转移头、转移头模具及转移头的制作方法与流程

技术特征：
1.一种转移头，其特征在于，包括：承载基板，所述承载基板具有相对的第一表面和第二表面；在所述第一表面上形成的若干拾取头，所述拾取头用于拾取芯片；在所述第一表面上形成的区域划分部，所述区域划分部位于所述拾取头之外的其他区域内，所述区域划分部与所述承载基板一体成型，所述区域划分部包括凸出于所述第一表面的凸起部和自所述第一表面向所述第二表面下凹的下凹部中的至少一种；所述拾取头远离所述第一表面的一端与所述第二表面的第一距离，大于所述凸起部远离所述第一表面的一端与所述第二表面的第二距离。2.如权利要求1所述的转移头，其特征在于，所述区域划分部包括所述凸起部，所述凸起部包括以下至少之一：在所述第一表面上形成的若干个凸起单元，所述若干个凸起单元分散的分布于所述第一表面上；在所述第一表面上形成的隔墙。3.如权利要求2所述的转移头，其特征在于，所述若干拾取头在所述第一表面上呈阵列分布，所述区域划分部包括所述若干个凸起单元，所述若干个凸起单元包括以下至少之一：在至少一行所述拾取头的相邻拾取头之间形成的第一凸起单元；在至少一列所述拾取头的相邻拾取头之间形成的第二凸起单元；在相邻两行所述拾取头之间的行间区域，与相邻两列所述拾取头之间的列间区域的重叠区域形成的第三凸起单元。4.如权利要求2所述的转移头，其特征在于，所述若干拾取头在所述第一表面上呈阵列分布，所述凸起部包括所述隔墙，所述隔墙包括以下至少之一：在所述第一表面上围合成封闭区域的围墙，所述封闭区域内包括至少一个所述拾取头；在所述第一表面上的相邻两行之间的行间区域内形成的横向隔墙；在所述第一表面上的相邻两列之间的列间区域内形成的竖向隔墙。5.如权利要求1-4任一项所述的转移头，其特征在于，所述区域划分部包括所述下凹部，所述下凹部包括以下至少之一：在所述第一表面上形成的若干个盲孔，所述若干个盲孔分散的分布于所述第一表面上；在所述第一表面上形成的隔离槽。6.如权利要求5所述的转移头，其特征在于，所述若干拾取头在所述第一表面上呈阵列分布，所述下凹部包括所述隔离槽，所述隔离槽包括以下至少之一：在所述第一表面上围合成封闭区域的围合隔离槽，所述封闭区域内包括至少一个所述拾取头；在所述第一表面上的相邻两行之间的行间区域内形成的横向隔离槽；在所述第一表面上的相邻两列之间的列间区域内形成的竖向隔离槽。7.如权利要求5所述的转移头，其特征在于，所述若干拾取头在所述第一表面上呈阵列分布，所述区域划分部包括所述若干个盲孔，所述若干个盲孔包括以下至少之一：在至少一行所述拾取头的相邻拾取头之间形成的第一盲孔；
在至少一列所述拾取头的相邻拾取头之间形成的第二盲孔；在相邻两行所述拾取头之间的行间区域，与相邻两列所述拾取头之间的列间区域的重叠区域形成的第三盲孔。8.如权利要求1-4任一项所述的转移头，其特征在于，所述转移头还包括压合在所述承载基板的第二表面上的支撑基板。9.一种转移头模具，用于制作如权利要求1-8任一项所述的转移头，其特征在于，包括：模版基板主体；在所述模版基板主体上形成的转移头图案，所述转移头图案包括用于形成所述若干拾取头的若干拾取头凹槽，以及用于形成所述区域划分部的区域划分图案，所述区域划分图案包括形成所述凸起部的内凹区域和形成所述下凹部的上凸区域中的至少一种。10.一种如权利要求1-8任一项所述的转移头的制作方法，其特征在于，包括：制作如权利要求9所述的转移头模具；在所述转移头图案上填充预设材料；对所述预设材料进行固化处理；去除所述转移头模具得到所述转移头。

技术总结
本发明涉及一种转移头、转移头模具及转移头的制作方法，制得的转移头中，在其承载基板的第一表面上形成有区域划分部，该区域划分部位于第一表面上设置拾取头之外的其他区域内，该区域划分部与承载基板一体成型，且区域划分部包括凸出于第一表面的凸起部和/或自第一表面向与之相对的第二表面下凹的下凹部，利用凸起部和/或下凹部与第一表面的高度差，将第一表面上形成拾取头之外的其他区域由原来一个平面，划分为具有不同高度的多个面，从而尽可能避免在转移头制作的固化过程中在该区域形成褶皱状结构，保证转移头的质量以及转移头上形成的拾取头的一致性，提升转移头的良品率和可靠性。可靠性。可靠性。


技术研发人员：翟峰 萧俊龙 蔡明达
受保护的技术使用者：重庆康佳光电技术研究院有限公司
技术研发日：2021.06.02
技术公布日：2022/12/5