缘螺纹连接有螺栓，所述上链接杆和下链接杆的法兰均通过螺栓与波纹管本体的法兰螺纹连接，通过上链接杆、下链接杆、波纹管本体、螺栓、O型密封圈和伸缩阻挡机构的配合，将毛刷主轴替换成本结构，通过压缩空气从上链接杆对密闭波纹管本体内充气，实现波纹管本体轴向膨胀，轴向加长4mm左右，该长度通过增加或减少伸缩阻挡机构垫片实现调节，从而使毛刷主轴有一定的膨胀量，防止把晶圆撞偏，撞掉，晶圆的位置是固定的，在进行使用前，使用者将波纹管本体的膨胀量调节好，即可实现不把晶圆撞偏、撞掉的效果。撞掉的效果。撞掉的效果。


技术研发人员：魏猛 胡延兵 于昊
受保护的技术使用者：沈阳芯达半导体设备有限公司
技术研发日：2021.11.26
技术公布日：2022/3/25