一种多晶硅冶炼感应炉的制作方法

本技术涉及感应炉，尤其是一种多晶硅冶炼感应炉。

背景技术：

1、多晶硅的冶炼提纯一般都需用到感应炉，现有的感应炉的炉体大多为一个整体，感应线圈与炉体长期处于高温环境易结垢氧化，但两者之间的空间较小，清洁及维护检修较为不便。

技术实现思路

1、为解决上述问题，本实用新型提供如下技术方案：

2、一种多晶硅冶炼感应炉，包括圆形的炉底座，所述炉底座上设有沿轴向被平均分割为多瓣的炉壁，每瓣炉壁均与炉底座转动连接，相邻两瓣炉壁的顶部接缝处开有插槽，所述插槽内插装有插销块，所述炉壁内设有导电的坩埚，所述坩埚与炉壁之间设有感应线圈，所述炉壁上开有导线孔。

3、进一步地，所述炉底座上设有坩埚支撑座，所述坩埚支撑座上开有定位凹槽。

4、进一步地，所述炉壁平均分割为三瓣，且每瓣炉壁均为中空设计。

5、进一步地，所述感应线圈的外侧设有线圈支架。

6、进一步地，所述感应线圈为一种中频感应线圈。

7、进一步地，所述坩埚为一种高纯石墨坩埚。

8、本实用新型的有益效果是：该感应炉通过设置可分瓣展开的炉壁，提高了坩埚装卸及炉体检修维护的便利性，也可使炉体需要降温时加快散热。

技术特征：

1.一种多晶硅冶炼感应炉，其特征在于，包括圆形的炉底座（1），所述炉底座（1）上设有沿轴向被平均分割为多瓣的炉壁（2），每瓣炉壁（2）均与炉底座（1）转动连接，相邻两瓣炉壁（2）的顶部接缝处开有插槽（21），所述插槽（21）内插装有插销块（3），所述炉壁（2）内设有导电的坩埚（4），所述坩埚（4）与炉壁（2）之间设有感应线圈（5），所述炉壁（2）上开有导线孔（22）。

2.根据权利要求1所述的一种多晶硅冶炼感应炉，其特征在于，所述炉底座（1）上设有坩埚支撑座（7），所述坩埚支撑座（7）上开有定位凹槽。

3.根据权利要求1所述的一种多晶硅冶炼感应炉，其特征在于，所述炉壁（2）平均分割为三瓣，且每瓣炉壁（2）均为中空设计。

4.根据权利要求1所述的一种多晶硅冶炼感应炉，其特征在于，所述感应线圈（5）的外侧设有线圈支架（6）。

5.根据权利要求1所述的一种多晶硅冶炼感应炉，其特征在于，所述感应线圈（5）为一种中频感应线圈。

6.根据权利要求1所述的一种多晶硅冶炼感应炉，其特征在于，所述坩埚（4）为一种高纯石墨坩埚。

技术总结本技术公开了一种多晶硅冶炼感应炉，涉及感应炉技术领域，包括圆形的炉底座，炉底座上设有沿轴向被平均分割为多瓣的炉壁，每瓣炉壁均与炉底座转动连接，相邻两瓣炉壁的顶部接缝处开有插槽，插槽内插装有插销块，炉壁内设有导电的坩埚，坩埚与炉壁之间设有感应线圈，炉壁上开有导线孔；该感应炉通过设置可分瓣展开的炉壁，提高了坩埚装卸及炉体检修维护的便利性，也可使炉体需要降温时加快散热。技术研发人员：缪志刚,戴鹏宇,李光彩,冯志国受保护的技术使用者：三鑫特材（常州）股份有限公司技术研发日：20230927技术公布日：2024/6/18