一种观察窗挡板机构的制作方法

本技术涉及真空镀膜设备，具体涉及一种观察窗挡板机构。

背景技术：

1、观察窗已经是一种常见的结构，应用于各行各业，其中真空镀膜设备就需要在腔体上安装观察窗，通过观察窗观察腔体内的工况，但由于观察窗玻璃暴露在沉积环境中，观察窗玻璃也会被镀膜，导致工作人员无法观察到腔体内的工况，现有的处理方式是通过在观察窗上增加挡板结构，通过挡板结构将观察窗玻璃与沉积环境隔离，但现有的挡板结构仅能遮挡有限区域，部分观察窗边缘无法被遮挡，进而导致膜料沉积在观察窗玻璃上，影响了工作人员对腔体内工况的观察。

技术实现思路

1、因此，本实用新型要解决的技术问题在于克服现有技术中由于挡板结构仅能遮挡观察窗有限区域而导致膜料沉积在观察窗玻璃上，进而使工作人员无法观察到腔体内工况的缺陷。

2、为此，本实用新型提供了一种观察窗挡板机构，包括：

3、固定套管，设置在观察窗上，所述观察窗上设置有接口，所述固定套管的一端设置在所述接口上；

4、固定座，与所述固定套管远离所述接口的一端连接，

5、转动组件，设置在所述固定座上；

6、驱动轴，设置在所述固定套管内，所述驱动轴穿过所述接口和所述固定套管与所述转动组件连接；

7、挡板组件，与所述转动组件连接；

8、在所述驱动轴作用下，所述转动组件带动所述挡板组件转动，所述挡板组件具有完全遮挡所述观察窗的第一状态以及部分遮挡所述观察窗的第二状态。

9、可选地，所述转动组件包括：

10、第一锥齿轮，所述第一锥齿轮的第一端与所述驱动轴远离所述接口的一端连接；

11、第二锥齿轮，与所述第一锥齿轮的第二端啮合连接；

12、第三锥齿轮，与所述第一锥齿轮的第三端啮合连接；

13、在所述驱动轴作用下，所述第一锥齿轮分别带动所述第二锥齿轮和所述第三锥齿轮转动。

14、可选地，所述第二锥齿轮和所述第三锥齿轮的转动方向相反。

15、可选地，所述转动组件还包括：

16、第一转轴，所述第一转轴的一端与所述第二锥齿轮连接，另一端与所述挡板组件连接，所述第一转轴跟随所述第二锥齿轮转动；

17、第二转轴，所述第二转轴的一端与所述第三锥齿轮连接，另一端与所述挡板组件连接，所述第二转轴跟随所述第三锥齿轮转动。

18、可选地，所述转动组件还包括：

19、第一轴承，所述第一轴承的外壁设置在所述固定座上，所述第一轴承的内壁套设在所述驱动轴远离所述接口的一端上，所述第一轴承适于支撑所述驱动轴；

20、第二轴承，所述第二轴承的外壁设置在所述固定座上，所述第二轴承的内壁套设在所述第一转轴上，所述第二轴承适于支撑所述第一转轴；

21、第三轴承，所述第三轴承的外壁设置在所述固定座上，所述第三轴承的内壁套设在所述第二转轴上，所述第三轴承适于支撑所述第二转轴。

22、可选地，所述挡板组件包括：

23、第一挡板，与所述第一转轴连接，所述第一挡板跟随所述第一转轴转动；

24、第二挡板，与所述第二转轴连接，所述第二挡板跟随所述第二转轴转动；

25、在所述驱动轴作用下，所述第一挡板和所述第二挡板具有对角分布且部分重叠的遮挡状态以及一侧分布且完全重叠的观察状态。

26、可选地，所述第一挡板和所述第二挡板均呈半圆形，所述第一挡板和所述第二挡板的弧形边均紧贴所述观察窗内壁。

27、可选地，所述观察窗挡板机构还包括：

28、法兰，通过螺钉分别与所述接口和所述固定套管连接，所述法兰上设置有圆孔，所述驱动轴穿过圆孔插入所述固定套管中。

29、可选地，所述观察窗挡板机构还包括：

30、密封组件，分别设置在所述接口和所述法兰的圆孔中。

31、可选地，所述密封组件包括：

32、第一密封件，设置在所述接口和所述法兰之间，所述第一密封件适于密封所述接口；

33、第二密封件，设置在所述驱动轴和所述法兰之间，所述第一密封件适于密封所述驱动轴。

34、本实用新型技术方案，具有如下优点：

35、1.本实用新型提供了一种观察窗挡板机构，包括固定套管、固定座、转动组件、驱动轴以及挡板组件，所述固定套管设置在观察窗上，所述观察窗上设置有接口，所述固定套管的一端设置在所述接口上；所述固定座与所述固定套管远离所述接口的一端连接，所述转动组件设置在所述固定座上；所述驱动轴设置在所述固定套管内，所述驱动轴穿过所述接口和所述固定套管与所述转动组件连接；所述挡板组件与所述转动组件连接；在所述驱动轴作用下，所述转动组件带动所述挡板组件转动，所述挡板组件具有完全遮挡所述观察窗的第一状态以及部分遮挡所述观察窗的第二状态。

36、现有的挡板结构仅能遮挡有限区域，部分观察窗边缘无法被遮挡，进而导致膜料沉积在观察窗玻璃上，影响了工作人员对腔体内工况的观察。在本实用新型实施例中，通过转动所述驱动轴，带动所述转动组件转动，进而带动所述挡板组件转动，使所述挡板组件完全遮挡所述观察窗，避免了腔体内的膜料沉积到观察窗玻璃上，进而影响工作人员对腔体内工况的观察。

37、2.本实用新型提供了一种观察窗挡板机构，所述挡板组件包括第一挡板和第二挡板，第一挡板与所述第一转轴连接，所述第一挡板跟随所述第一转轴转动；所述第二挡板与所述第二转轴连接，所述第二挡板跟随所述第二转轴转动；在所述驱动轴作用下，所述第一挡板和所述第二挡板具有对角分布且部分重叠的遮挡状态以及一侧分布且完全重叠的观察状态。所述第一挡板和所述第二挡板均呈半圆形，所述第一挡板和所述第二挡板的弧形边均紧贴所述观察窗内壁。在本实用新型实施例中，当所述挡板组件完全遮挡所述观察窗后，所述第一挡板和所述第二挡板靠中心直边位置之间相互重叠且分布在观察窗两侧，当所述挡板组件未完全遮挡所述观察窗后，所述第一挡板和所述第二挡板均分布在观察窗一侧，且完全重合，通过所述第一挡板和所述第二挡板的转动，一方面能够打开和关闭所述挡板组件，另一方面能够完全遮挡所述观察窗，进而能够防止腔体内的膜料沉积到观察窗玻璃上。

技术特征：

1.一种观察窗挡板机构，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的观察窗挡板机构，其特征在于，所述转动组件(3)包括：

3.根据权利要求2所述的观察窗挡板机构，其特征在于，所述第二锥齿轮(32)和所述第三锥齿轮(33)的转动方向相反。

4.根据权利要求2所述的观察窗挡板机构，其特征在于，所述转动组件(3)还包括：

5.根据权利要求4所述的观察窗挡板机构，其特征在于，所述转动组件(3)还包括：

6.根据权利要求4所述的观察窗挡板机构，其特征在于，所述挡板组件(5)包括：

7.根据权利要求6所述的观察窗挡板机构，其特征在于，所述第一挡板(51)和所述第二挡板(52)均呈半圆形，所述第一挡板(51)和所述第二挡板(52)的弧形边均紧贴所述观察窗(100)内壁。

8.根据权利要求1至7任一项所述的观察窗挡板机构，其特征在于，还包括：

9.根据权利要求8所述的观察窗挡板机构，其特征在于，还包括：

10.根据权利要求9所述的观察窗挡板机构，其特征在于，所述密封组件(8)包括：

技术总结本技术提供了一种观察窗挡板机构，包括固定套管、固定座、转动组件、驱动轴以及挡板组件，所述固定套管设置在观察窗上，所述观察窗上设置有接口，所述固定套管的一端设置在所述接口上；所述固定座与所述固定套管远离所述接口的一端连接，所述转动组件设置在所述固定座上；所述驱动轴设置在所述固定套管内，所述驱动轴穿过所述接口和所述固定套管与所述转动组件连接；所述挡板组件与所述转动组件连接；在驱动轴作用下，转动组件带动挡板组件转动，挡板组件具有完全遮挡观察窗的第一状态以及部分遮挡观察窗的第二状态。在本技术中，通过设置上述结构，能够完全遮挡所述观察窗，避免观察窗玻璃被镀膜，导致工作人员无法观察到腔体内工况。技术研发人员：张雷,侯俊松,鲜伟,陈军受保护的技术使用者：四川九天真空科技有限公司北京分公司技术研发日：20231115技术公布日：2024/7/11