一种微流控芯片的制作方法

技术特征：
1.一种微流控芯片，其特征在于，包括相对设置的第一基板和第二基板，所述第一基板和所述第二基板之间形成微流控通道，所述微流控通道用于容纳至少一个液滴；位于所述第一基板一侧的多个驱动电极和多个感应电极，所述驱动电极呈阵列排布，所述感应电极在所述第一基板所在平面的投影与相邻的所述驱动电极的缝隙在所述第一基板所在平面的投影至少部分交叠；所述感应电极包括至少一个第一支电极和至少一个第二支电极，所述第一支电极沿第一方向延伸，所述第二支电极沿第二方向延伸，所述第一方向与所述驱动电极所成阵列的行方向平行，所述第二方向与所述驱动电极所成阵列的列方向平行；相邻的所述驱动电极加载不同的驱动电压信号，以驱动所述液滴移动；所述感应电极加载探测信号，根据所述液滴流过时所述感应电极和某一电极形成的电容变化确定所述液滴的位置。2.根据权利要求1所述的微流控芯片，其特征在于，所述感应电极包括一个第一支电极和一个第二支电极，所述第一支电极和所述第二支电极连接呈折线形状，所述第一支电极和所述第二支电极与分别与对应的所述驱动电极相邻的两个边缘平行。3.根据权利要求2所述的微流控芯片，其特征在于，所述感应电极与所述驱动电极一一对应。4.根据权利要求2所述的微流控芯片，其特征在于，所述感应电极的数量小于所述驱动电极的数量。5.根据权利要求1所述的微流控芯片，其特征在于，每个所述感应电极围绕一个对应的所述驱动电极，且所述感应电极相对于所述驱动电极所成阵列隔行和/或隔列排列。6.根据权利要求5所述的微流控芯片，其特征在于，所述感应电极包括一个第一支电极和两个第二支电极；每个所述感应电极围绕所述驱动电极所成阵列中奇数列或偶数列的某一驱动电极。7.根据权利要求5所述的微流控芯片，其特征在于，所述感应电极包括一个第二支电极和两个第一支电极；每个所述感应电极围绕所述驱动电极所成阵列中奇数行或偶数行的某一驱动电极。8.根据权利要求5所述的微流控芯片，其特征在于，所述感应电极包括一个第一支电极和两个第二支电极或者所述感应电极包括一个第二支电极和两个第一支电极；沿所述第一方向，所述感应电极围绕相邻两个所述驱动电极中的一个驱动电极设置；沿所述第二方向，所述感应电极围绕相邻两个所述驱动电极中的一个驱动电极设置。9.根据权利要求1所述的微流控芯片，其特征在于，每个所述感应电极包括两个第一支电极和两个第二支电极，两个所述第一支电极和两个所述第二支电极连接成围绕所述驱动电极的环状形状。10.根据权利要求9所述的微流控芯片，其特征在于，所述感应电极相对于所述驱动电极所成阵列隔行且隔列排列。11.根据权利要求1所述的微流控芯片，其特征在于，每个所述感应电极包括两个第一支电极和两个第二支电极，两个所述第一支电极和两个所述第二支电极连接成围绕所述驱动电极的环状形状；其中，某一所述第一支电极或某一所述第二支电极的长度大于其余三个支电极的长
度。12.根据权利要求11所述的微流控芯片，其特征在于，某一所述第一支电极或某一所述第二支电极的长度为其余三个支电极的长度的1.8～2.2倍。13.根据权利要求1所述的微流控芯片，其特征在于，还包括多条沿所述第一方向延伸的扫描信号线、多条沿所述第二方向延伸的数据信号线和与所述驱动电极一一对应的晶体管，每个所述晶体管的栅极与一条所述扫描信号线连接，第一极与一条所述数据信号线连接，第二极与对应的所述驱动电极连接。14.根据权利要求13所述的微流控芯片，其特征在于，所述扫描信号线、所述数据信号线和所述晶体管均位于所述驱动电极远离所述第二基板一侧；所述扫描信号线、所述数据信号线和所述晶体管的至少一者与所述驱动电极交叠。15.根据权利要求1所述的微流控芯片，其特征在于，所述感应电极与所述驱动电极同层设置，所述感应电极和所述驱动电极采用相同的材料形成。16.根据权利要求1所述的微流控芯片，其特征在于，还包括多条沿所述第一方向或所述第二方向延伸的数据信号线，每条所述数据信号线与对应的所述驱动电极连接，所述数据信号线位于所述驱动电极远离所述第二基板一侧；所述数据信号线与所述驱动电极绝缘交叠。17.根据权利要求13或16所述的微流控芯片，其特征在于，还包括多条探测信号线，每条所述探测信号线通过过孔与一个所述感应电极连接，所述探测信号线与所述数据信号线同层且平行设置。18.根据权利要求1所述的微流控芯片，其特征在于，还包括位于所述第二基板一侧的公共电极，根据所述液滴流过时所述感应电极和所述公共电极形成的电容变化确定所述液滴的位置。19.根据权利要求1所述的微流控芯片，其特征在于，沿所述第一方向，相邻两个所述驱动电极之间的距离为10μm～40μm；沿所述第二方向，相邻两个所述驱动电极之间的距离为10μm～40μm。20.根据权利要求1所述的微流控芯片，其特征在于，所述第一基板和所述第二基板临近所述微流控通道的一侧均设置有绝缘疏水层。

技术总结
本发明实施例公开了一种微流控芯片。该微流控芯片包括相对设置的第一基板和第二基板，第一基板和第二基板之间形成微流控通道，微流控通道用于容纳至少一个液滴；位于第一基板一侧的多个驱动电极和多个感应电极，驱动电极呈阵列排布；感应电极包括至少一个第一支电极和至少一个第二支电极，第一支电极沿第一方向延伸，第二支电极沿第二方向延伸；相邻的驱动电极加载不同的驱动电压信号，以驱动液滴移动；感应电极加载探测信号，根据液滴流过时感应电极和某一电极形成的电容变化确定液滴的位置。本发明实施例提供的微流控芯片在驱动液滴运动的同时可以获取液滴的位置，解决现有技术中由于不能检测液滴位置导致设备的可靠性低的问题。问题。问题。


技术研发人员：林柏全 席克瑞 粟平 王林志 周一安 秦锋 欧阳珺婷
受保护的技术使用者：上海天马微电子有限公司
技术研发日：2021.04.27
技术公布日：2022/10/28