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一种用于半导体激光器的光学整形方法及系统与流程

2022-09-02 18:40:29 来源:中国专利 TAG:

技术特征:
1.一种用于半导体激光器的光学整形方法,其特征在于,包括:将标定有光斑标准刻度的指示板设置在某一固定位置上;其中,所述光斑标准刻度是根据系统焦点位置及其在该固定位置需要的光斑大小标定的;利用整形透镜组对半导体激光器的某一激光芯片发出的光束进行整形,并调整所述整形透镜组的空间位置,以使整形光斑显示在所述指示板上且与所述光斑标准刻度相一致;对所述整形透镜组进行固化,以锁定当前激光芯片对应的透镜组的空间位置,完成该芯片的光束整形;重复上述步骤,直至完成所述半导体激光器所有激光芯片的光束整形,以得到所需光学光斑。2.根据权利要求1所述的用于半导体激光器的光学整形方法,其特征在于,利用整形透镜组对半导体激光器的某一激光芯片发出的光束进行整形,并调整所述整形透镜组的空间位置,以使整形光斑显示在所述指示板上且与所述光斑标准刻度相一致,包括:将半导体激光器发出的光束通过准直透镜组进行准直整形以得到平行光束;对所述平行光束进行部分遮挡,以在所述指示板上形成某一激光芯片对应的整形光斑;调整所述准直透镜组的空间位置,以使该整形光斑的形貌与所述指示板上相应位置的光斑标准刻度一致。3.根据权利要求2所述的用于半导体激光器的光学整形方法,其特征在于,将半导体激光器发出的光束通过准直透镜组进行准直整形以得到平行光束,包括:将半导体激光器发出的光束通过若干fac透镜,得到平行光束。4.根据权利要求2所述的用于半导体激光器的光学整形方法,其特征在于,对所述平行光束进行部分遮挡,以在所述指示板上形成某一激光芯片对应的整形光斑,包括:采用单缝遮光板将所述平行光束中暂时不需要整形的光束进行遮挡,仅使需要整形的激光芯片对应的光束通过,以在所述指示板上形成该激光芯片对应的整形光斑。5.根据权利要求1所述的用于半导体激光器的光学整形方法,其特征在于,对所述整形透镜组进行固化包括:对所述整形透镜组进行点胶操作以预固化该整形透镜组;将预固化后的整形透镜组移动至预设位置,并根据光斑形貌对其位置进行微调整;其中所述预设位置为使所述整形光斑与所述指示板上的光斑标准刻度相一致时整形透镜组所处的空间位置;对经过微调整之后的整形透镜组进行固化。6.一种用于半导体激光器的光学整形系统,其特征在于,包括:激光模块(1),沿光路依次设置的整形透镜组(2)、单缝遮光板(3)、标定有光斑标准刻度的指示板(4),以及用于设置指示板(4)位置的位置标定装置(5)、空间位置可调的检测装置(6)和固化装置(7);其中,所述指示板(4)可拆卸的设置在所述位置标定装置(5)上,且可沿所述位置标定装置(5)移动。7.根据权利要求6所述的用于半导体激光器的光学整形系统,其特征在于,所述整形透镜组(2)设置在六轴光学调整架上,以便于根据整形光斑的形貌对所述整形透镜组(2)的各个透镜进行空间位置调整,并在所述整形光斑的形貌与所述指示板(4)上相应位置的光斑
标准刻度一致时,对透镜组进行固化;其中,所述光斑标准刻度是根据系统焦点位置及其在某一固定位置需要的光斑大小标定的。8.根据权利要求6所述的用于半导体激光器的光学整形系统,其特征在于,所述整形透镜组(2)包括若干fac透镜。9.根据权利要求6所述的用于半导体激光器的光学整形系统,其特征在于,所述单缝遮光板(3)内部设有水冷散热循环系统。10.根据权利要求6所述的用于半导体激光器的光学整形系统,其特征在于,所述指示板(4)采用经过黑色阳极化后的铝合金板制作而成。

技术总结
本发明公开了一种用于半导体激光器的光学整形方法及系统,所述方法包括:将标定有光斑标准刻度的指示板设置在某一固定位置上;利用整形透镜组对半导体激光器的某一激光芯片发出的光束进行整形,并调整整形透镜组的空间位置,以使整形光斑显示在指示板上且与光斑标准刻度相一致;对整形透镜组进行固化,以锁定当前激光芯片对应的透镜组的空间位置,完成该芯片的光束整形;重复上述步骤,直至完成半导体激光器所有激光芯片的光束整形,以得到所需光学光斑。本发明提供的光学整形方法可通过一台设备实现多种光斑需求的定制,能够满足各种光斑需求的光学整形,且系统成本低,工作效率高。高。高。


技术研发人员:侯友良 宋庆学 李晨 张滨
受保护的技术使用者:西安镭特电子科技有限公司
技术研发日:2021.03.01
技术公布日:2022/9/1
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