一种具有钛钨层的肖特基势垒二极管及其制造方法与流程

技术特征：
1.一种肖特基势垒二极管，其特征是，在肖特基势垒硅化物和正面金属之间有一层钛钨层；具体的二极管构造是：从上到下依次为正面金属，钛钨层，肖特基势垒层，n-外延层，衬底层，背面金属；肖特基势垒位于n-外延层和钛钨层之间；钛钨层下面肖特基势垒层周围还设有氧化层。2.根据权利要求1所述的肖特基势垒二极管，其特征是，所述的钛钨层的厚度为100nm以上。3.根据权利要求1所述的肖特基势垒二极管，其特征是，钛钨层使用的钛钨合金钨和钛的重量比是9:1，纯度是99.99％。4.根据权利要求1所述的肖特基势垒二极管，其特征是，肖特基势垒层通过溅射100nm以上厚度的cr，nicr，nipt或pt金属形成肖特基势垒。5.根据权利要求1-4任一所述的肖特基势垒二极管的制备方法，其特征是，制备背面金属，衬底层，n-外延层，n-外延层上磁控溅射仪溅射cr，nicr，nipt，pt肖特基势垒金属层，金属层厚度在0.1um内，然后放入烧结炉管中进行烧结；溅射钛钨：用磁控溅射仪溅射钛钨层，钛钨厚度在0.1um-0.3um，用于保护肖特基势垒，再制备正面金属电极。

技术总结
一种肖特基势垒二极管及制备方法，二极管结构是，在肖特基势垒硅化物和正面金属之间有一层钛钨层；具体的二极管构造是：从上到下依次为正面金属，钛钨层，肖特基势垒层，n-外延层，衬底层，背面金属；肖特基势垒位于n-外延层和钛钨层之间；钛钨层下面肖特基势垒层周围还设有氧化层。肖特基势垒层，n-外延层，衬底层制备完成后溅射钛钨：用磁控溅射仪溅射钛钨层，钛钨厚度在0.1um-0.3um，用于保护肖特基势垒，再制备正面金属电极。再制备正面金属电极。再制备正面金属电极。


技术研发人员：杨敏红 刘韵吉 单慧
受保护的技术使用者：桑德斯微电子器件（南京）有限公司
技术研发日：2022.09.05
技术公布日：2022/11/11