一种单晶生长炉内的高精度称重传感器的制作方法

本技术涉及高精度称重传感器，特别涉及一种单晶生长炉内的高精度称重传感器。

背景技术：

1、近年来，国产单晶生长炉设备行业发展迅速，已经占据绝大部分的国内市场份额。同时，国内单晶生长炉设备领域技术也在飞速发展，逐步解决了单晶硅生长炉的关键技术难题，可以满足各行业对于硅类和非硅类的晶体需求。

2、基于成本等因素，硅片和非硅片的尺寸不断在向大尺寸方向进行演进，但是这种趋势还是存在对于晶棒直径和晶体生长等径阶段的重量变化控制没有一个高精度的测量控制办法。目前行业内常用于生长炉上的称重传感器有s型拉压力称重传感器和波纹管式称重传感器等。

3、但是，诸如此类的传感器在实际应用中有很明显的缺点，即在大量程的情况下不够灵敏无法检测分辨晶体生长起始阶段的重量，小量程满足灵敏度的情况下满足不了设备增大尺寸增重的需求，而且，此类别称重传感器，存在明显的角差，即称重位置偏差，数据精度也会偏差。

4、因此需要单独设计一款称重传感器，可以同时满足晶体生长过程中小量程高精度和大量程的需求。

技术实现思路

1、本实用新型的目的是提供一种单晶生长炉内的高精度称重传感器，具有解决称重位置影响精度的角差问题、可调节传感器灵敏系数、防止粉尘影响应变计精度、电缆线防护等级高的优点。

2、本实用新型的上述技术目的是通过以下技术方案得以实现的：

3、一种单晶生长炉内的高精度称重传感器，包括弹性体、应变计，所述弹性体包括一体成型的固定块和应变块，所述应变块呈长方形块体，所述固定块呈圆环状，所述固定块固定位于应变块的左侧部，所述应变计固定位于应变块内部；

4、所述应变块的前侧部左侧开设有方形穿孔，所述应变块顶部与底部均开设有两个应变槽，四个所述应变槽的位置均与方形穿孔的位置相对应，所述方形穿孔内部顶壁与内部底壁均固定设有两个应变计，所述应变块右侧部开设有贯穿应变块右侧部与方形穿孔内部右侧壁的第一圆形穿孔，所述第一圆形穿孔内设有电缆线，每个所述应变计均与电缆线电性连接；

5、所述应变块顶部左侧与方形穿孔位置相对应处套设有防尘保护罩，所述防尘保护罩的纵向竖截面呈“冂”型。

6、其中优选方案如下：

7、优选的：每个所述应变槽均为半圆形的槽体，每个所述应变槽均贯穿应变块的前侧部与后侧部。

8、优选的：所述应变块的右侧部在第一圆形穿孔处固定设有电缆线不锈钢接头，所述电缆线穿插于电缆线不锈钢接头内部。

9、优选的：应变块的顶部右侧开设有两个第二圆形穿孔，两个所述第二圆形穿孔的位置与第一圆形穿孔的位置相互错开。

10、优选的：所述固定块顶部圆周阵列设有若干第三圆形穿孔。

11、综上所述，本实用新型具有以下有益效果：

12、1.通过四个应变槽的设置，能够起到通过控制四个应变槽的深浅，改变该高精度称重传感器的灵敏系数，通过改变每个应变槽的每个角的深浅，可以解决称重位置影响精度的角差问题的效果；

13、2.通过固定块的设置，能够起到通过法兰连接，方便单晶生长炉的安装使用和方便拆卸该高精度称重传感器的效果；

14、3.通过防尘保护罩的设置，能够起到避免在安装过程中，应变计内部进入大量粉尘，保护了该高精度称重传感器的精度的效果；

15、4.通过电缆线不锈钢接头的设置，能过起到固定电缆线，增加了防护等级，防止电缆线移动使电缆线脱离应变计的效果。

技术特征：

1.一种单晶生长炉内的高精度称重传感器，其特征在于：包括弹性体（1）、应变计（2），所述弹性体（1）包括一体成型的固定块（111）和应变块（112），所述应变块（112）呈长方形块体，所述固定块（111）呈圆环状，所述固定块（111）固定位于应变块（112）的左侧部，所述应变计（2）固定位于应变块（112）内部；

2.根据权利要求1所述的一种单晶生长炉内的高精度称重传感器，其特征在于：每个所述应变槽（113）均为半圆形的槽体，每个所述应变槽（113）均贯穿应变块（112）的前侧部与后侧部。

3.根据权利要求1所述的一种单晶生长炉内的高精度称重传感器，其特征在于：所述应变块（112）的右侧部在第一圆形穿孔处固定设有电缆线不锈钢接头（4），所述电缆线（114）穿插于电缆线不锈钢接头（4）内部。

4.根据权利要求1所述的一种单晶生长炉内的高精度称重传感器，其特征在于：应变块（112）的顶部右侧开设有两个第二圆形穿孔，两个所述第二圆形穿孔的位置与第一圆形穿孔的位置相互错开。

5.根据权利要求1所述的一种单晶生长炉内的高精度称重传感器，其特征在于：所述固定块（111）顶部圆周阵列设有若干第三圆形穿孔。

技术总结本技术公开了一种单晶生长炉内的高精度称重传感器，包括弹性体、应变计，弹性体包括一体成型的固定块和应变块，应变块呈长方形块体，固定块呈圆环状，固定块固定位于应变块的左侧部；应变块的前侧部左侧开设有方形穿孔，应变块顶部与底部均开设有两个应变槽，四个应变槽的位置均与方形穿孔的位置相对应，方形穿孔内部顶壁与内部底壁均固定设有两个应变计，应变块右侧部开设有贯穿应变块右侧部与方形穿孔内部右侧壁的第一圆形穿孔，第一圆形穿孔内设有电缆线；应变块顶部左侧与方形穿孔位置相对应处套设有防尘保护罩。本技术具有解决称重位置影响精度的角差问题、可调节传感器灵敏系数、防止粉尘影响应变计精度、电缆线防护等级高的优点。技术研发人员：施文俊受保护的技术使用者：费波斯测量技术（常州）有限公司技术研发日：20231211技术公布日：2024/7/18