中空微球的制作方法

技术特征：
1.中空微球，其包含由聚合性组合物聚合而成的树脂，所述聚合性组合物包含：(a)分子内具有至少2个聚合性官能团的聚轮烷单体，和(b)所述(a)分子内具有至少2个聚合性官能团的聚轮烷单体以外的聚合性单体。2.权利要求1所述的中空微球，其中，相对于(a)分子内具有至少2个聚合性官能团的聚轮烷单体的含量和(b)所述(a)分子内具有至少2个聚合性官能团的聚轮烷单体以外的聚合性单体的合计100质量份，所述聚合性组合物的(a)分子内具有至少2个聚合性官能团的聚轮烷单体的含量为1～50质量份。3.权利要求1或2所述的中空微球，其中，所述树脂为选自聚氨酯(脲)树脂、三聚氰胺树脂、脲醛树脂和酰胺树脂中的至少1种。4.权利要求1～3任一项所述的中空微球，其中，所述(a)分子内具有至少2个聚合性官能团的聚轮烷单体的聚合性官能团为羟基或氨基。5.权利要求1～4任一项所述的中空微球，其中，在所述(a)分子内具有至少2个聚合性官能团的聚轮烷单体的环状分子的至少一部分中引入有侧链。6.权利要求5所述的中空微球，其中，所述(a)分子内具有至少2个聚合性官能团的聚轮烷单体的侧链的数均分子量为5,000以下。7.权利要求5或6所述的中空微球，其中，所述(a)分子内具有至少2个聚合性官能团的聚轮烷单体的聚合性官能团被引入到所述(a)分子内具有至少2个聚合性官能团的聚轮烷单体的侧链。8.cmp用抛光垫，其包含权利要求1～7任一项所述的中空微球。

技术总结
本发明的中空微球是包含由聚合性组合物聚合而成的树脂的中空微球，所述聚合性组合物包含：分子内具有至少2个聚合性官能团的聚轮烷单体和除了所述分子内具有至少2个聚合性官能团的聚轮烷单体以外的聚合性单体。通过使用本发明的中空微球，能够提供具有优异的抛光特性和耐久性的CMP用抛光垫。性和耐久性的CMP用抛光垫。


技术研发人员：清水康智 川崎刚美
受保护的技术使用者：株式会社德山
技术研发日：2021.03.31
技术公布日：2022/12/1