具有内部通道的半导体基板支撑件的制作方法

技术特征：
1.一种基板支撑组件，包含：静电夹盘主体，所述静电夹盘主体限定基板支撑表面；支撑杆，所述支撑杆与所述静电夹盘主体耦合；电极，所述电极靠近所述基板支撑表面嵌入在所述静电夹盘主体内；接地电极，所述接地电极嵌入在所述静电夹盘主体内；以及一个或多个通道，所述一个或多个通道形成在所述电极与所述接地电极之间的所述静电夹盘主体内。2.如权利要求1所述的基板支撑组件，其中所述静电夹盘主体包含陶瓷材料的整体式主体，结合有所述电极、所述接地电极以及所述一个或多个通道中的每一者。3.如权利要求2所述的基板支撑组件，进一步包含：加热器，所述加热器嵌入在所述电极和所述接地电极之间的所述静电夹盘主体内。4.如权利要求3所述的基板支撑组件，其中所述一个或多个通道包含多个通道，其中所述多个通道中的第一通道形成在所述电极和所述加热器之间的所述静电夹盘主体内。5.如权利要求4所述的基板支撑组件，其中所述多个通道中的第二通道形成在所述接地电极和所述加热器之间的所述静电夹盘主体内。6.如权利要求5所述的基板支撑组件，其中所述多个通道中的第三通道形成在所述电极和所述加热器之间的所述静电夹盘主体内，在所述静电夹盘主体内与所述多个通道中的所述第一通道垂直地偏移。7.如权利要求6所述的基板支撑组件，其中所述第一通道包含一组第一互连通道，所述一组第一互连通道包含：多个第一环形通道，所述多个第一环形通道跨越所述静电夹盘主体的第一平面分布，以及多个第一通道互连件，所述多个第一通道互连件径向地分布在所述多个第一环形通道的每个第一环形通道之间。8.如权利要求7所述的基板支撑组件，其中所述第三通道包含一组第二互连通道，所述一组第二互连通道包含：多个第二环形通道，所述多个第二环形通道跨越所述静电夹盘主体的第二平面分布，其中所述静电夹盘主体的所述第二平面与所述静电夹盘主体的所述第一平面垂直地偏移，以及多个第二通道互连件，所述多个第二通道互连件径向地分布在所述多个第二环形通道的每个第二环形通道之间。9.如权利要求8所述的基板支撑组件，其中所述多个第二环形通道与所述多个第一环形通道径向地偏移，并且其中所述多个第二通道互连件与所述多个第一通道互连件在方位角上偏移。10.如权利要求8所述的基板支撑组件，其中所述第二通道包含一组第三互连通道，所述一组第三互连通道包含：多个第三环形通道，所述多个第三环形通道跨越所述静电夹盘主体的第三平面分布，其中所述静电夹盘主体的所述第三平面与所述静电夹盘主体的所述第一平面和所述静电夹盘主体的所述第二平面垂直地偏移，以及
多个第三通道互连件，所述多个第三通道互连件径向地分布在所述多个第三环形通道的每个第三环形通道之间。11.如权利要求10所述的基板支撑组件，其中所述多个第三环形通道的每个通道与所述多个第一环形通道的相关通道垂直对准，并且其中所述多个第二通道互连件与所述多个第一通道互连件在方位角上对准。12.如权利要求10所述的基板支撑组件，进一步包含：第四通道，所述第四通道形成在所述静电夹盘主体的所述第三平面内，并且配置成安置热电偶，所述热电偶延伸穿过与所述静电夹盘主体耦合的所述支撑杆。13.一种基板支撑组件，包含：静电夹盘主体，所述静电夹盘主体限定基板支撑表面；支撑杆，所述支撑杆与所述静电夹盘主体耦合；电极，所述电极靠近所述基板支撑表面嵌入在所述静电夹盘主体内；接地电极，所述接地电极嵌入在所述静电夹盘主体内；第一组互连通道，所述第一组互连通道形成在所述电极与所述接地电极之间的所述静电夹盘主体内；以及第二组互连通道，所述第二组互连通道形成在所述电极与所述接地电极之间的所述静电夹盘主体内。14.如权利要求13所述的基板支撑组件，其中所述第二组互连通道与所述第一组互连通道径向地偏移。15.如权利要求13所述的基板支撑组件，其中所述第一组互连通道维持距所述静电夹盘主体的径向边缘至少5mm。16.如权利要求13所述的基板支撑组件，其中所述第一组互连通道和所述第二组互连通道维持在大气压力下。17.如权利要求16所述的基板支撑组件，其中在所述电极与所述接地电极之间的所述静电夹盘主体内的有效电容为小于或约1,000pf。18.如权利要求13所述的基板支撑组件，其中所述静电夹盘主体的特征在于空气的体积百分比为大于或约10％。19.如权利要求13所述的基板支撑组件，进一步包含：加热器，所述加热器定位在所述电极和所述接地电极之间，以及第三组互连通道，所述第三组互连通道形成在所述加热器和所述接地电极之间的所述静电夹盘主体内。20.一种基板支撑组件，包含：静电夹盘主体，所述静电夹盘主体限定基板支撑表面；支撑杆，所述支撑杆与所述静电夹盘主体耦合；电极，所述电极靠近所述基板支撑表面嵌入在所述静电夹盘主体内；接地电极，所述接地电极嵌入在所述静电夹盘主体内；加热器，所述加热器嵌入在所述电极和所述接地电极之间的所述静电夹盘主体内；第一组互连通道，所述第一组互连通道形成在所述电极和所述加热器之间的所述静电夹盘主体内；
第二组互连通道，所述第二组互连通道形成在所述第一组互连通道和所述加热器之间的所述静电夹盘主体内；以及第三组互连通道，所述第三组互连通道形成在所述加热器和所述接地电极之间的所述静电夹盘主体内。

技术总结
一种示例性基板支撑组件可包括限定基板支撑表面的静电夹盘主体。支撑组件可包括与静电夹盘主体耦合的支撑杆。支撑组件可包括电极，所述电极靠近基板支撑表面嵌入在静电夹盘主体内。支撑组件可包括嵌入在静电夹盘主体内的接地电极。支撑组件可包括形成在电极与接地电极之间的静电夹盘主体内的一个或多个通道。电极之间的静电夹盘主体内的一个或多个通道。电极之间的静电夹盘主体内的一个或多个通道。


技术研发人员：D
受保护的技术使用者：应用材料公司
技术研发日：2021.03.29
技术公布日：2022/11/18