一种曝光机的取片光路支架的制作方法

本申请涉及曝光机，更具体地说，涉及一种曝光机的取片光路支架。

背景技术：

1、曝光设备内，曝光设备的主机体两侧通常都设置有用于传输待曝光膜料的传输装置，这样待曝光膜料便可在传输装置的传送下到达主机体内的指定位置，进行曝光作业。

2、现有技术中，随着半导体行业的技术发展更新，led蓝宝石的厚度越来越多元化，且晶片厚度不一，然而现有所用的步进式曝光机在使用过程中，存在取片光路高度位置非常受限，从而无法满足一些特殊厚度产品生产的问题，进而导致光转电信号会超出误差范围值±0.1v，且导致设备经常故障。

3、为了解决上述问题，本申请提供一种曝光机的取片光路支架。

技术实现思路

1、本申请提供的一种曝光机的取片光路支架采用如下的技术方案：

2、一种曝光机的取片光路支架，包括框架，所述框架顶端的内侧设置有履带，所述履带两侧的内壁均活动安装有转辊，两组所述转辊的前后两端面中心位置均固定安装有轴杆，每个所述轴杆均活动安装于框架的内壁，且其中一个轴杆贯穿框架一侧端的内腔并连接有步进电机，所述步进电机固定安装于框架的一侧外壁，所述履带的顶端水平均匀式设置有多组承托组件，其中一组所述承托组件的下方设置有调节组件，所述调节组件位于履带的内侧位置。

3、进一步的，所述承托组件包括贯穿式固定套接于履带顶端内腔的履条框，所述履条框中部的内腔贯穿式开设有通槽，且履条框中部的内腔通过通槽活动套接有活动块，所述活动块的顶部固定连接有放置板。

4、通过上述技术方案，利用所设的放置板，实现所曝光物体的承接工作。

5、进一步的，所述放置板位于履条框的顶部，且放置板顶部的外围固定安装有挡条，所述挡条呈“口”字形框体结构。

6、通过上述技术方案，利用所设的挡条，实现对物体的阻挡防掉落作用。

7、进一步的，所述承托组件还包括对称式开设于通槽两侧壁的嵌入槽，所述嵌入槽的内壁固定安装有内杆，所述内杆底端的外壁活动套接有滑块，所述滑块固定安装于活动块的侧壁，且滑块活动套接于嵌入槽底端的内壁，所述内杆顶端的外侧设有弹簧，所述弹簧固定安装于滑块的顶部与嵌入槽顶端内壁的连接处。

8、通过上述技术方案，利用所设的弹簧，实现对活动块位置的保持作用。

9、进一步的，所述调节组件包括固定安装于框架内壁的固定板，所述固定板的中心内腔贯穿式开设有矩形滑槽，且矩形滑槽的两侧壁均开设有半圆滑槽，所述固定板的中心位置通过矩形滑槽活动套接有顶持块，所述顶持块的两侧壁均固定安装有半圆柱，两组所述半圆柱分别与两组半圆滑槽活动套接。

10、通过上述技术方案，利用所设的固定板，实现顶持块的限位工作。

11、进一步的，所述调节组件还包括位于固定板一侧下方位置的驱动电机，所述驱动电机固定安装于框架的一侧内壁，且驱动电机的驱动端通过转轴连接有转盘，所述转盘一端面中部的一侧固定安装有连杆，所述连杆的外壁活动安装有力臂，所述力臂顶部的一端活动连接有铰接座，所述铰接座固定安装于顶持块的底部。

12、通过上述技术方案，利用所设的力臂，实现对顶持块垂直位置的间接调节效果。

13、进一步的，所述连杆的一端固定安装有限位架，所述限位架呈“十”字形架体结构，且限位架位于力臂背离转盘的一端面。

14、通过上述技术方案，利用所设的限位架，实现连杆一端对力臂的有效限位作用。

15、综上所述，本申请包括以下有益技术效果：

16、通过设置的框架，能够对其上结构进行承接下，配合所设的履带、转辊、轴杆以及步进电机，实现步进式曝光机所用物体传输平台的同时，利用所设置的承托组件，得以对物体进行放置承托作用下，配合所设置的调节组件，得以实现步进式曝光机上取片光路高度位置受限的问题，从而能够满足一些特殊厚度产品生产的同时，降低光转电信号的误差范围，并降低设备故障率。

技术特征：

1.一种曝光机的取片光路支架，包括框架(1)，其特征在于：所述框架(1)顶端的内侧设置有履带(2)，所述履带(2)两侧的内壁均活动安装有转辊(3)，两组所述转辊(3)的前后两端面中心位置均固定安装有轴杆(4)，每个所述轴杆(4)均活动安装于框架(1)的内壁，且其中一个轴杆(4)贯穿框架(1)一侧端的内腔并连接有步进电机(5)，所述步进电机(5)固定安装于框架(1)的一侧外壁，所述履带(2)的顶端水平均匀式设置有多组承托组件(6)，其中一组所述承托组件(6)的下方设置有调节组件(7)，所述调节组件(7)位于履带(2)的内侧位置。

2.根据权利要求1所述的一种曝光机的取片光路支架，其特征在于：所述承托组件(6)包括贯穿式固定套接于履带(2)顶端内腔的履条框(61)，所述履条框(61)中部的内腔贯穿式开设有通槽，且履条框(61)中部的内腔通过通槽活动套接有活动块(62)，所述活动块(62)的顶部固定连接有放置板(63)。

3.根据权利要求2所述的一种曝光机的取片光路支架，其特征在于：所述放置板(63)位于履条框(61)的顶部，且放置板(63)顶部的外围固定安装有挡条(631)，所述挡条(631)呈“口”字形框体结构。

4.根据权利要求2所述的一种曝光机的取片光路支架，其特征在于：所述承托组件(6)还包括对称式开设于通槽两侧壁的嵌入槽(64)，所述嵌入槽(64)的内壁固定安装有内杆(65)，所述内杆(65)底端的外壁活动套接有滑块(66)，所述滑块(66)固定安装于活动块(62)的侧壁，且滑块(66)活动套接于嵌入槽(64)底端的内壁，所述内杆(65)顶端的外侧设有弹簧(67)，所述弹簧(67)固定安装于滑块(66)的顶部与嵌入槽(64)顶端内壁的连接处。

5.根据权利要求1所述的一种曝光机的取片光路支架，其特征在于：所述调节组件(7)包括固定安装于框架(1)内壁的固定板(71)，所述固定板(71)的中心内腔贯穿式开设有矩形滑槽，且矩形滑槽的两侧壁均开设有半圆滑槽，所述固定板(71)的中心位置通过矩形滑槽活动套接有顶持块(72)，所述顶持块(72)的两侧壁均固定安装有半圆柱(73)，两组所述半圆柱(73)分别与两组半圆滑槽活动套接。

6.根据权利要求5所述的一种曝光机的取片光路支架，其特征在于：所述调节组件(7)还包括位于固定板(71)一侧下方位置的驱动电机(74)，所述驱动电机(74)固定安装于框架(1)的一侧内壁，且驱动电机(74)的驱动端通过转轴连接有转盘(75)，所述转盘(75)一端面中部的一侧固定安装有连杆(76)，所述连杆(76)的外壁活动安装有力臂(77)，所述力臂(77)顶部的一端活动连接有铰接座(78)，所述铰接座(78)固定安装于顶持块(72)的底部。

7.根据权利要求6所述的一种曝光机的取片光路支架，其特征在于：所述连杆(76)的一端固定安装有限位架(761)，所述限位架(761)呈“十”字形架体结构，且限位架(761)位于力臂(77)背离转盘(75)的一端面。

技术总结本申请属于曝光机技术领域，公开了一种曝光机的取片光路支架，包括框架，框架顶端的内侧设置有履带，履带两侧的内壁均活动安装有转辊，两组转辊的前后两端面中心位置均固定安装有轴杆，每个轴杆均活动安装于框架的内壁，且其中一个轴杆贯穿框架一侧端的内腔并连接有步进电机，步进电机固定安装于框架的一侧外壁；通过设置的框架，能够对其上结构进行承接下，配合所设的履带、转辊、轴杆以及步进电机，实现步进式曝光机所用物体传输平台的同时，利用所设置的承托组件，得以对物体进行放置承托作用下，配合所设置的调节组件，得以实现步进式曝光机上取片光路高度位置受限的问题。技术研发人员：李华,王晓军受保护的技术使用者：上海探跃半导体设备有限公司技术研发日：20230712技术公布日：2024/5/29