一种压电元件、压电振动器及其制作方法、电子设备与流程

技术特征：
1.一种压电元件，其特征在于，包括：第一电极、设置在所述第一电极上的压电结构以及设置在所述压电结构上的第二电极；所述第二电极包括依次设置在所述压电结构上的导电层和抗氧化层；所述导电层，被配置为当所述压电元件发生击穿短路时，在所述压电元件的击穿位置与所述抗氧化层发生固溶，并氧化生成绝缘材料。2.根据权利要求1所述的压电元件，其特征在于，所述导电层的材料为铟，所述抗氧化层的材料为金。3.根据权利要求1所述的压电元件，其特征在于，在沿着垂直于所述第一电极所在平面的方向上，所述导电层的厚度为485nm至515nm，所述抗氧化层的厚度为13.5nm至16.5nm。4.根据权利要求1所述的压电元件，其特征在于，所述第二电极还包括设置在所述压电结构与所述导电层之间的黏附层。5.根据权利要求4所述的压电元件，其特征在于，所述黏附层的材料为镍；在沿着垂直于所述第一电极所在平面的方向上，所述黏附层的厚度为9nm至11nm。6.根据权利要求1所述的压电元件，其特征在于，所述压电结构的材料为压电陶瓷；在沿着垂直于所述第一电极所在平面的方向上，所述压电结构的厚度小于5μm。7.根据权利要求1所述的压电元件，其特征在于，所述第一电极的材料为氧化铟锡；在沿着垂直于所述第一电极所在平面的方向上，所述第一电极的厚度为100nm至500nm。8.一种压电振动器，其特征在于，包括衬底以及设置在所述衬底上的多个如权利要求1至7中任一项所述的压电元件。9.根据权利要求8所述的压电振动器，其特征在于，所述压电振动器还包括覆盖所述衬底和各个所述压电元件的绝缘层，所述绝缘层具有与每个所述压电元件对应的第一过孔和第二过孔；所述压电振动器还包括设置在所述绝缘层远离所述压电元件一侧的走线层，所述走线层包括与每个所述压电元件对应的第一信号线和第二信号线，每条所述第一信号线通过所述第一过孔与对应的所述压电元件中的所述第一电极连接，每条所述第二信号线通过所述第二过孔与对应的所述压电元件中的所述第二电极连接。10.一种压电振动器的制作方法，其特征在于，包括：在衬底上形成多个第一电极；在每个所述第一电极上形成压电结构；在每个所述压电结构上形成导电层；在每个所述导电层上形成抗氧化层，以得到多个压电元件；其中，所述导电层，被配置为当所述压电元件发生击穿短路时，在所述压电元件的击穿位置与所述抗氧化层发生固溶，并氧化生成绝缘材料。11.根据权利要求10所述的方法，其特征在于，在所述在每个所述第一电极上形成压电结构的步骤之后，还包括：在每个所述压电结构上形成黏附层；所述导电层位于所述黏附层远离所述压电结构的一侧。12.根据权利要求10所述的方法，其特征在于，在所述在每个所述导电层上形成抗氧化层，以得到多个压电元件的步骤之后，还包括：
形成覆盖所述衬底和各个所述压电元件的绝缘层；所述绝缘层具有与每个所述压电元件对应的第一过孔和第二过孔；在所述绝缘层远离所述压电元件的一侧形成走线层；所述走线层包括与每个所述压电元件对应的第一信号线和第二信号线，每条所述第一信号线通过所述第一过孔与对应的所述压电元件中的所述第一电极连接，每条所述第二信号线通过所述第二过孔与对应的所述压电元件中的所述第二电极连接。13.一种电子设备，其特征在于，包括如权利要求8或9所述的压电振动器。

技术总结
本发明提供了一种压电元件、压电振动器及其制作方法、电子设备，涉及压电技术领域。本发明通过在第一电极上设置压电结构，并在压电结构上设置第二电极，且第二电极包括依次设置在压电结构上的导电层和抗氧化层，该导电层被配置为当压电元件发生击穿短路时，在压电元件的击穿位置与抗氧化层发生固溶，并氧化生成绝缘材料。通过采用导电层和抗氧化层作为压电元件的顶电极，在压电元件中的压电结构发生击穿短路时，基于短路产生的大量热量使得导电层融化，则抗氧化层和导电层会形成固溶体，缺失抗氧化层的导电层会发生氧化反应变为绝缘材料，使得压电元件的击穿位置从短路变为断路，避免压电元件某一位置发生击穿短路而导致整个压电元件失效。电元件失效。电元件失效。


技术研发人员：陈右儒
受保护的技术使用者：京东方科技集团股份有限公司
技术研发日：2020.11.24
技术公布日：2022/5/31