质量分析装置以及质量分析方法与流程

技术特征：
1.一种质量分析装置，其对试样进行分析，其特征在于，框架，其是具有导电性的容器；针，其设置在所述框架内；电极，其在所述框架内与所述针分离地设置；检测器，其通过从离子化试样释放的电子来检测离子量，所述离子化试样是由所述试样生成的；控制部，其显示由所述检测器测定出的电流量；第一电源，其向所述针施加第一电压；第二电源，其向所述电极施加第二电压；第一电流检测部，其串联连接在所述第一电源的地线与所述框架之间；以及第二电流检测部，其串联连接在所述第二电源的地线与所述框架之间，所述控制部基于由所述第一电流检测部以及所述第二电流检测部各自测定出的电流量，分别判断所述针与所述电极以外的离子源的构成物之间有无第一放电以及所述针与所述电极之间有无第二放电。2.根据权利要求1所述的质量分析装置，其特征在于，在检测到所述第一放电的发生的情况下，显示所述第一放电的发生部位，在检测到所述第二放电的发生的情况下，显示所述第二放电的发生部位。3.根据权利要求1所述的质量分析装置，其特征在于，所述控制部进行如下处理：在由所述第一电流检测部测定出的第一电流量的绝对值为第一阈值以上、且由所述第二电流检测部测定出的第二电流量的绝对值小于第二阈值时，判断为发生了所述第一放电；以及在所述第一电流量的绝对值为所述第一阈值以上、且所述第二电流量的绝对值为所述第二阈值以上时，判断为发生了所述第二放电。4.根据权利要求3所述的质量分析装置，其特征在于，所述控制部进行如下处理：在所述第一电压和所述第二电压的极性为正的情况下，应用第三阈值作为所述第一阈值，应用第四阈值作为所述第二阈值；以及在所述第一电压和所述第二电压的极性为负的情况下，应用第五阈值作为所述第一阈值，应用第六阈值作为所述第二阈值。5.根据权利要求1所述的质量分析装置，其特征在于，所述控制部在用户界面中显示放电检测的有无。6.根据权利要求5所述的质量分析装置，其特征在于，所述控制部在检测到所述第一放电或所述第二放电的情况下，将放电发生部位显示于所述用户界面。7.根据权利要求1所述的质量分析装置，其特征在于，在进行正负离子切换测定的情况下，在所述控制部中设定有在电源电压切换时不检测放电的死区时间。8.根据权利要求7所述的质量分析装置，其特征在于，
所述控制部在切换所述第二电压的极性的动作的前后连续地基于由所述第二电流检测部测定出的第二电流量来检测放电。9.根据权利要求1所述的质量分析装置，其特征在于，所述电极设置于离子源、收集部、分离部或检测器。10.一种质量分析方法，其对试样进行分析，其特征在于，所述质量分析方法使用质量分析装置，该质量分析方法具备：框架，其是具有导电性的容器；针，其设置在所述框架内；电极，其在所述框架内与所述针分离地设置；检测器，其通过从离子化试样释放的电子来检测离子量，所述离子化试样是由所述试样生成的；控制部，其显示由所述检测器测定出的电流量；第一电源，其向所述针施加第一电压；第二电源，其向所述电极施加第二电压；第一电流检测部，其串联连接在所述第一电源的地线与所述框架之间；以及第二电流检测部，其串联连接在所述第二电源的地线与所述框架之间，作为在所述控制部中执行的步骤，具有：(a)使用所述质量分析装置开始质量分析处理；以及(b)在步骤(a)之后，根据将从第一电流检测部和第二电流检测部发送的电流量的绝对值与阈值比较而得的结果，分别判定在针与所述电极以外的离子源的结构物之间有无第一放电以及在所述针与所述电极之间有无第二放电。11.根据权利要求10所述的质量分析方法，其特征在于，作为在所述控制部中执行的步骤，还具有：(c)在所述(b)步骤中检测到所述第一放电或所述第二放电的发生的情况下，显示所述第一放电或所述第二放电的发生部位。12.根据权利要求10所述的质量分析方法，其特征在于，所述控制部在所述(b)步骤中进行如下处理：在由所述第一电流检测部测定出的第一电流量的绝对值为第一阈值以上、且由所述第二电流检测部测定出的第二电流量的绝对值小于第二阈值时，判断为发生了所述第一放电；以及在所述第一电流量的绝对值为所述第一阈值以上、且所述第二电流量的绝对值为所述第二阈值以上时，判断为发生了所述第二放电。13.根据权利要求10所述的质量分析方法，其特征在于，作为在所述控制部中执行的步骤，还具有：(d)在所述(b)步骤中检测到所述第一放电或所述第二放电的发生的情况下，使所述质量分析处理停止。

技术总结
在质量分析装置中，由于夹杂物堆积在框架内部等原因，耐电压降低，在离子源等中发生放电，由此有时无法进行正常的测定。基于放电的异常测定的结果无法和前处理部与针之间的管的堵塞等引起的测定异常进行区分，因此存在异常部位的确定需要时间，维护性降低的问题。作为其手段，设置串联连接在向针施加电压的离子源电源与框架之间的返回电流检测部和串联连接在向对置电极施加电压的对置电极电源与框架之间的返回电流检测部。通过将由返回电流检测部测定出的电流与预先决定的阈值进行比较，来检测放电的发生以及放电发生部位。来检测放电的发生以及放电发生部位。来检测放电的发生以及放电发生部位。


技术研发人员：西元琢真 王子豪 古矢勇夫 任田浩 桥本雄一郎 杉山益之
受保护的技术使用者：株式会社日立高新技术
技术研发日：2020.12.02
技术公布日：2022/9/6