一种升降回转一体式轴机构的制作方法

本技术属于半导体晶圆加工设备，具体地说是一种升降回转一体式轴机构。

背景技术：

1、目前市面上半导体晶圆加工设备中，经常使用可上下移动且同时具备回转摆动功能的喷淋摆臂。无论是涂胶机、显影机、湿法去胶机、湿法刻蚀机都需要使用升降旋转结构。而目前的半导体晶圆加工设备中的升降旋转结构，其中升降部分一般采用伺服电机驱动同步带，带动丝杠实现旋转模组的升降，旋转模组再旋转转接筒及摆臂回转。此种升降旋转结构相对复杂，且占据空间也更大。

技术实现思路

1、针对上述问题，本实用新型的目的在于提供一种升降回转一体式轴机构。

2、本实用新型的目的是通过以下技术方案来实现的：

3、一种升降回转一体式轴机构，包括底板、固定立板、中空直驱电机、滚珠花键螺母、空心花键轴及竖直驱动气缸；

4、所述底板上安装有若干个所述固定立板，各所述固定立板的顶端分别与所述中空直驱电机连接并支撑所述中空直驱电机，所述竖直驱动气缸安装于其中一个所述固定立板上，所述竖直驱动气缸的输出端与所述空心花键轴的下端通过拨叉结构连接；

5、所述滚珠花键螺母与所述中空直驱电机的输出端连接，所述空心花键轴的上端从所述中空直驱电机的内孔穿过、并与所述滚珠花键螺母连接。

6、所述底板上开设有供竖直驱动气缸的输出端与空心花键轴的下端通过拨叉结构连接组成的整体通过的通过口。

7、所述拨叉结构包括拨叉、拨轮、花键轴套及锁套，所述空心花键轴的下端固定安装有两个上下依次设置的所述锁套，两个所述锁套之间形成有轴向间隙，所述花键轴套套接于两个所述锁套之间的空心花键轴上，所述花键轴套安装于所述拨轮的内部，所述拨叉的一端与所述竖直驱动气缸的输出端连接、另一端与所述拨轮连接。

8、所述拨轮的外周面上凹设有环形限位槽，所述拨叉另一端形成有拨叉插口部，所述拨叉插口部插入至所述环形限位槽中。

9、所述花键轴套的轴向中心线、所述拨轮的轴向中心线、所述中空直驱电机的输出端的轴向中心线、所述空心花键轴的轴向中心线均共线。

10、所述花键轴套的轴向长度大于或等于所述拨轮的轴向长度。

11、两个所述锁套之间的形成的轴向间隙长度大于或等于所述花键轴套的轴向长度。

12、所述竖直驱动气缸的输出端的轴向中心线与所述中空直驱电机的输出端的轴向中心线互相平行。

13、所述滚珠花键螺母通过转接法兰与所述中空直驱电机的输出端连接。

14、所述空心花键轴的顶部开设有用于安装负载的键槽。

15、本实用新型的优点与积极效果为：

16、本实用新型通过采用中空直驱电机连接并带动滚珠花键螺母转动，从而可精确带动顶部安装有负载的空心花键轴旋转指定角度，能够有效防止空心花键轴在运行中发生倾斜，且可由竖直驱动气缸通过拨叉结构带动空心花键轴升降，相对于采用同步带丝杠的升降结构更为简单，机构整体使用更为可靠，且有效减小占据空间。

技术特征：

1.一种升降回转一体式轴机构，其特征在于：包括底板(1)、固定立板(2)、中空直驱电机(3)、滚珠花键螺母(4)、空心花键轴(5)及竖直驱动气缸(6)；

2.根据权利要求1所述的一种升降回转一体式轴机构，其特征在于：所述底板(1)上开设有供竖直驱动气缸(6)的输出端与空心花键轴(5)的下端通过拨叉结构连接组成的整体通过的通过口。

3.根据权利要求1所述的一种升降回转一体式轴机构，其特征在于：所述拨叉结构包括拨叉(7)、拨轮(8)、花键轴套(9)及锁套(10)，所述空心花键轴(5)的下端固定安装有两个上下依次设置的所述锁套(10)，两个所述锁套(10)之间形成有轴向间隙，所述花键轴套(9)套接于两个所述锁套(10)之间的空心花键轴(5)上，所述花键轴套(9)安装于所述拨轮(8)的内部，所述拨叉(7)的一端与所述竖直驱动气缸(6)的输出端连接、另一端与所述拨轮(8)连接。

4.根据权利要求3所述的一种升降回转一体式轴机构，其特征在于：所述拨轮(8)的外周面上凹设有环形限位槽，所述拨叉(7)另一端形成有拨叉插口部，所述拨叉插口部插入至所述环形限位槽中。

5.根据权利要求3所述的一种升降回转一体式轴机构，其特征在于：所述花键轴套(9)的轴向中心线、所述拨轮(8)的轴向中心线、所述中空直驱电机(3)的输出端的轴向中心线、所述空心花键轴(5)的轴向中心线均共线。

6.根据权利要求3所述的一种升降回转一体式轴机构，其特征在于：所述花键轴套(9)的轴向长度大于或等于所述拨轮(8)的轴向长度。

7.根据权利要求6所述的一种升降回转一体式轴机构，其特征在于：两个所述锁套(10)之间的形成的轴向间隙长度大于或等于所述花键轴套(9)的轴向长度。

8.根据权利要求1所述的一种升降回转一体式轴机构，其特征在于：所述竖直驱动气缸(6)的输出端的轴向中心线与所述中空直驱电机(3)的输出端的轴向中心线互相平行。

9.根据权利要求1所述的一种升降回转一体式轴机构，其特征在于：所述滚珠花键螺母(4)通过转接法兰(11)与所述中空直驱电机(3)的输出端连接。

10.根据权利要求1所述的一种升降回转一体式轴机构，其特征在于：所述空心花键轴(5)的顶部开设有用于安装负载的键槽。

技术总结本技术属于半导体晶圆加工设备技术领域，具体地说是一种升降回转一体式轴机构，包括底板、固定立板、中空直驱电机、滚珠花键螺母、空心花键轴及竖直驱动气缸，底板上安装有若干个固定立板，各固定立板的顶端分别与中空直驱电机连接并支撑中空直驱电机，竖直驱动气缸安装于其中一个固定立板上。本技术通过采用中空直驱电机连接并带动滚珠花键螺母转动，从而可精确带动顶部安装有负载的空心花键轴旋转指定角度，能够有效防止空心花键轴在运行中发生倾斜，且可由竖直驱动气缸通过拨叉结构带动空心花键轴升降，相对于采用同步带丝杠的升降结构更为简单，机构整体使用更为可靠，且有效减小占据空间。技术研发人员：向浩源,张庭霄,郭生华,刘忠贺受保护的技术使用者：沈阳芯源微电子设备股份有限公司技术研发日：20231103技术公布日：2024/7/11