一种单晶硅的硅片加工多角度调试结构

技术特征：
1.一种单晶硅的硅片加工多角度调试结构，包括置物板(1)、内固定架(2)和外固定架(3)，其特征在于：所述置物板(1)的顶部左端固定设有定夹板(11)，所述定夹板(11)的右端设有动夹板(12)，所述动夹板(12)的右端固定设有推杆(131)，所述推杆(131)的右端连接有电动推杆装置(13)，所述电动推杆装置(13)固定设于所述置物板(1)的顶部右端，所述内固定架(2)设于所述置物板(1)的下端，所述内固定架(2)的底部固定设有第一底板(23)，所述第一底板(23)的顶部中间设有气缸(22)，所述气缸(22)的顶部连接有气压杆(221)，所述气压杆(221)的顶部固定设有支板(27)，所述支板(27)的顶部设有第一电机(21)，所述第一电机(21)的顶部连接有第一电机轴(211)，所述第一电机轴(211)的固定设于所述置物板(1)的底部中间，所述外固定架(3)设于所述内固定架(2)的底部外端，所述外固定架(3)的底部焊接有第二底板(31)，所述外固定架(3)的内侧上端转动连接有第二电机轴(241)，所述第二电机轴(241)的内侧端焊接有第三安装板(28)，所述第三安装板(28)通过螺栓连接于所述内固定架(2)的外端，所述第二电机轴(241)贯穿外固定架(3)的外端连接有第二电机(24)。2.根据权利要求1所述的一种单晶硅的硅片加工多角度调试结构，其特征在于：所述定夹板(11)与动夹板(12)的内侧端均为弧形结构，所述定夹板(11)与动夹板(12)的内侧端粘接有硅胶垫(112)。3.根据权利要求1所述的一种单晶硅的硅片加工多角度调试结构，其特征在于：所述定夹板(11)的右侧前后端均固定设有连杆(111)，所述动夹板(12)的左侧前后端均固定设有液压套筒(121)，所述连杆(111)与液压套筒(121)液压连接。4.根据权利要求1所述的一种单晶硅的硅片加工多角度调试结构，其特征在于：所述推杆(131)的左端焊接有第一安装板(132)，所述电动推杆装置(13)的底部焊接有第二安装板(133)，所述第一安装板(132)与第二安装板(133)均通过螺栓连接于所述动夹板(12)的右端和所述置物板(1)的顶部。5.根据权利要求1所述的一种单晶硅的硅片加工多角度调试结构，其特征在于：所述第一电机轴(211)的顶部焊接有上安装板(212)，所述第一电机(21)的底部焊接有下安装板(213)，所述上安装板(212)与下安装板(213)的外端一周通过螺栓分别连接于所述置物板(1)的底部和所述支板(27)的顶部。6.根据权利要求1所述的一种单晶硅的硅片加工多角度调试结构，其特征在于：所述支板(27)的两侧固定分布有滑块(25)，所述内固定架(2)的内侧开设分布有滑槽(26)，所述滑块(25)内嵌滑动连接于滑槽(26)的内部。7.根据权利要求1所述的一种单晶硅的硅片加工多角度调试结构，其特征在于：所述第二电机轴(241)的底部固定设有eva垫块(242)，所述eva垫块(242)的底部固定设有支撑架(243)，所述支撑架(243)安装于外固定架(3)的外端，所述支撑架(243)的底部前后端焊接有加强筋。

技术总结
本发明公开了一种单晶硅的硅片加工多角度调试结构，包括置物板、内固定架和外固定架，所述置物板的顶部左端固定设有定夹板，所述定夹板的右端设有动夹板，所述推杆的右端连接有电动推杆装置，所述电动推杆装置固定设于所述置物板的顶部右端，所述第一底板的顶部中间设有气缸，所述气缸的顶部连接有气压杆，所述气压杆的顶部固定设有支板，所述支板的顶部设有第一电机，所述第一电机的顶部连接有第一电机轴，所述外固定架设于所述内固定架的底部外端。该单晶硅的硅片加工多角度调试结构，便于自动化夹持单晶硅于定夹板之间，自动化控制旋转调节硅片加工角度、升降调节硅片加工高度和翻转调节其整体的前后倾斜度，适用于单晶硅加工多角度调试。工多角度调试。工多角度调试。


技术研发人员：高虹 姚苏恒 何雨春 张涛 陈煜坚 俞晓明
受保护的技术使用者：盐城工学院
技术研发日：2022.02.22
技术公布日：2022/5/25