流体阻抗组件及流体控制装置的制作方法

技术特征：
1.一种流体阻抗组件，其特征在于，包括：陶瓷制的流路形成构件，具有一个或多个阻抗流路；以及金属制的被覆构件，覆盖所述流路形成构件的外周面。2.根据权利要求1所述的流体阻抗组件，其特征在于，所述流路形成构件为圆柱状，所述被覆构件为圆筒状，所述流路形成构件以嵌合公差嵌入所述被覆构件。3.根据权利要求1或2所述的流体阻抗组件，其特征在于，所述流路形成构件的外周面的整个面由所述被覆构件覆盖。4.根据权利要求1至3中任一项所述的流体阻抗组件，其特征在于，作为所述阻抗流路的长度尺寸相对于直径尺寸的比率的纵横比为200以上。5.一种流体控制装置，其特征在于，包括：如权利要求1至4中任一项所述的流体阻抗组件，设置于流体所流动的内部流路；上游侧压力传感器及下游侧压力传感器，设置于所述内部流路中的所述流体阻抗组件的上游侧及下游侧；以及流量调节阀，设置于所述内部流路。6.一种流体控制装置，其特征在于，包括：如权利要求1至4中任一项所述的流体阻抗组件，设置于流体所流动的内部流路；传感器流路，连接所述内部流路中的上游侧与下游侧；上游侧电阻组件及下游侧电阻组件，设置于所述传感器流路；以及流量调节阀，设置于所述内部流路。7.根据权利要求5或6所述的流体控制装置，其特征在于，包括：流量计算回路，计算在所述内部流路中流动的流体的流量；以及控制回路，以由所述流量计算回路计算出的测定流量成为预定的目标流量的方式控制所述流量调节阀。8.根据权利要求5至7中任一项所述的流体控制装置，其特征在于，串联或并联地设置有阻抗值互不相同的多个所述流体阻抗组件。9.根据权利要求8所述的流体控制装置，其特征在于，在所述内部流路设置有第一压力传感器、第二压力传感器及第三压力传感器，第一所述流体阻抗组件设置于所述第一压力传感器与所述第二压力传感器之间，第一所述流体阻抗组件设置于所述第二压力传感器与所述第三压力传感器之间，所述流体控制装置还包括诊断回路，所述诊断回路将第一流量与第二流量进行比较来诊断是否产生不良状况，所述第一流量是基于所述第一流体阻抗组件的阻抗值、所述第一压力传感器的检测值及所述第二压力传感器的检测值而计算出的流量，所述第二流量是基于所述第二流体阻抗组件的阻抗值、所述第二压力传感器的检测值及所述第三压力传感器的检测值而计算出的流量。10.根据引用权利要求5的权利要求8所述的流体控制装置，其特征在于，第一所述流体阻抗组件设置于所述上游侧压力传感器与所述下游侧压力传感器之间，第二所述流体阻抗组件与所述第一流体阻抗组件并联地设置。11.根据权利要求5至7中任一项所述的流体控制装置，其特征在于，
串联地设置有具有相互相等的阻抗值的多个所述流体阻抗组件。12.根据引用权利要求5的权利要求11所述的流体控制装置，其特征在于，所述多个流体阻抗组件设置于所述上游侧压力传感器与所述下游侧压力传感器之间。

技术总结
本发明提供一种流体阻抗组件，使得享有使用陶瓷形成阻抗流路带来的优点的同时，能够将该流体阻抗组件合理地组装至流体所流动的流路，流体阻抗组件(R)包括：陶瓷制的流路形成构件(10)，具有一个或多个阻抗流路(10a)；以及金属制的被覆构件(20)，覆盖流路形成构件(10)的外周面。外周面。外周面。


技术研发人员：安田忠弘 安德鲁
受保护的技术使用者：株式会社堀场STEC
技术研发日：2020.10.23
技术公布日：2022/6/7