除害装置及喷嘴刮刀的制作方法

本发明涉及除害装置及喷嘴刮刀，特别涉及将被处理气体中的有害成分在燃烧室内燃烧或热分解而无害化的除害装置及将附着于燃烧室周边的堆积物除去的喷嘴刮刀。

背景技术：

1、以往，例如在半导体制造工厂中，作为将从周知的半导体制造装置的工艺腔排出的含有有害成分的排出气体无害化的机构，使用燃烧式的除害装置(例如，参照专利文献1)。

2、专利文献1中已知的半导体制造装置中的除害装置使含有有害成分的被处理气体(排出气体)在燃烧室内燃烧而与空气(氧)反应从而变为无害的气体。但是，例如在被处理气体为硅烷气体(sih4)的情况下，氧化反应的结果是无害的二氧化硅，生成二氧化硅(sih2)。该二氧化硅为固体、粉末，通过氧化反应变为二氧化硅时被施加能量，在发生氧化反应的空间即燃烧室的空间内飞散。即，由于并非径直落下而飞散，所以其多附着于燃烧室的壁面、以及用于将被处理气体导入燃烧室的喷嘴内及其附近，此外随着时间的经过而堆积。因此，为将该堆积物去除而需要实施定期的维护(翻修)。用于机械地除去固接于该燃烧室的内壁面的堆积物和固接于被处理气体通路内的壁面的堆积物的维护一般按照3个月一次左右的频率实施。因此，考虑运营方面·费用方面时，维护时间较短的话较好。

3、因此，作为机械地去除堆积于将被处理气体导入燃烧室的气体导入孔出口附近的堆积物的技术，以往已知专利文献2、专利文献3中记载的那样的除去装置。

4、专利文献2中，在被处理气体通路内配设有具有能够折叠的l字形状的刮除头的刮除器。此外，刮除头的末端部插入至燃烧室内的空间时，在燃烧室内以l字形展开。并且，若刮除头的末端部在燃烧室内展开，在该展开的状态下，使刮除器与该末端部一同旋转，则能够机械地除去固接于燃烧室的开口周围的内壁面的堆积物和固接于被处理气体通路内的壁面的堆积物。然而，专利文献2的结构中，在开口周围，欲在从燃烧室的内壁面突出的状态下配设温度传感器的情况下，温度传感器妨碍刮除头的旋转。

5、因此，专利文献3中公开了刮除头能够一边避开温度传感器而旋转一边将固接于燃烧室的内壁面的堆积物机械地除去的结构。然而，专利文献3中公开了将固接于燃烧室的内壁面的堆积物机械地除去的结构，但未公开将固接于被处理气体通路内的壁面的堆积物也同时除去的结构。

6、此外，将被处理气体导入燃烧室的气体导入管(喷嘴)的截面不限于圆形，此外，也有使用截面为长条形、大致四边形、长圆形、且设置有缩径部和比缩径部靠下游侧的扩径部的例如节流装置、文丘里管等的情况(例如，参照专利文献4)。

7、专利文献1：日本特开2001-349521号公报。

8、专利文献2：日本特开2009-204289号公报。

9、专利文献3：日本特开2015-53319号公报。

10、专利文献4：日本特表2019-520539号公报。

11、然而，作为将被处理气体导入燃烧室的气体导入管(喷嘴)，使用截面不是圆形而是截面为长条形、大致四边形、长圆形、且设置有缩径部和比缩径部靠下游侧的扩径部的例如节流装置、文丘里管等的情况下，将附着于扩径部的内壁的堆积物除去时，有发生残留的问题。

技术实现思路

1、因此，产生了为了提供一种除害装置而应解决的技术问题，前述除害装置构造成，即使是设置有缩径部和比缩径部靠下游侧的扩径部的喷嘴等，也能够将堆积物无残留地干净地除去，本发明的目的在于解决该问题。

2、本发明是为了实现上述目的而提出的，技术方案1中记载的发明提供一种除害装置，将包括有害成分的被处理气体在燃烧室通过燃烧或热分解而无害化，其特征在于，具备喷嘴、喷嘴刮刀、头刮刀，前述喷嘴具备缩径部和设置在比前述缩径部靠下游侧的扩径部，与前述燃烧室的顶面连接而将前述被处理气体导入前述燃烧室，前述喷嘴刮刀设置成在前述扩径部内能够在既定的移动范围内上下移动，将附着于前述扩径部内的堆积物除去而排出至前述燃烧室，前述头刮刀在前述移动范围的最下位置将附着于前述喷嘴刮刀的下部的前述堆积物除去，前述喷嘴刮刀具有刮除部和伸出部，前述刮除部将附着于前述扩径部的内壁的前述堆积物除去，前述伸出部在前述移动范围的最上位置配置于前述缩径部的下端。

3、根据该结构，附着于喷嘴的内周壁和顶面壁的堆积物被在设置于比缩径部靠下游侧的扩径部中上下移动的喷嘴刮刀除去而排出至燃烧室内。即，附着于扩径部的内周面的堆积物被喷嘴刮刀的刮除部刮落而排出至燃烧室内，附着于扩径部的顶面壁的堆积物被喷嘴刮刀的伸出部排出至燃烧室。此外，附着于喷嘴刮刀的下部的堆积物在喷嘴刮刀的移动范围的最下位置被头刮刀除去。由此，从燃烧室侧向喷嘴的设置在比缩径部靠下游侧的扩径部的内周壁和顶面壁堆积的堆积物全部被喷嘴刮刀向燃烧室内排出而被处理。进而，附着于喷嘴刮刀的下部的堆积物也能够在最下位置被头刮刀排出至燃烧室内而处理。因此，从燃烧室侧向喷嘴的扩径部的内周壁和顶面壁附着的堆积物全部被喷嘴刮刀排出至燃烧室内而被处理。

4、此外，喷嘴刮刀的移动是上下移动，所以扩径部的截面形状即便不限于圆形而截面是长条形、大致四边形、长圆形等，也能够将扩径部内的堆积物顺畅地排出处理。此外，喷嘴刮刀在设置于比缩径部靠下游侧的扩径部中上下移动，所以也能够应用于使用设置有缩径部和比缩径部靠下游侧的扩径部的形状的例如节流装置、文丘里管等的喷嘴。

5、技术方案2中记载的发明提供一种除害装置，在技术方案1中记载的结构中，在前述喷嘴刮刀停止的待机位置，前述伸出部的一部分覆盖前述缩径部的下表面。

6、根据该结构，喷嘴刮刀处于待机位置时，喷嘴刮刀的伸出部的一部分覆盖喷嘴的缩径部的下表面，所以若从待机位置开始刮落堆积物的动作，则能够也包括缩径部的下表面的部位地将附着于扩径部的顶面壁的堆积部向燃烧室以一次的动作排出。

7、技术方案3中记载的发明提供一种除害装置，在技术方案1或2中记载的结构中，前述头刮刀由板状的部件构成，在前述燃烧室配设成与前述顶面相向而能够水平旋转。

8、根据该结构，喷嘴刮刀移动至最下位置时，若使由板材构成的头刮刀水平旋转，则头刮刀将残存于喷嘴刮刀的堆积物刮除而排出至燃烧室内，能够顺畅地除去。

9、技术方案4中记载的发明提供一种除害装置，在技术方案1至3中任一项记载的结构中，还具备控制前述喷嘴刮刀和前述头刮刀的驱动的控制部。

10、根据该结构，能够借助控制部而将喷嘴刮刀和头刮刀的驱动按照预先确定的流程控制，顺畅地除去堆积物。

11、技术方案5中记载的发明提供一种除害装置，在技术方案4中记载的结构中，前述控制部在前述喷嘴刮刀处于前述移动范围的前述最下位置时驱动前述头刮刀以将附着于前述喷嘴刮刀的下部的前述堆积物除去。

12、根据该结构，通过控制部的控制，驱动头刮刀，使得喷嘴刮刀处于移动范围的最下位置时，头刮刀除去附着于喷嘴刮刀的下部的堆积物，能够将附着于喷嘴刮刀的下部的堆积物顺畅地除去。

13、技术方案6中记载的发明提供一种喷嘴刮刀，前述喷嘴刮刀用于除害装置，前述除害装置具备喷嘴，前述喷嘴具备缩径部和设置在比前述缩径部靠下游侧的扩径部，与燃烧室的顶面连接而将包括有害成分的被处理气体导入前述燃烧室，前述除害装置将前述被处理气体在前述燃烧室通过燃烧或热分解来而害化，所述喷嘴刮刀的特征在于，前述喷嘴刮刀具有刮除部和伸出部，前述刮除部将附着于前述扩径部的内壁的堆积物除去，前述伸出部在移动范围的最上位置处配置于前述缩径部的下端。

14、根据该结构，通过将该喷嘴刮刀用于除害装置，能够将附着于将被处理气体导入燃烧室的除害装置中的喷嘴的内壁面的堆积物简单且在短期间内刮落而除去。

15、发明效果

16、根据本发明，附着于喷嘴的内周壁和顶面壁的堆积物由于在设置于比缩径部靠下游侧的扩径部中上下移动的喷嘴刮刀的上下的移动，附着于扩径部的内周面的堆积物被喷嘴刮刀的刮除部刮落而排出至燃烧室内，附着于扩径部的顶面壁的堆积物被喷嘴刮刀的伸出部排出至燃烧室，进而附着于喷嘴刮刀的下部的堆积物能够在喷嘴刮刀的移动范围的最下位置处被头刮刀除去。由此，从燃烧室侧向喷嘴的设置于比缩径部靠下游侧设置的扩径部的内周壁和顶面壁附着的堆积物能够全部被喷嘴刮刀向燃烧室内排出而被处理。此外，附着于喷嘴刮刀的下部的堆积物也能够被头刮刀排出至燃烧室内而处理。

17、此外，喷嘴刮刀的移动是上下移动，所以即便扩径部的截面形状不限于圆形而截面是长条形、大致四边形、长圆形等，也能够将扩径部内的堆积物顺畅地排出处理。进而，喷嘴刮刀在设置于比缩径部靠下游侧的扩径部中上下移动，所以也能够应用于使用了设置有缩径部和比缩径部靠下游侧的扩径部的形状的例如节流装置、文丘里管等的喷嘴。由此，能够实现维护时间的缩短，能够期待生产率的提高。