真空泵的制作方法

技术特征：
1.一种真空泵，具备外装体、旋转体、定子、螺纹槽，前述外装体设置有吸气口，前述旋转体内包于前述外装体，被旋转自如地支承，前述定子配置于前述旋转体的外周，呈大致圆筒状，前述螺纹槽刻设于前述旋转体的外周面或前述定子的内周面的至少一者，通过使前述旋转体旋转，将从前述吸气口侧抽吸的气体向前述外装体外排出，前述真空泵的特征在于，在前述定子的外周配设限制机构，前述限制机构由线膨胀系数比前述定子的材料低的材料形成，使前述定子的热膨胀时的径向的变形减少。2.如权利要求1所述的真空泵，其特征在于，前述限制机构配设于前述定子的下游侧的端部。3.如权利要求1或2所述的真空泵，其特征在于，前述真空泵具有内部温度不同的多个规格，各个前述规格的前述真空泵的轴向的既定位置的前述旋转体的前述外周面与前述定子的前述内周面的间隙量由于前述限制机构而相同。4.如权利要求1至3中任一项所述的真空泵，其特征在于，前述定子的热膨胀时从前述限制机构对前述定子作用的应力小于前述定子的材料的屈服应力。

技术总结
本发明提供能够有效抑制热膨胀导致的性能下降的真空泵。前述真空泵具备外装体(203)、旋转体(103)、螺纹槽定子(131)、螺纹槽(131a)，前述外装体(203)设置有吸气口(101)，前述旋转体(103)内包于外装体(203)，被旋转自如地支承，前述螺纹槽定子(131)配置于旋转体(103)的外周，呈大致圆筒状，前述螺纹槽(131a)刻设于旋转体(103)的外周面或螺纹槽定子(131)的内周面的至少一者，通过使旋转体(103)旋转，将从吸气口(101)侧抽吸的气体向外装体(203)外排出，在螺纹槽定子(131)的外周配设限制机构(220)，前述限制机构(220)由线膨胀系数比螺纹槽定子(131)的材料低的材料形成，使螺纹槽定子(131)的热膨胀时的径向的变形减少。子(131)的热膨胀时的径向的变形减少。子(131)的热膨胀时的径向的变形减少。


技术研发人员：中辻重义 坂口祐幸
受保护的技术使用者：埃地沃兹日本有限公司
技术研发日：2021.12.03
技术公布日：2023/7/20