用于消减设备的入口喷嘴组件的制作方法

本发明的领域涉及入口喷嘴组件、消减设备和方法。

背景技术：

1、诸如辐射燃烧器或其它类型的消减设备的消减设备是已知的，并且典型地用于处理来自例如在半导体或平板显示器制造业中使用的制造加工工具的流出气体物流。在这样的制造期间，残留的全氟化合物(pfc)和其它化合物存在于从加工工具泵出的流出气体物流中。pfc难以从流出气体中移除，并且它们向环境中的释放是不期望的，因为已知它们具有相对较高的温室活性。

2、已知的辐射燃烧器利用燃烧从流出气体物流中移除pfc和其它化合物，诸如在ep0694735中描述的那样。典型地，流出气体物流是包含pfc和其它化合物的氮气物流。流出物流被传输到燃烧室中，该燃烧室由多孔气体燃烧器的出口表面侧向地围绕。在一些情况下，诸如燃料气体的处理材料可以在进入燃烧室之前与流出气体物流混合。燃料气体和空气同时供应到多孔燃烧器，以影响在出口表面处的燃烧。来自多孔燃烧器的燃烧产物与流出物流混合物反应以燃烧流出物流中的化合物。

3、尽管存在消减设备的布置，但是它们各自具有其自己的缺点。因此，希望提供一种用于消减设备的改进布置。

技术实现思路

1、根据第一方面，提供了一种用于用来处理来自半导体加工工具的流出物流的消减设备的入口喷嘴组件，该入口喷嘴组件包括：入口喷嘴，其被构造成将流出物流输送到消减室；头部，其限定用于接收入口喷嘴的孔口；以及绝缘安装件，其被构造成将入口喷嘴固持在孔口内。

2、第一方面认识到现有入口组件的问题是组件的操作寿命可能较短，这影响了性能并减少了维护周期之间的时间。特别地，颗粒或粉末可能积聚在入口喷嘴组件上，这可能影响流体流动，并且甚至导致堵塞。

3、相应地，提供了入口喷嘴组件。入口喷嘴组件可以用于消减设备。消减设备可以处理来自半导体加工工具的流出物流。入口组件可以包括入口喷嘴。入口喷嘴可以被构造成将流出物流输送或传输到消减室中。入口喷嘴组件可以包括头部。头部可以限定接收入口喷嘴的孔口。入口喷嘴组件可以包括绝缘安装件。绝缘安装件可以被构造或布置成将入口喷嘴固持在孔口内。以这种方式，入口喷嘴和头部之间的热路径由绝缘安装件中断，这有助于防止入口喷嘴被头部冷却，这有助于防止可冷凝材料在入口喷嘴的较冷部分上形成沉积物。

4、绝缘安装件可以被构造成围绕或包围入口喷嘴。绝缘安装件可以插置或定位在入口喷嘴和头部之间。

5、绝缘安装件可以被构造或布置成将入口喷嘴与头部间隔开或远离头部定位。与头部间隔开有助于抑制热路径。

6、绝缘安装件可以包括多个突起、构件或指状物，其被构造或布置成与入口喷嘴接触。提供突起有助于减少接触面积，这有助于抑制热路径。

7、突起可以从绝缘安装件的面对表面延伸以将入口喷嘴与面对表面间隔开或远离面对表面定位。

8、绝缘安装件可以限定吹扫导管。吹扫导管可以被构造或布置成将吹扫气体从吹扫气体进料装置传输或输送到头部中的吹扫气体充气室。因此，绝缘安装件可以是双重用途的。

9、入口喷嘴可以包括用于输送或传输流出物流的流出物流喷嘴。入口喷嘴还可以包括用于输送或传输燃烧试剂的同心燃烧试剂喷嘴。绝缘安装件可以限定燃烧试剂导管。燃烧试剂导管可以被构造成将燃烧试剂从燃烧试剂进料装置传输或输送到同心燃烧试剂喷嘴。

10、同心燃烧试剂喷嘴可围绕流出物流喷嘴。

11、入口喷嘴可以包括上游入口部分。上游入口部分可以限定入口室。入口室可以接收流出物流。入口喷嘴可以包括下游输送部分。下游输送部分可以限定输送室。输送室可以将流出物流输送或传输到消减室中。上游入口部分可以被构造成与头部间隔开或远离头部定位。与头部间隔开有助于抑制热路径。

12、上游入口部分可以被构造成通过绝缘安装件与头部间隔开或远离头部定位。

13、上游入口部分可以被构造或布置成与头部的上游表面间隔开或远离头部的上游表面定位。

14、绝缘安装件可以包括热绝缘材料。

15、绝缘安装件可以具有比入口喷嘴和/或头部低的热导率。

16、根据第二方面，提供了一种包括第一方面的入口喷嘴组件的消减设备。

17、消减设备可以包括上文阐述的入口喷嘴组件的特征。

18、根据第三方面，提供了一种方法，该方法包括：在头部中限定用于接收入口喷嘴的孔口，该入口喷嘴用于将流出物流输送到消减室中；以及利用绝缘安装件将入口喷嘴固持在孔口内。

19、该方法可以包括用绝缘安装件围绕入口喷嘴。

20、该方法可以包括将绝缘安装件插置在入口喷嘴和头部之间。

21、该方法可以包括利用绝缘安装件将入口喷嘴与头部间隔开。

22、该方法可以包括使入口喷嘴与绝缘安装件的多个突起接触。

23、该方法可以包括使突起从绝缘安装件的面对表面延伸，以将入口喷嘴与面对表面间隔开。

24、该方法可以包括在安装件中限定吹扫导管，该吹扫导管被构造成将吹扫气体从吹扫气体进料装置传输到头部中的吹扫气体充气室。

25、该方法可以包括：为入口喷嘴提供用于输送流出物流的流出物流喷嘴和用于输送燃烧试剂的同心燃烧试剂喷嘴；以及限定燃烧试剂导管，该导管被构造成将燃烧试剂从燃烧试剂进料装置传输到同心燃烧试剂喷嘴。

26、该方法可以包括用同心燃烧试剂喷嘴围绕流出物流喷嘴。

27、该方法可以包括：利用入口喷嘴的上游入口部分限定用于接收流出物流的入口室和利用入口喷嘴的下游输送部分限定用于将流出物流输送到消减室中的输送室；以及将上游入口部分与头部间隔开。

28、该方法可以包括利用绝缘安装件将上游入口部分与头部间隔开。

29、该方法可以包括将上游入口部分与头部的上游表面间隔开。

30、该方法可以包括由热绝缘材料形成绝缘安装件。

31、该方法可以包括将绝缘安装件选择成具有比入口喷嘴和头部中的至少一个更低的热导率。

32、在所附的独立和从属权利要求中阐述了另外的特定和优选方面。从属权利要求的特征可以适当地与独立权利要求的特征相结合，并且以不同于权利要求中明确阐述的那些的组合结合。

33、在设备特征被描述为可操作来提供功能的情况下，应当理解，这包括提供该功能或者被适配或构造来提供该功能的设备特征。

技术特征：

1.一种用于处理来自半导体加工工具的流出物流的消减设备的入口喷嘴组件，所述入口喷嘴组件包括：

2.根据权利要求1所述的入口喷嘴组件，其中，所述绝缘安装件中的至少一个被构造成围绕所述入口喷嘴并被插置在所述入口喷嘴和所述头部之间。

3.根据权利要求1或2所述的入口喷嘴组件，其中，所述绝缘安装件被构造成将所述入口喷嘴与所述头部间隔开。

4.根据任何前述权利要求所述的入口喷嘴组件，其中，所述绝缘安装件包括构造成与所述入口喷嘴接触的多个突起。

5.根据权利要求4所述的入口喷嘴组件，其中，所述突起从所述绝缘安装件的面对表面延伸以将所述入口喷嘴与所述面对表面间隔开。

6.根据任何前述权利要求所述的入口喷嘴组件，其中，所述绝缘安装件限定吹扫导管，所述吹扫导管被构造成将吹扫气体从吹扫气体进料装置传输到所述头部中的吹扫气体充气室。

7.根据任何前述权利要求所述的入口喷嘴组件，其中，所述入口喷嘴包括用于输送所述流出物流的流出物流喷嘴和用于输送燃烧试剂的同心燃烧试剂喷嘴，并且所述绝缘安装件限定燃烧试剂导管，所述燃烧试剂导管被构造成将燃烧试剂从燃烧试剂进料装置传输到所述同心燃烧试剂喷嘴。

8.根据权利要求7所述的入口喷嘴组件，其中，所述同心燃烧试剂喷嘴围绕所述流出物流喷嘴。

9.根据任何前述权利要求所述的入口喷嘴组件，其中，所述入口喷嘴包括上游入口部分和下游输送部分，所述上游入口部分限定用于接收所述流出物流的入口室，所述下游输送部分限定用于将所述流出物流输送到所述消减室中的输送室，其中，所述上游入口部分被构造成与所述头部间隔开。

10.根据权利要求9所述的入口喷嘴组件，其中，所述上游入口部分被构造成通过所述绝缘安装件与所述头部间隔开。

11.根据权利要求9或10所述的入口喷嘴组件，其中，所述上游入口部分被构造成与所述头部的上游表面间隔开。

12.根据任何前述权利要求所述的入口喷嘴组件，其中，所述绝缘安装件包括热绝缘材料。

13.根据任何前述权利要求所述的入口喷嘴组件，其中，所述绝缘安装件具有比所述入口喷嘴和所述头部中的至少一个更低的热导率。

14.一种包括根据任何前述权利要求所述的入口喷嘴组件的消减设备。

15.一种方法，包括：

技术总结公开了入口喷嘴组件、消减设备和方法。所述入口喷嘴组件用于用来处理来自半导体加工工具的流出物流的消减设备，所述入口喷嘴组件包括：入口喷嘴，其被构造成将流出物流输送到消减室；头部，其限定用于接收入口喷嘴的孔口；以及绝缘安装件，其被构造成将入口喷嘴固持在孔口内。以这种方式，入口喷嘴和头部之间的热路径由绝缘安装件中断，这有助于防止入口喷嘴被头部冷却，从而有助于防止冷凝物在入口喷嘴上聚集为粉末或颗粒。技术研发人员：A·J·希里受保护的技术使用者：埃地沃兹有限公司技术研发日：技术公布日：2024/3/17