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一种用于真空镀膜装置的密封组件的制作方法

  • 国知局
  • 2024-08-05 13:52:11

本技术涉及密封组件领域,特别涉及一种用于真空镀膜装置的密封组件。

背景技术:

1、真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜,具体包括很多种类,包括真空电阻加热蒸发,电子枪加热蒸发,磁控溅射,mbe分子束外延,pld激光溅射沉积,离子束溅射等很多种,主要思路是分成蒸发和溅射两种,真空镀膜机的正前方为放料口,而对于放料口密封的盖板为铰接式固定,通过开关方便,但是两者之间容易存在间隙,密封性和牢固性都比较欠缺。

2、现有的密封组件是通过铰接式盖板直接闭合,虽然开关方便,但是存在密封性和牢固性较差的情况,容易因真空镀膜机内部温度的影响而发生形变,从而导致产生间隙,破坏了真空环境,为了解决上述所存在的问题,我们提出一种用于真空镀膜装置的密封组件。

技术实现思路

1、本实用新型的目的是提供一种用于真空镀膜装置的密封组件,解决了现有的密封组件使用效果较差的问题。

2、本实用新型的上述技术目的是通过以下技术方案得以实现的:一种用于真空镀膜装置的密封组件,包括安装筒,所述安装筒表面的后端固定套接有安装板,所述安装筒的正面开设有环形凹槽,所述环形凹槽的内部粘接有密封圈,所述安装筒表面的前端螺纹连接有密封盖,所述密封盖的正面开设有通槽,所述通槽的直径与安装筒的内径相同,所述通槽的内部嵌装有观察窗,所述密封盖的表面对称设置有握把。

3、采用上述技术方案,能够实现密封效果好,安装紧密牢固,保障了镀膜机内部的真空环境。

4、本实用新型进一步设置为:所述安装板的表面开设有安装孔。

5、采用上述技术方案,通过安装孔的设置,能够便于工作人员用螺丝将安装孔固定在镀膜机外壳上。

6、本实用新型进一步设置为:所述密封盖的表面对称焊接有固定座,所述固定座的正面贯穿螺纹连接有固定螺栓。

7、采用上述技术方案,通过固定座和固定螺栓的设置,能够对握把进行固定,方便对握把进行更换。

8、本实用新型进一步设置为:所述握把的表面固定套接有防滑套。

9、采用上述技术方案,通过防滑套的设置,能够提高握把与使用者手部之间的摩擦力度。

10、本实用新型进一步设置为:所述密封圈由丁腈橡胶材质制造而成。

11、采用上述技术方案,密封圈具有耐油性和耐磨性好,粘接力强和耐高温性能优良的特点。

12、本实用新型进一步设置为:所述观察窗由亚克力材质制造而成。

13、采用上述技术方案,观察窗具有不易碎、透明度好和耐候性强。

14、本实用新型进一步设置为:所述固定座和固定螺栓均由不锈钢材质制造而成。

15、采用上述技术方案,固定座和固定螺栓具有强度高、密度小和耐腐蚀性优良的特点。

16、综上所述,本实用新型具有以下有益效果:

17、本实用新型通过先用螺丝将安装板固定在镀膜机上,安装板在固定后其内部会与镀膜机的放料口吻合,然后将密封圈放入至环形凹槽内并粘接牢固,当环形凹槽粘接后将密封盖拿起卡在安装筒的外螺纹上,最后用手握住防滑套带动密封盖进行旋转安装即可,能够实现密封效果好,安装紧密牢固,保障了镀膜机内部的真空环境。

技术特征:

1.一种用于真空镀膜装置的密封组件,包括安装筒(1),其特征在于:所述安装筒(1)表面的后端固定套接有安装板(2),所述安装筒(1)的正面开设有环形凹槽(3),所述环形凹槽(3)的内部粘接有密封圈(4),所述安装筒(1)表面的前端螺纹连接有密封盖(5),所述密封盖(5)的正面开设有通槽(6),所述通槽(6)的直径与安装筒(1)的内径相同,所述通槽(6)的内部嵌装有观察窗(7),所述密封盖(5)的表面对称设置有握把(8)。

2.根据权利要求1所述的一种用于真空镀膜装置的密封组件,其特征在于,所述安装板(2)的表面开设有安装孔(9)。

3.根据权利要求1所述的一种用于真空镀膜装置的密封组件,其特征在于,所述密封盖(5)的表面对称焊接有固定座(10),所述固定座(10)的正面贯穿螺纹连接有固定螺栓(11)。

4.根据权利要求1所述的一种用于真空镀膜装置的密封组件,其特征在于,所述握把(8)的表面固定套接有防滑套(12)。

5.根据权利要求1所述的一种用于真空镀膜装置的密封组件,其特征在于,所述密封圈(4)由丁腈橡胶材质制造而成。

6.根据权利要求1所述的一种用于真空镀膜装置的密封组件,其特征在于,所述观察窗(7)由亚克力材质制造而成。

7.根据权利要求3所述的一种用于真空镀膜装置的密封组件,其特征在于,所述固定座(10)和固定螺栓(11)均由不锈钢材质制造而成。

技术总结本技术公开了一种用于真空镀膜装置的密封组件,应用在密封组件领域,包括安装筒,所述安装筒表面的后端固定套接有安装板,所述安装筒的正面开设有环形凹槽,所述环形凹槽的内部粘接有密封圈,所述安装筒表面的前端螺纹连接有密封盖,所述密封盖的正面开设有通槽,所述通槽的直径与安装筒的内径相同,所述通槽的内部嵌装有观察窗,所述密封盖的表面对称设置有握把;能够实现密封效果好,安装紧密牢固,保障了镀膜机内部的真空环境。技术研发人员:孟庆军受保护的技术使用者:苏州六三二八光电科技有限公司技术研发日:20231201技术公布日:2024/7/18

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