精准控制氮气供应的氮化铝粉末制备石墨炉的制作方法

技术特征：
1.精准控制氮气供应的氮化铝粉末制备石墨炉，其特征在于，包括进气风机、排气风机、配气系统和两个反应装置，所述配气系统具有配气动力件和两个联动的配气装置，各所述配气装置均包括配气进气口和配气出气口，各所述配气进气口均与进气风机连通，各所述配气出气口与对应反应装置连通，各所述反应装置与排气风机连通，各所述配气装置均包括配气箱体、主动配气活塞和进排气控制组件，所述配气箱体具有压气腔，所述配气动力件推动相邻两个配气装置上的主动配气活塞沿压气腔滑动，所述进排气控制组件包括进排气控制杆和进排气控制齿轮，所述进排气控制杆位于压气腔且进排气控制杆沿配气进气口和配气出气口滑动，所述进排气控制齿轮与主动配气活塞传动连接，所述进排气控制齿轮设有与排气控制杆螺纹副连接的升降螺纹，所述主动配气活塞上设有与进排气控制齿轮啮合的主动配气齿条，所述进排气控制齿轮上设有与主动配气齿条配合的限位挡板，所述限位挡板限制进排气控制齿轮的轴向运动，所述主动配气活塞沿压气腔滑动使压气腔容积最大时进排气控制杆打开配气进气口而密封配气出气口，所述主动配气活塞沿压气腔滑动使压气腔容积由最大逐渐变小的过程中，进排气控制杆密封配气进气口而打开配气出气口。2.根据权利要求1所述的精准控制氮气供应的氮化铝粉末制备石墨炉，其特征在于，所述反应装置设置有多个石墨料箱，多个所述石墨料箱通过连接管道串联形成一排，每排所述石墨料箱的进气口与对应配气装置的配气出气口相连通，每排所述石墨料箱的排气口与排气风机相连通。3.根据权利要求1所述的精准控制氮气供应的氮化铝粉末制备石墨炉，其特征在于，所述压气腔内设有若干填充物。4.根据权利要求1所述的精准控制氮气供应的氮化铝粉末制备石墨炉，其特征在于，该配气装置还包括被动配气活塞，所述被动配气活塞沿压气腔滑动，所述被动配气活塞上设有与进排气控制齿轮啮合的被动配气齿条。5.根据权利要求1所述的精准控制氮气供应的氮化铝粉末制备石墨炉，其特征在于，所述配气动力件为双作用气缸，所述配气动力件的两个输出端分别伸入对应配气箱体的压气腔内与对应主动配气活塞传动连接。6.根据权利要求1所述的精准控制氮气供应的氮化铝粉末制备石墨炉，其特征在于，所述进排气控制杆包括杆体和依次布置在杆体上的进气支撑杆组、进气密封塞、出气密封塞和出气支撑杆组，所述进气支撑杆组沿配气进气口滑动，所述出气支撑杆组沿配气出气口滑动，所述进气密封塞与出气密封塞最远端之间的距离大于压气腔的内径。7.根据权利要求1所述的精准控制氮气供应的氮化铝粉末制备石墨炉，其特征在于，所述进气支撑杆组和出气支撑杆组均具有三根等角度分布的支撑杆。8.根据权利要求1所述的精准控制氮气供应的氮化铝粉末制备石墨炉，其特征在于，所述配气箱体由配气筒体和密封配气筒体两端的密封盖组成。

技术总结
本发明涉及一种精准控制氮气供应的氮化铝粉末制备石墨炉，包括配气系统和两个反应装置，配气系统具有配气动力件和两个联动的配气装置，各配气装置均包括配气进气口和配气出气口，各配气装置均包括配气箱体、主动配气活塞和进排气控制组件，配气箱体具有压气腔，配气动力件推动相邻两个配气装置上的主动配气活塞沿压气腔滑动，进排气控制组件包括进排气控制杆，主动配气活塞沿压气腔滑动使压气腔容积最大时进排气控制杆打开配气进气口而密封配气出气口，主动配气活塞沿压气腔滑动使压气腔容积由最大逐渐变小的过程中，进排气控制杆密封配气进气口而打开配气出气口，保证各反应装置相同的供气量，保证相同的产品质量。保证相同的产品质量。保证相同的产品质量。


技术研发人员：黄文思 杨大胜 施纯锡 冯家伟
受保护的技术使用者：福建华清电子材料科技有限公司
技术研发日：2022.01.19
技术公布日：2022/5/30