基板处理装置和基板处理方法与流程

技术特征：
1.一种基板处理装置，具备：模块组，其包括对基板分别进行处理的多个处理模块、以及分别载置所述基板以在所述多个处理模块间搬送该基板的多个中继模块；多个搬送机构，所述多个搬送机构用共同的搬送机构进行向所述处理模块的所述基板的搬入及搬出，用互不相同的搬送机构进行向所述中继模块的所述基板的搬入及搬出，所述多个搬送机构分别在由所述模块组构成的基板的搬送路径中的被分配的区间进行搬送，以在该搬送路径中按顺序搬送所述基板；共用搬送机构，其构成所述多个搬送机构中的一个搬送机构，共用于所述基板的搬送路径中的相互分离的第一区间和第二区间的搬送，向所述多个中继模块中的包含于所述第一区间的第一中继模块和包含于所述第二区间的第二中继模块分别搬送所述基板；以及决定部，其基于分别从所述第一中继模块和所述第二中继模块向所述搬送路径的下游侧看的、至到达最近的所述处理模块的跟前的中继模块为止的各区间中的所述基板的搬送状况，来决定所述共用搬送机构向第一中继模块和第二中继模块中的哪个中继模块搬送所述基板。2.根据权利要求1所述的基板处理装置，其特征在于，所述决定部基于所述第一区间中的所述第一中继模块的上游侧的中继模块和所述第二区间中的所述第二中继模块的上游侧的中继模块中的各个中继模块中的所述基板的搬送状况，来进行所述决定。3.根据权利要求2所述的基板处理装置，其特征在于，所述第一中继模块的上游侧的中继模块和所述第二中继模块的上游侧的中继模块中的各个中继模块中的所述基板的搬送状况是能够向各中继模块搬送的基板的张数。4.根据权利要求2所述的基板处理装置，其特征在于，所述决定部根据所述共用搬送机构刚搬送过所述基板的区间来进行所述决定。5.根据权利要求1所述的基板处理装置，其特征在于，至到达所述最近的所述处理模块的跟前的中继模块为止的各区间中的所述基板的搬送状况是该各区间中的基板的张数。6.根据权利要求1所述的基板处理装置，其特征在于，在从所述第一中继模块向所述搬送路径的下游侧看的至到达最近的所述处理模块的跟前的中继模块为止的区间、或者在从所述第二中继模块向所述搬送路径的下游侧看的至到达最近的所述处理模块的跟前的中继模块为止的区间中，包括不通过所述共用搬送机构进行所述基板的搬送的中继模块。7.根据权利要求1所述的基板处理装置，其特征在于，所述第一区间包括设置于所述第一中继模块的上游侧的一个处理模块、和设置于该一个处理模块的上游侧的第三中继模块，所述共用搬送机构具备多个保持部，所述多个保持部分别保持基板，以进行在所述一个处理模块中处理完毕的基板与从所述第三中继模块搬出的基板的替换，所述决定部在能够从该第一处理模块搬出处理完毕的基板、且在未向所述第三中继模块搬送基板的状态下进行所述决定。8.根据权利要求7所述的基板处理装置，其特征在于，
所述决定部进行从变为能够从所述一个处理模块搬出处理完毕的基板起到进行基于所述决定的搬送为止的时间设定。9.根据权利要求8所述的基板处理装置，其特征在于，所述决定部针对所述搬送路径中的比所述第一区间靠前级的、按负责搬送的每个搬送机构划分的各区间，计算向后级的区间搬送基板的预计的时间间隔，所述时间设定基于所述各区间的预计的时间间隔来进行。10.根据权利要求9所述的基板处理装置，其特征在于，所述预计的时间间隔是基于一个区间中包括的所述处理模块的数量和在该处理模块中所需的基板的滞留时间来计算的。11.一种基板处理方法，包括以下工序：利用多个处理模块对基板分别进行处理；在多个中继模块中分别载置所述基板，以在所述多个处理模块之间交接该基板；通过共同的搬送机构进行向所述处理模块的所述基板的搬入及搬出；通过互不相同的搬送机构进行向所述中继模块的所述基板的搬入及搬出；在由包括所述多个处理模块和所述多个中继模块的模块组构成的基板的搬送路径中，在对多个搬送机构分别分配的区间搬送基板来在该搬送路径按顺序地搬送所述基板；通过构成所述多个搬送机构中的一个搬送机构、且共用于在所述基板的搬送路径中相互分离的、包括构成所述多个中继模块的第一中继模块的第一区间以及包括构成所述多个中继模块的第二中继模块的第二区间的搬送的共用搬送机构，进行向所述第一中继模块和第二中继模块的搬送；以及基于分别从所述第一中继模块和所述第二中继模块向所述搬送路径的下游侧看的、至到达最近的所述处理模块的跟前的中继模块为止的各区间中的所述基板的搬送状况，来决定所述共用搬送机构向第一中继模块和第二中继模块中的哪个中继模块搬送所述基板。

技术总结
装置构成为具备：共用搬送机构，其共用于搬送路径中的相互分离的第一区间和第二区间的搬送，向多个中继模块中的包含于第一区间的第一中继模块和包含于第二区间的第二中继模块分别搬送基板；以及决定部，其基于分别从第一中继模块和第二中继模块向所述搬送路径的下游侧看的、至到达最近的处理模块的跟前的中继模块为止的各区间中的基板的搬送状况，来决定共用搬送机构向第一中继模块和第二中继模块中的哪个中继模块搬送基板。块中的哪个中继模块搬送基板。块中的哪个中继模块搬送基板。


技术研发人员：松山健一郎
受保护的技术使用者：东京毅力科创株式会社
技术研发日：2021.03.26
技术公布日：2022/11/18