一种量子芯片检测工装及检测装置的制作方法

技术特征：
1.一种量子芯片检测工装，量子芯片具有第一表面，所述第一表面具有测试端口，其特征在于，所述量子芯片检测工装包括：探针元件，所述探针元件用于与检测设备电连接；限位元件，所述限位元件限定所述量子芯片与所述探针元件的相对位置，以便于所述测试端口与所述探针元件实现电连接。2.如权利要求1所述的量子芯片检测工装，其特征在于，所述限位元件具有用于容纳所述量子芯片的导向通孔，所述导向通孔限定所述量子芯片的移动方向。3.如权利要求2所述的量子芯片检测工装，其特征在于，沿所述移动方向，所述导向通孔的投影轮廓大于所述量子芯片的投影轮廓。4.如权利要求3所述的量子芯片检测工装，其特征在于，还包括辅助导向件，所述量子芯片具有与所述第一表面相对的第二表面，所述辅助导向件与所述第二表面连接，所述辅助导向件滑动安装于所述导向通孔内。5.如权利要求2－4任一项所述的量子芯片检测工装，其特征在于，所述探针元件包括探针座以及安装于所述探针座上的探针，所述探针用于与所述测试端口电连接，所述探针位于所述导向通孔内。6.如权利要求5所述的量子芯片检测工装，其特征在于，所述探针座的内部具有信号传输线，所述信号传输线的一端与所述探针电连接，所述信号传输线的另一端用于与所述检测设备电连接。7.如权利要求5所述的量子芯片检测工装，其特征在于，所述探针有多个，所述探针与所述测试端口一一对应，各所述探针的针尖均位于同一平面内，且各所述针尖所在的平面平行于所述第一表面。8.如权利要求6或7所述的量子芯片检测工装，其特征在于，所述探针为弹簧针。9.一种量子芯片检测装置，其特征在于，包括：如权利要求1－8任一项所述的量子芯片检测工装；电阻检测元件，所述电阻检测元件与所述探针元件电连接，所述电阻检测元件用于产生测试电流以测试所述量子芯片。10.如权利要求9所述的量子芯片检测装置，其特征在于，所述电阻检测元件包括两端法测试电路或四端法测试电路。

技术总结
本申请公开了一种量子芯片检测工装及检测装置。量子芯片具有第一表面，所述第一表面具有测试端口，所述量子芯片检测工装包括探针元件，所述探针元件用于与检测设备电连接，以及限位元件，所述限位元件限定所述量子芯片与所述探针元件的相对位置，以便于所述测试端口与所述探针元件实现电连接，本申请中，通过设置限位元件，可以在测试端口与探针元件接触过程中限定所述量子芯片与所述探针元件的相对位置，从而使测试端口能够快速准确地与探针元件实现电接触，无需在测试过程中校准测试端口与探针元件的相对位置，从而节约了测试时间，大大提高了量子芯片的测试效率。大大提高了量子芯片的测试效率。大大提高了量子芯片的测试效率。


技术研发人员：赵勇杰 李松 李业 王晓光
受保护的技术使用者：合肥本源量子计算科技有限责任公司
技术研发日：2022.06.24
技术公布日：2022/12/6