伸缩取料组件、取料装置及倒角机的制作方法

本技术涉及加工设备，具体涉及一种伸缩取料组件、取料装置及倒角机。

背景技术：

1、航空航天，光导纤维等多种领域中，半导体晶圆是非常重要的材料。在晶片的加工过程中，从晶锭切成晶片后，如果直接进行磨片，容易产生崩边，从而引起晶片报废，因此在磨片之前需要对晶片进行倒角。

2、半导体晶圆除了硅晶圆，还有碳化硅晶圆、蓝宝石晶圆等，现有设备对圆晶片进行倒角加工时，需要通过取料组件将晶圆从料盒上取下并转移至其他装置上，然而，现有取料组件的取料行程较短，导致取料组件占用的横向空间较大。

3、相应地，本领域需要一种新的技术方案来解决上述问题。

技术实现思路

1、为了解决现有技术中的上述至少一个问题，即为了解决现有取料组件的取料行程较短，导致取料组件占用横向空间较大问题。

2、在第一方面，本申请提供了一种伸缩取料组件，所述伸缩取料组件包括伸缩固定构件以及安装在所述伸缩固定构件上的伸缩驱动机构、移动构件、第一转轴、第二转轴、第一传动机构、第二传动机构以及取料构件，

3、所述伸缩驱动机构能够驱动所述移动构件相对于所述伸缩固定构件水平移动，

4、所述第一转轴和所述第二转轴均可转动地安装在所述移动构件上，所述第一转轴的第一端设有第一结构，所述固定构件上设有第二结构，所述第一转轴在随着所述移动构件移动的过程中，所述第一结构与所述第二结构相配合使所述第一转轴能够相对于所述移动构件转动，所述第一转轴的第二端通过所述第一传动机构与所述第二转轴的第一端连接，所述第二转轴的第二端通过所述第二传动机构与所述取料构件连接，

5、所述取料构件安装在所述移动构件上且能够在所述第二传动机构的带动下相对于所述移动构件水平移动，所述取料构件的移动方向与所述移动构件的移动方向一致。

6、在上述伸缩取料组件的优选技术方案中，所述第一结构为齿轮，所述第二结构为齿条，所述齿条水平设置且与所述移动构件的移动方向平行，所述第一转轴和所述第二转轴均水平设置且均与所述齿条垂直，所述齿轮与所述齿条啮合；或者

7、所述第一结构为链轮，所述第二结构为链条，所述链条水平设置且与所述移动构件的移动方向平行，所述第一转轴和所述第二转轴均水平设置且均与所述链条垂直，所述链轮与所述链条啮合。

8、在上述伸缩取料组件的优选技术方案中，所述第一传动机构包括第一主动带轮、第一从动带轮以及将所述第一主动带轮和所述第一从动带轮连接的第一传动带，所述第一主动带轮固定在所述第一转轴的第二端，所述第一从动带轮固定在所述第二转轴的第一端。

9、在上述伸缩取料组件的优选技术方案中，所述第二传动机构包括第二主动带轮、第二从动带轮以及将所述第二主动带轮和所述第二从动带轮连接的第二传动带，所述第二主动带轮固定在所述第二转轴的第二端，所述第二从动带轮可转动地安装在所述移动构件上，所述第二从动带轮与所述第二主动带轮沿与所述齿条或所述链条平行的水平方向间隔分布，所述第二传动带与所述取料构件固定连接。

10、在上述伸缩取料组件的优选技术方案中，所述移动构件包括移动块和移动架，所述移动块的底部与所述伸缩驱动机构固定连接，所述第一转轴和所述第二转轴均安装在所述移动块上，所述移动架的一端与所述移动块固定连接或一体设置且沿所述取料构件的移动方向水平延伸，所述第二从动带轮可转动地安装在所述移动架的另一端。

11、在上述伸缩取料组件的优选技术方案中，所述伸缩取料组件还包括安装在所述移动构件与所述取料构件之间水平导向机构，所述水平导向机构用于在所述取料构件相对于所述移动构件移动时对所述取料构件进行导向。

12、在上述伸缩取料组件的优选技术方案中，所述水平导向机构包括与所述齿条或所述链条平行设置的水平导轨以及与所述水平导轨滑动配合的导向块，所述水平导轨和所述导向块中的一个与所述移动构件固定连接，所述水平导轨和所述导向块中的一个与所述取料构件固定连接。

13、在上述伸缩取料组件的优选技术方案中，所述伸缩驱动机构包括伸缩电机、第三主动带轮、第三从动带轮、第三传动带、水平丝杠以及安装在所述水平丝杠上的平移滑块，所述平移滑块与所述移动构件固定连接，

14、所述第三主动带轮固定在所述伸缩电机的驱动轴上，所述第三从动带轮固定在所述水平丝杠的一端，所述第三传动带将所述第三主动带轮与所述第三从动带轮连接，所述水平丝杠可转动地安装在所述伸缩固定构件上且与所述齿条或所述链条平行设置，所述平移滑块能够随着所述水平丝杠的转动沿着所述水平丝杠移动。

15、在上述伸缩取料组件的优选技术方案中，所述取料构件包括本体和连接块，所述本体的前端设置有吸气孔，所述本体的内部设有与所述吸气孔连通的通气槽，所述通气槽与真空发生器连通，所述连接块将所述本体的后端与所述第二传动机构固定连接。

16、在上述伸缩取料组件的优选技术方案中，所述伸缩取料组件还包括安装于所述伸缩固定构件上的限位开关以对所述取料构件进行限位。

17、本申请第二方面，还提供了一种取料装置，所述取料装置包括升降组件、安装在所述升降组件上的旋转组件以及上述的伸缩取料组件，所述伸缩取料组件安装在所述旋转组件上，所述升降组件能够带着所述旋转组件和所述伸缩取料组件上下移动，所述旋转组件能够带着所述伸缩取料组件绕竖直轴线旋转。

18、本申请第三方面，还提供了一种倒角机，所述倒角机包括上述技术方案所述的取料装置。

19、在采用上述技术方案的情况下，本实用新型的伸缩取料组件通过增设移动构件并在移动构件上设置两个转动轴并配置两组传动机构实现与取料构件传动连接，从而能够使伸缩取料组件具有双倍行程的伸缩量，从而可以减小取料构件的长度，进而减少伸缩取料组件占用的横向空间。

20、进一步地，本实用新型还在伸缩固定构件与第一转轴之间设置相啮合的齿条和齿轮或链条和链轮进行动力传递，既能够提高伸缩取料组件的可靠性，又便于进行合理布局。

21、更进一步地，本实用新型通过将第一传动机构和第二传动机构设置为带轮和传动带的结构形式，既便于布置，又能够降低成本，此外，还能够降低伸缩取料组件的重量。

22、又进一步地，本实用新型的移动构件包括移动块和移动架，通过这样的设置，既便于与伸缩驱动机构连接，又便于布置水平导向机构。

23、又进一步地，本实用新型的伸缩取料组件设有限位开关以对取料构件进行限位，通过这样的设置，能够提高伸缩取料组件可靠性。

技术特征：

1.一种伸缩取料组件，其特征在于，所述伸缩取料组件包括伸缩固定构件以及安装在所述伸缩固定构件上的伸缩驱动机构、移动构件、第一转轴、第二转轴、第一传动机构、第二传动机构以及取料构件，

2.根据权利要求1所述的伸缩取料组件，其特征在于，所述第一结构为齿轮，所述第二结构为齿条，所述齿条水平设置且与所述移动构件的移动方向平行，所述第一转轴和所述第二转轴均水平设置且均与所述齿条垂直，所述齿轮与所述齿条啮合；或者

3.根据权利要求1所述的伸缩取料组件，其特征在于，所述第一传动机构包括第一主动带轮、第一从动带轮以及将所述第一主动带轮和所述第一从动带轮连接的第一传动带，所述第一主动带轮固定在所述第一转轴的第二端，所述第一从动带轮固定在所述第二转轴的第一端。

4.根据权利要求2所述的伸缩取料组件，其特征在于，所述第二传动机构包括第二主动带轮、第二从动带轮以及将所述第二主动带轮和所述第二从动带轮连接的第二传动带，所述第二主动带轮固定在所述第二转轴的第二端，所述第二从动带轮可转动地安装在所述移动构件上，所述第二从动带轮与所述第二主动带轮沿与所述齿条或所述链条平行的水平方向间隔分布，所述第二传动带与所述取料构件固定连接。

5.根据权利要求4所述的伸缩取料组件，其特征在于，所述移动构件包括移动块和移动架，所述移动块的底部与所述伸缩驱动机构固定连接，所述第一转轴和所述第二转轴均安装在所述移动块上，所述移动架的一端与所述移动块固定连接或一体设置且沿所述取料构件的移动方向水平延伸，所述第二从动带轮可转动地安装在所述移动架的另一端。

6.根据权利要求2所述的伸缩取料组件，其特征在于，所述伸缩取料组件还包括安装在所述移动构件与所述取料构件之间水平导向机构，所述水平导向机构用于在所述取料构件相对于所述移动构件移动时对所述取料构件进行导向。

7.根据权利要求6所述的伸缩取料组件，其特征在于，所述水平导向机构包括与所述齿条或所述链条平行设置的水平导轨以及与所述水平导轨滑动配合的导向块，所述水平导轨和所述导向块中的一个与所述移动构件固定连接，所述水平导轨和所述导向块中的一个与所述取料构件固定连接。

8.根据权利要求2所述的伸缩取料组件，其特征在于，所述伸缩驱动机构包括伸缩电机、第三主动带轮、第三从动带轮、第三传动带、水平丝杠以及安装在所述水平丝杠上的平移滑块，所述平移滑块与所述移动构件固定连接，

9.根据权利要求1至8中任一项所述的伸缩取料组件，其特征在于，所述取料构件包括本体和连接块，所述本体的前端设置有吸气孔，所述本体的内部设有与所述吸气孔连通的通气槽，所述通气槽与真空发生器连通，所述连接块将所述本体的后端与所述第二传动机构固定连接；和/或

10.一种取料装置，其特征在于，所述取料装置包括升降组件、安装在所述升降组件上的旋转组件以及权利要求1至9中任一项所述的伸缩取料组件，所述伸缩取料组件安装在所述旋转组件上，所述升降组件能够带着所述旋转组件和所述伸缩取料组件上下移动，所述旋转组件能够带着所述伸缩取料组件绕竖直轴线旋转。

11.一种倒角机，其特征在于，所述倒角机包括权利要求1至9中任一项所述的伸缩取料组件。

技术总结本申请涉及加工设备技术领域，具体涉及一种伸缩取料组件、取料装置及倒角机。本申请的伸缩取料组件包括伸缩驱动机构、移动构件、第一转轴、第二转轴、第一传动机构、第二传动机构及取料构件，伸缩驱动机构驱动移动构件水平移动，第一转轴和第二转轴均可转动地安装在移动构件上，第一转轴上的第一结构与固定构件上的第二结构相配合使第一转轴能够相对于移动构件转动，第一转轴的第二端通过第一传动机构与第二转轴的第一端连接，第二转轴的第二端通过第二传动机构与取料构件连接，取料构件的移动方向与移动构件的移动方向一致。伸缩取料组件具有双倍行程的伸缩量，可以减小取料构件的长度。技术研发人员：尹德臻,卢凯文,徐公志,孙光荣受保护的技术使用者：青岛高测科技股份有限公司技术研发日：20231010技术公布日：2024/6/5