用于高温暴露的可电剥离的组合物的制作方法

技术特征：
1.可电剥离的粘合剂组合物，其包含：丙烯酸聚合物，其中，所述丙烯酸聚合物是使包含含有羟基的极性单体和含有烷氧基的极性单体的混合物反应而得的产物；包含阳离子、第一阴离子和第二阴离子的离子液体，其中，所述第一阴离子为烷基磺酸根，所述第二阴离子为磺酰亚胺；和含氮的乙烯基化合物。2.如权利要求1所述的可电剥离的粘合剂组合物，其中，所述丙烯酸聚合物包含丙烯酸2-甲氧基乙酯。3.如权利要求1所述的可电剥离的粘合剂组合物，其中，丙烯酸2-甲氧基乙酯占所述丙烯酸聚合物的约60wt％至约99wt％。4.如权利要求1所述的可电剥离的粘合剂组合物，其中，所述丙烯酸聚合物包含丙烯酸4-羟基丁酯。5.如权利要求1所述的可电剥离的粘合剂组合物，其中，丙烯酸4-羟基丁酯占所述丙烯酸聚合物的约1wt％至约40wt％。6.如权利要求1所述的可电剥离的粘合剂组合物，其中，所述含氮的乙烯基化合物是乙烯基咪唑。7.如权利要求1所述的可电剥离的粘合剂组合物，其中，乙烯基咪唑占所述组合物的约0.01wt％至约10wt％。8.如权利要求1所述的可电剥离的粘合剂组合物，其中，所述离子液体的阳离子为1-乙基-3-甲基咪唑鎓。9.如权利要求1所述的可电剥离的粘合剂组合物，其中，所述烷基磺酸根是甲磺酸根。10.如权利要求1所述的可电剥离的粘合剂组合物，其中，所述磺酰亚胺是双(三氟甲基磺酰基)酰亚胺。11.如权利要求1所述的可电剥离的粘合剂组合物，其中，所述离子液体占所述组合物总重量的约10～25wt％。12.如权利要求1所述的可电剥离的粘合剂组合物，其中，所述丙烯酸聚合物利用二异氰酸酯交联剂而被交联。13.如权利要求12所述的可电剥离的粘合剂组合物，其中，所述交联剂是苯二亚甲基二异氰酸酯。14.如权利要求12或13所述的可电剥离的粘合剂组合物，其中，所述交联剂占所述组合物总重量的约0.01wt％至约5wt％。15.制备可电剥离的粘合剂组合物的方法，其包括：利用二异氰酸酯交联剂使粘合剂前体混合物交联；其中，所述粘合剂前体混合物包含丙烯酸聚合物、离子液体和含氮的乙烯基化合物；其中，所述丙烯酸聚合物是下述聚合混合物的反应产物，该聚合混合物包含：包含含有羟基的单体和含有烷氧基的单体的丙烯酸聚合物；且其中，所述离子液体包含阳离子和一种或多种阴离子，其中，至少一种阴离子包含烷基磺酸根。16.如权利要求15所述的方法，其中，丙烯酸聚合物包含1wt％至40wt％的羟基单体。
17.如权利要求15所述的方法，其中，丙烯酸聚合物包含60wt％至99wt％的烷氧基单体。18.如权利要求15所述的方法，其中，烷基磺酸根阴离子包含甲磺酸根阴离子。19.如权利要求15所述的方法，其中，所述离子液体还包含双(三氟甲基磺酰基)酰亚胺阴离子。20.如权利要求15所述的方法，其中，所述含氮的乙烯基化合物包含乙烯基咪唑。

技术总结
本文描述了用于将支承衬底临时接合到器件晶片构造的可电脱粘的粘合剂。此外，包含可脱粘的离子液体组合物的可电脱粘的粘合剂在高温下向金属基材施加电压时显示出改善的粘合性。合性。合性。


技术研发人员：爱德华多
受保护的技术使用者：日东电工株式会社
技术研发日：2021.03.30
技术公布日：2022/11/11