晶圆盒、晶圆搬运设备的制作方法

技术特征：
1.一种晶圆盒，其特征在于，所述晶圆盒包括：相对设置的两个承载件，两个所述承载件围成位于两个所述承载件之间的容纳空间和位于所述容纳空间一侧的取放口，所述容纳空间用于收纳多片平行于第一基准面的晶圆；以及面光源，设置在所述容纳空间远离所述取放口的一侧，用于朝向所述容纳空间发光，所述面光源与所述取放口相对设置。2.如权利要求1所述的晶圆盒，其特征在于，所述承载件包括基板以及连接所述基板并靠近所述容纳空间的一侧的多个承载板，多个所述承载板沿第一预设方向间隔设置，两个所述承载件的多个所述承载板一一相对设置，相对设置的两个所述承载板组成具有承载位的承载组件，且用于分别承载所述晶圆的两端。3.如权利要求2所述的晶圆盒，其特征在于，所述晶圆盒还包括压力传感器、计数模块及通信模块，所述压力传感器设置在所述承载板承载所述晶圆的一侧，且电连接所述计数模块及所述通信模块，所述通信模块电连接控制模组，所述压力传感器用于感测所述承载位是否放置有所述晶圆并发出第一感测信号至所述计数模块，使得所述计数模块依据所述第一感测信号对所述晶圆盒中的所述晶圆进行计数，所述通信模块将所述计数模块记录的计数结果发送至所述控制模组；所述计数模块还用于显示所述计数结果。4.如权利要求3所述的晶圆盒，其特征在于，所述承载组件的两个所述承载板上均设置有所述压力传感器，所述压力传感器的数量为所述晶圆盒可容纳的所述晶圆数量的两倍；所述压力传感器位于所述承载板承载所述晶圆一侧的中间区域。5.一种晶圆搬运设备，其特征在于，所述晶圆搬运设备包括：如权利要求1-4项任意一项所述的晶圆盒；搬运模组，用于自所述取放口获取或放置所述晶圆；视觉感测模组，用于在所述面光源朝向所述容纳空间发光时，在所述取放口一侧拍摄所述容纳空间并输出第一拍摄图像；以及控制模组，电连接所述搬运模组和所述视觉感测模组，用于接收并依据所述第一拍摄图像控制所述搬运模组的进行对位，并在完成所述对位后控制所述搬运模组进行所述晶圆的获取或放置。6.如权利要求5所述的晶圆搬运设备，其特征在于，所述搬运模组包括电连接所述控制模组的移动组件及连接所述移动组件的晶圆载具，所述移动组件用于在所述控制模组的控制下驱动所述晶圆载具运动，所述视觉感测模组设置于所述晶圆载具上。7.如权利要求6所述的晶圆搬运设备，其特征在于，所述移动组件包括基座、设置在所述基座上的可沿第二预设方向伸缩的第一移动关节、一端与所述第一移动关节转动连接的第一旋转臂、一端与所述第一旋转臂的另一端转动连接的第二旋转臂、与所述第二旋转臂的另一端转动连接的所述晶圆载具。8.如权利要求7所述的晶圆搬运设备，其特征在于，所述晶圆载具包括连接基体以及搬运部，所述连接基体沿所述第二预设方向设置在所述移动组件上，所述搬运部连接于所述连接基体的一侧；所述视觉感测模组沿所述第二预设方向设置在连接基体远离所述移动组件的一侧，且所述视觉感测模组用于朝向所述搬运部所在的一侧进行拍摄。9.如权利要求8所述的晶圆搬运设备，其特征在于，所述视觉感测模组包括设置在所述
连接基体上的相机安装板、设置在所述相机安装板上的第一工业相机以及安装在所述第一工业相机上的第一镜头。10.如权利要求8所述的晶圆搬运设备，其特征在于，所述晶圆搬运设备还包括晶圆感测器，所述晶圆感测器设置于所述搬运部靠近所述晶圆一侧的表面且位于所述搬运部远离所述连接基体的一端，所述晶圆感测器电连接所述控制模组，用于感测所述晶圆并输出第二感测信号至所述控制模组，使得所述控制模组对所述搬运模组搬运的所述晶圆进行计数和/或取放监控。11.如权利要求10所述的晶圆搬运设备，其特征在于，所述搬运部包括两个手臂部，两个所述手臂部均连接于所述连接基体且围成具有开口的u型，所述开口朝向远离所述连接基体的一侧，所述晶圆感测器设置在所述手臂部远离所述连接基体的一端；两个所述手臂部承载所述晶圆的一侧分别设置有一个所述晶圆感测器；所述晶圆感测器为压力薄膜传感器。12.如权利要求10所述的晶圆搬运设备，其特征在于，所述控制模组依据所述第二感测信号对所述搬运模组是否自所述晶圆盒获取所述晶圆进行监控。13.如权利要求11所述的晶圆搬运设备，其特征在于，所述晶圆搬运设备还包括第一料盒，所述搬运模组用于自所述晶圆盒获取所述晶圆、并运输放置至所述第一料盒。14.如权利要求13所述的晶圆搬运设备，其特征在于，所述晶圆搬运设备还包括第二料盒和缺陷检测模组，所述缺陷检测模组位于所述搬运模组的从所述晶圆盒至所述第一料盒的搬运路径上，所述缺陷检测模组电连接所述控制模组，所述缺陷检测模组用于对所述搬运模组运输的所述晶圆进行缺陷检测并输出缺陷检测信息至所述控制模组，所述搬运模组用于将检测合格的所述晶圆放置于所述第一料盒，将检测不合格的所述晶圆放置在所述第二料盒。15.如权利要求14所述的晶圆搬运设备，其特征在于，所述缺陷检测信息包括检测图像，所述缺陷检测模组包括摄像模组以及支撑所述摄像模组的支架，所述摄像模组用于拍摄所述搬运模组运输的所述晶圆获得所述检测图像。16.如权利要求15所述的晶圆搬运设备，其特征在于，所述支架包括支撑主体、连接所述支撑主体一侧的相机支撑部、以及连接所述支撑主体一侧的光源支撑部，所述摄像模组包括第二工业相机、第二镜头和补光灯，所述第二镜头安装在所述第二工业相机上，所述第二工业相机设置于所述相机支撑部远离所述支撑主体的一端；所述补光灯设置于所述光源支撑部远离所述支撑主体的一端且用于补光；所述搬运模组搬运的所述晶圆用于平行于所述第一基准面放置，所述第二工业相机朝向所述晶圆且所述第二工业相机的光轴垂直于所述第一基准面；所述补光灯包括环形发光件，所述环形发光件位于所述第二工业相机和所述搬运模组之间且用于朝向所述晶圆发光，所述第二工业相机用于经由所述环形发光件的中空区域拍摄所述晶圆以获取所述检测图像。

技术总结
本申请实施例公开一种晶圆盒、晶圆搬运设备，所述晶圆盒包括相对设置的两个承载件和面光源，两个所述承载件围成位于两个所述承载件之间的容纳空间和位于所述容纳空间一侧的取放口，所述容纳空间用于收纳多片平行于第一基准面的晶圆；所述面光源设置在所述容纳空间远离所述取放口的一侧，用于朝向所述容纳空间发光，所述面光源与所述取放口相对设置，能够达到对晶圆精准对位、搬运与自动化操作的目的。搬运与自动化操作的目的。搬运与自动化操作的目的。


技术研发人员：张原 杨青峰 潘国瑞 崔智敏
受保护的技术使用者：深圳市深科达智能装备股份有限公司
技术研发日：2022.04.06
技术公布日：2022/11/10