一种晶圆侧边影像检测装置的制作方法

技术特征：
1.一种晶圆侧边影像检测装置，其特征在于：装置包括影像采集机构(100)、晶圆载台(200)和控制器，所述影像采集机构(100)距离可调的正对晶圆载台(200)设置，所述晶圆载台(200)高度可调的旋转支撑多种规格的晶圆，通过控制器控制晶圆载台(200)带动被测晶圆旋转，并控制影像采集机构(100)完成对晶圆全周侧的影像采集。2.根据权利要求1所述的晶圆侧边影像检测装置，其特征在于：所述晶圆载台(200)包括载台底座(201)、升降台柱(202)和旋转载盘(203)；其中，所述升降台柱(202)用于调节旋转载盘(203)的高度以使其上承载的晶圆侧边厚度完全落入影像采集机构(100)的影像采集范围；所述旋转载盘(203)支撑定位待测晶圆，并使待测晶圆按规定角速度旋转以适于检测。3.根据权利要求2所述的晶圆侧边影像检测装置，其特征在于：所述升降台柱(202)上设有高度传感器，所述旋转载盘(203)处设有角度传感器。4.根据权利要求2所述的晶圆侧边影像检测装置，其特征在于：所述影像采集机构(100)包括采集底座、主安装板(4)、相机移动载件(5)、相机转接块(7)、相机(8)、镜头(9)、方光组件、环光调节架(12)和环光组件；所述主安装板(4)固定至所述采集底座上，所述相机移动载件(5)安装于所述主安装板(4)上，所述相机(8)通过相机转接块(7)安装于所述相机移动载件(5)上，并由所述相机移动载件(5)驱动所述相机(8)和镜头(9)前后移动实现影像采集距离粗调；在所述相机移动载件(5)前方设置所述方光组件、环光调节架(12)和环光组件，所述环光调节架(12)前后位置可调的设置在所述相机移动载件(5)的侧边，通过方光组件、环光组件、相机移动载件(5)和镜头(9)的调节实现影像采集机构(100)的焦距调整。5.根据权利要求4所述的晶圆侧边影像检测装置，其特征在于：所述方光组件包括l型的方光支架(10)和安装于方光支架(10)前方的方形光源(11)，所述方光支架(10)安装于所述相机移动载件(5)上并位于相机转接块(7)前方以及环光调节架(12)内侧设置。6.根据权利要求4所述的晶圆侧边影像检测装置，其特征在于：所述环光组件包括环光固定板(13)和环形光源(14)，所述环光固定板(13)固定连接至l型的所述环光调节架(12)的前端，并使得所述环形光源(14)随着环光调节架(12)前后行程可调的布置。7.根据权利要求4或5或6所述的晶圆侧边影像检测装置，其特征在于：所述影像采集机构(100)还包括柔性防尘遮光罩(15)，所述柔性防尘遮光罩(15)将镜头(9)、方光组件、环光调节架(12)和环光组件包覆密封，并在影像采集投影方向上伸缩可调。

技术总结
本发明提供了一种晶圆侧边影像检测装置，属于半导体检测领域，装置包括影像采集机构、晶圆载台和控制器，影像采集机构距离可调的正对晶圆载台设置，晶圆载台高度可调的旋转支撑多种规格的晶圆，通过控制器控制晶圆载台带动被测晶圆旋转，并控制影像采集机构完成对晶圆全周侧的影像采集；装置设置多个影像采集机构围绕晶圆载台周向均布的设置；以此提高晶圆侧边影像采集的精度和效率，便于在半导体检测领域中推广应用。域中推广应用。域中推广应用。


技术研发人员：ꢀ(74)专利代理机构
受保护的技术使用者：苏州矽行半导体技术有限公司
技术研发日：2022.02.23
技术公布日：2022/5/10