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一种用于扫描电镜的样品冷冻及传输一体化装置

2022-04-13 16:52:22 来源:中国专利 TAG:

技术特征:
1.一种用于扫描电镜的样品冷冻及传输一体化装置,其特征在于:包括样品冷冻机构、样品传输机构和样品处置机构,所述样品冷冻机构和所述样品处置机构均与所述样品传输机构连接,所述样品处置机构与扫描电镜(700)连接,所述样品传输机构用于将样品在所述样品冷冻机构、所述样品处置机构和所述扫描电镜(700)之间转移,所述样品冷冻机构、所述样品传输机构和所述样品处置机构均与抽真空机构连接。2.根据权利要求1所述的一种用于扫描电镜的样品冷冻及传输一体化装置,其特征在于:所述样品冷冻机构为制样杜瓦瓶组件(100)。3.根据权利要求2所述的一种用于扫描电镜的样品冷冻及传输一体化装置,其特征在于:所述制样杜瓦瓶组件(100)包括杜瓦瓶内筒(101)和杜瓦瓶外壳(102),所述杜瓦瓶外壳(102)上设有杜瓦瓶隔热架(103),所述杜瓦瓶隔热架(103)中设有通气孔(104),所述杜瓦瓶内筒(101)安装在所述杜瓦瓶隔热架(103)上,所述杜瓦瓶外壳(102)与所述杜瓦瓶内筒(101)间留有间隙。4.根据权利要求3所述的一种用于扫描电镜的样品冷冻及传输一体化装置,其特征在于:所述样品传输机构包括样品过渡室(300)、制样杆组件(301)、送样杆组件(303)和样品制备载台(3014),所述样品冷冻机构和所述样品处置机构均与所述样品过渡室(300)连接,所述制样杆组件(301)和所述送样杆组件(303)均具有驱动端和功能端,所述样品制备载台(3014)与所述制样杆组件(301)的功能端连接。5.根据权利要求4所述的一种用于扫描电镜的样品冷冻及传输一体化装置,其特征在于:所述样品过渡室(300)上设有观察窗。6.根据权利要求4或5所述的一种用于扫描电镜的样品冷冻及传输一体化装置,其特征在于:所述样品处置机构包括断裂刀组件(504)和磁控溅射组件(506)。7.根据权利要求6所述的一种用于扫描电镜的样品冷冻及传输一体化装置,其特征在于:所述样品处置机构包括样品处置室(500),所述样品处置室(500)中设有样品处置台(501),所述断裂刀组件(504)和所述磁控溅射组件(506)均设置在所述样品处置室(500)中。8.根据权利要求7所述的一种用于扫描电镜的样品冷冻及传输一体化装置,其特征在于:所述断裂刀组件(504)包括断裂刀杆体(5041)、断裂刀隔热端头(5042)和断裂刀体(5043)。9.根据权利要求8所述的一种用于扫描电镜的样品冷冻及传输一体化装置,其特征在于:所述样品处置室(500)中设有冷阱(502),所述冷阱(502)温度低于所述样品处置台(501)的温度,所述冷阱(502)与所述断裂刀组件(504)通过导热材料连接。10.根据权利要求4、5、7-9中任意一项所述的一种用于扫描电镜的样品冷冻及传输一体化装置,其特征在于:所述样品过渡室(300)与样品冷冻机构和样品处置机构之间以及所述样品处置机构与所述扫描电镜(700)之间均通过阀门机构连接。

技术总结
本发明涉及扫描电镜技术领域,公开了一种用于扫描电镜的样品冷冻及传输一体化装置,包括样品冷冻机构、样品传输机构和样品处置机构,样品冷冻机构和样品处置机构均与样品传输机构连接,样品处置机构与扫描电镜连接,样品传输机构用于将样品在样品冷冻机构、样品处置机构和扫描电镜之间转移,样品冷冻机构、样品传输机构和样品处置机构均与抽真空机构连接,一体化的集成设计和整体结构的优化,使得样品的冷冻制备和传输工作可以在一个装置中连续完成,大大提高了实验操作效率。同时,通过优化的隔热设计以及高真空的传输环境有力保证了所观察样品的低温状态,更好地保持了样品的真实结构。实结构。实结构。


技术研发人员:王宏涛 李克强
受保护的技术使用者:浙江大学杭州国际科创中心
技术研发日:2021.12.10
技术公布日:2022/4/12
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