一种水蒸气供给装置的制作方法

本技术涉及半导体加工领域，尤其涉及一种水蒸气供给装置。

背景技术：

1、目前，在半导体氧化热处理设备中，湿氧氧化处理工艺具有成膜速率快的优点，已被集成电路制造工艺中广泛使用，纯净的水蒸汽是湿氧氧化工艺中必不可少的反应气体。

2、例如根据公开号为cn216624216u的中国专利，一种半导体热处理设备及其水蒸气供给装置。该水蒸气供给装置包括：流体通道、雾化组件及加热器；流体通道的两端分别为输入端及输出端，输入端用于通入高纯水，输出端用于与工艺腔室连接，以向工艺腔室提供水蒸气；流体通道沿高纯水的流动方向依次设置有雾化组件和加热器，雾化组件用于对通入的高纯水进行雾化，以形成雾化水，加热器用于对雾化水进行加热，以形成水蒸气。本申请实施例实现了为工艺腔室提供高温水蒸气的目的，并且由于高纯水对于密封要求等级低，不仅能大幅提高安全性，而且还能降低应用及制造成本。

3、但是上述方案仍存在不足：该装置在进行水蒸气供给时，无法设置控制水蒸气流通的驱动机构，这就造成了水蒸气的供给流速仅依靠纯净水的输入流速来间接控制，造成水蒸气的供给不精准。

技术实现思路

1、本实用新型旨在提供一种克服上述问题或者至少部分地解决上述问题的一种水蒸气供给装置，以解决该装置在进行水蒸气供给时，无法设置控制水蒸气流通的驱动机构，这就造成了水蒸气的供给流速仅依靠纯净水的输入流速来间接控制，造成水蒸气的供给不精准问题。

2、为达到上述目的，本实用新型的技术方案具体是这样实现的：

3、本实用新型的提供了一种水蒸气供给装置，包括：工艺腔室，所述工艺腔室的一侧设置有输送箱，所述输送箱的一侧设置有加热箱，所述加热箱的一侧设置有超声波发生器，所述超声波发生器的一侧设置有水泵；供给组件，所述供给组件设置在所述工艺腔室的一侧，用于为工艺腔室供给水蒸气。

4、通过采用上述技术方案，通过设置供给组件，通过供给组件可以用于为工艺腔室供给水蒸气。

5、作为本实用新型进一步的方案，所述供给组件包括：水箱，所述水箱设置在所述水泵的一侧，所述水泵抽水管的一端穿过所述水箱的外圆壁面并延伸至所述水箱的内部，所述水泵出水管的一端设置有连接管，所述连接管的内部固定套设有内管，所述内管的一端固定安装有雾化喷头，所述超声波发生器与所述连接管的外圆壁面固定套设，所述连接管的一端穿过所述加热箱的左侧并延伸至所述加热箱的内部，所述加热箱的内部底面固定安装有加热线圈，所述输送箱的一侧固定安装有驱动电机，所述驱动电机驱动轴的一端穿过所述输送箱的一侧并延伸至所述输送箱的内部，所述驱动电机驱动轴的一端固定安装有扇叶，所述驱动电机驱动轴与所述输送箱连接处设置有耐高温油封，所述输送箱的内部固定安装有隔温板，所述隔温板为碳酸钙板。

6、通过采用上述技术方案，通过设置水泵，通过水泵抽取水箱内的纯净水，随后通过雾化喷头喷出喷出进行初步雾化，随后经过超声波发生器对水滴进行二次雾化，随后水滴进入加热箱的内部，通过加热线圈对水滴进行加热，从而形成水蒸气，随后驱动电机带动扇叶，从而带动水蒸气进入到工艺腔室的内部，通过隔温板可以防止水蒸气的高温损坏油封，通过驱动电机带动扇叶旋转，有效的控制水蒸气的输入流速，从而更加精准和稳定的为工艺腔室进行供给。

7、作为本实用新型进一步的方案，所述连接管的一端固定安装有导热铜管，所述导热铜管的一端穿过所述加热箱的内部一侧与所述输送箱的一侧并延伸至所述输送箱的内部。

8、通过采用上述技术方案，通过设置导热铜管，通过让水滴从导热铜管的内部流通，使得加热线圈更好的加热水滴。

9、作为本实用新型进一步的方案，所述输送箱与所述工艺腔室相互靠近的两侧均固定安装有输送管，所述输送管分别与所述工艺腔室和所述输送箱的内部相连通，两个所述输送管之间固定安装有气体流量计。

10、通过采用上述技术方案，通过设置气体流量计，通过气体流量计可以检测水蒸气的流通速度，从而便于驱动电机控制水蒸气的供给。

11、作为本实用新型进一步的方案，所述水泵出水管的一端固定安装有水流量计，所述水流量计的一端与所述连接管的一端固定安装。

12、通过采用上述技术方案，通过设置水流量计，通过水流量计可以监测纯净水的输入流速，便于控制水蒸气的产生量。

13、作为本实用新型进一步的方案，所述加热箱的顶面固定安装有耐高温密封圈，所述加热箱的顶面合页连接有顶盖。

14、通过采用上述技术方案，通过设置顶盖，通过顶盖便于对加热箱的内部进行检修。

15、本实用新型提供了一种水蒸气供给装置，有益效果在于：

16、通过设置水泵，通过水泵抽取水箱内的纯净水，随后通过雾化喷头喷出喷出进行初步雾化，随后经过超声波发生器对水滴进行二次雾化，随后水滴进入加热箱的内部，通过加热线圈对水滴进行加热，从而形成水蒸气，随后驱动电机带动扇叶，从而带动水蒸气进入到工艺腔室的内部，并通过气体流量计检测结果来控制流通速度，通过隔温板可以防止水蒸气的高温损坏油封，通过驱动电机带动扇叶旋转，有效的控制水蒸气的输入流速，从而更加精准和稳定的为工艺腔室进行供给。

17、通过设置导热铜管，通过让水滴从导热铜管的内部流通，使得加热线圈更好的加热水滴，通过设置气体流量计，通过气体流量计可以检测水蒸气的流通速度，从而便于驱动电机控制水蒸气的供给。

技术特征：

1.一种水蒸气供给装置，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的一种水蒸气供给装置，其特征在于，所述供给组件包括：

3.根据权利要求2所述的一种水蒸气供给装置，其特征在于，所述连接管(7)的一端固定安装有导热铜管(14)，所述导热铜管(14)的一端穿过所述加热箱(3)的内部一侧与所述输送箱(2)的一侧并延伸至所述输送箱(2)的内部。

4.根据权利要求1所述的一种水蒸气供给装置，其特征在于，所述输送箱(2)与所述工艺腔室(1)相互靠近的两侧均固定安装有输送管(15)，所述输送管(15)分别与所述工艺腔室(1)和所述输送箱(2)的内部相连通，两个所述输送管(15)之间固定安装有气体流量计(16)。

5.根据权利要求3所述的一种水蒸气供给装置，其特征在于，所述水泵(5)出水管的一端固定安装有水流量计(17)，所述水流量计(17)的一端与所述连接管(7)的一端固定安装。

6.根据权利要求1所述的一种水蒸气供给装置，其特征在于，所述加热箱(3)的顶面固定安装有耐高温密封圈，所述加热箱(3)的顶面合页连接有顶盖(18)。

技术总结本技术提供了一种水蒸气供给装置，包括：工艺腔室，所述工艺腔室的一侧设置有输送箱，所述输送箱的一侧设置有加热箱，所述加热箱的一侧设置有超声波发生器；供给组件，所述供给组件设置在所述工艺腔室的一侧，用于为工艺腔室供给水蒸气，通过设置水泵，通过水泵抽取水箱内的纯净水，随后通过雾化喷头喷出进行初步雾化，随后经过超声波发生器对水滴进行二次雾化，随后水滴进入加热箱的内部，通过加热线圈对水滴进行加热，形成水蒸气，随后驱动电机带动扇叶，从而带动水蒸气进入到工艺腔室的内部，隔温板可以防止水蒸气的高温损坏油封，通过驱动电机带动扇叶旋转，有效的控制水蒸气的输入流速，从而更加精准和稳定的为工艺腔室进行供给。技术研发人员：戴煜,周伟芳受保护的技术使用者：长三角一体化示范区（浙江嘉善）嘉芯半导体设备科技有限公司技术研发日：20230712技术公布日：2024/1/15