一种用于制备防结焦涂层的基片清洗装置的制作方法

本技术涉及清洗设备，尤其涉及一种用于制备防结焦涂层的基片清洗装置。

背景技术：

1、在工业设备中，热端部件通常会产生高温，例如炉炉管、燃烧器、锅炉等。当热端部件表面的温度过高时，会导致结焦现象的发生，因此需要使用到防结焦涂层，在通过气相沉积法制备防结焦涂层时，需要对沉积涂层的基片进行清洗，避免表面有杂质和污垢影响制备的效果和质量。

2、现有技术中，在对基片进行清洗时，传统的方式，往往采用毛刷或其他工具进行清洗，但是毛刷或其他工具通常只能清洗到基片表面，无法彻底去除难以触及的污垢，未去除的污垢，在沉积反应后，可能会影响制备后的涂层质量，并且传统的清洗方式，容易产生划痕和刮伤，对基片的质量和性能造成不利影响。

技术实现思路

1、本实用新型克服了现有技术的不足，提供一种用于制备防结焦涂层的基片清洗装置。

2、为达到上述目的，本实用新型采用的技术方案为：一种用于制备防结焦涂层的基片清洗装置，包括：工作台和设置在所述工作台顶部内侧的若干清洗框，以及设置在所述工作台顶部的清洗移动组件；

3、所述清洗移动组件包括：设置在所述工作台内侧底部的超声波发生器，设置在所述清洗框底部的若干压电换能器，以及开设在所述工作台和若干所述清洗框顶部的移动槽；所述超声波发生器与若干所述压电换能器电性连接，所述工作台的顶部设置有移动板；

4、所述移动板的底部固定有固定框，所述固定框的内侧设置有若干夹板，所述移动板靠近两端的底部固定有若干固定柱，所述固定柱的底部转动连接有转轮，所述工作台的顶部开设有若干限位滑槽，所述转轮的底部卡接在所述限位滑槽的内侧。

5、本实用新型一个较佳实施例中，所述固定框的内侧转动连接有转动杆，所述转动杆的侧面设置有方向相反的螺纹，若干所述夹板的内侧与所述转动杆的侧面螺纹连接，所述转动杆位于所述固定框外部的一端设置有六角螺母。

6、本实用新型一个较佳实施例中，所述限位滑槽位于相邻所述清洗框一侧的截面形状为w型，若干所述限位滑槽对称设置在所述清洗框的侧面。

7、本实用新型一个较佳实施例中，若干所述清洗框呈线性阵列的方式均匀分布在所述工作台顶部的内侧。

8、本实用新型一个较佳实施例中，工作台的顶部设置有平移组件，所述平移组件包括：固定在所述工作台顶部的若干固定板，设置在所述固定板一侧的伺服电机，以及设置在所述伺服电机输出端的转动丝杆；所述转动丝杆的侧面螺纹连接有移动块，所述移动块的底部固定有伸缩杆，所述伸缩杆的一端与所述移动板的顶部固定连接。

9、本实用新型一个较佳实施例中，所述伸缩杆的侧面套接有复位弹簧，所述复位弹簧的一端与所述移动块的底部固定连接，另一端与所述移动板的顶部固定连接。

10、本实用新型一个较佳实施例中，所述转动丝杆的两端通过轴承与若干所述固定板的内侧转动连接，所述转动丝杆与所述移动槽同轴设置。

11、本实用新型一个较佳实施例中，所述伺服电机通过螺栓连接在所述固定板的一侧。

12、本实用新型一个较佳实施例中，所述清洗框的底部设置有出水口。

13、本实用新型一个较佳实施例中，所述工作台的底部设置有若干支撑腿，若干所述支撑腿的底部设置有若干防滑垫。

14、本实用新型解决了背景技术中存在的缺陷，本实用新型具备以下有益效果：

15、(1)本实用新型提供了一种用于制备防结焦涂层的基片清洗装置，通过在工作台的顶部设置清洗移动组件，将清洗液放入若干清洗框内部后，在超声波发生器和若干压电换能器的配合下，能够对若干清洗框产生超声震动的效果，将基片固定在若干夹板之间，对移动板进行移动，通过固定柱、转轮和限位滑槽的配合，能够带动基片沿着移动槽依次经过若干清洗框进行反复清洗，当基片位于清洗框内部时，通过利用高频振动产生的微小气泡破裂和冲击力，可以深入到基片表面的微小缝隙和孔洞，彻底清除污垢和杂质，并且不需要直接接触基片表面，减少了对基片的摩擦和刮擦，从而避免对基片产生的不利影响。

16、(2)本实用新型中，通过在工作台的顶部设置平移组件，在伺服电机、转动丝杆、移动块和伸缩杆的作用下，可以带动移动板进行移动，进而使得基片可以沿着转动丝杆进行移动，通过控制转动的速度，可以调节基片位于清洗框内进行清洗的时间，灵活性较高，并通过复位弹簧的配合，可以使得转轮稳固在限位滑槽内进行移动，从而提高了装置的实用性。

技术特征：

1.一种用于制备防结焦涂层的基片清洗装置，其特征在于，包括：工作台(1)和设置在所述工作台(1)顶部内侧的若干清洗框(11)，以及设置在所述工作台(1)顶部的清洗移动组件；

2.根据权利要求1所述的一种用于制备防结焦涂层的基片清洗装置，其特征在于：所述固定框(24)的内侧转动连接有转动杆(3)，所述转动杆(3)的侧面设置有方向相反的螺纹，若干所述夹板(25)的内侧与所述转动杆(3)的侧面螺纹连接，所述转动杆(3)位于所述固定框(24)外部的一端设置有六角螺母(31)。

3.根据权利要求1所述的一种用于制备防结焦涂层的基片清洗装置，其特征在于：所述限位滑槽(28)位于相邻所述清洗框(11)一侧的截面形状为w型，若干所述限位滑槽(28)对称设置在所述清洗框(11)的侧面。

4.根据权利要求1所述的一种用于制备防结焦涂层的基片清洗装置，其特征在于：若干所述清洗框(11)呈线性阵列的方式均匀分布在所述工作台(1)顶部的内侧。

5.根据权利要求1所述的一种用于制备防结焦涂层的基片清洗装置，其特征在于：工作台(1)的顶部设置有平移组件，所述平移组件包括：固定在所述工作台(1)顶部的若干固定板(4)，设置在所述固定板(4)一侧的伺服电机(41)，以及设置在所述伺服电机(41)输出端的转动丝杆(42)；所述转动丝杆(42)的侧面螺纹连接有移动块(43)，所述移动块(43)的底部固定有伸缩杆(44)，所述伸缩杆(44)的一端与所述移动板(23)的顶部固定连接。

6.根据权利要求5所述的一种用于制备防结焦涂层的基片清洗装置，其特征在于：所述伸缩杆(44)的侧面套接有复位弹簧(45)，所述复位弹簧(45)的一端与所述移动块(43)的底部固定连接，另一端与所述移动板(23)的顶部固定连接。

7.根据权利要求5所述的一种用于制备防结焦涂层的基片清洗装置，其特征在于：所述转动丝杆(42)的两端通过轴承与若干所述固定板(4)的内侧转动连接，所述转动丝杆(42)与所述移动槽(22)同轴设置。

8.根据权利要求5所述的一种用于制备防结焦涂层的基片清洗装置，其特征在于：所述伺服电机(41)通过螺栓连接在所述固定板(4)的一侧。

9.根据权利要求1所述的一种用于制备防结焦涂层的基片清洗装置，其特征在于：所述清洗框(11)的底部设置有出水口(5)。

10.根据权利要求1所述的一种用于制备防结焦涂层的基片清洗装置，其特征在于：所述工作台(1)的底部设置有若干支撑腿(6)，若干所述支撑腿(6)的底部设置有若干防滑垫。

技术总结本技术公开了一种用于制备防结焦涂层的基片清洗装置，包括：工作台和设置在所述工作台顶部内侧的若干清洗框，以及设置在所述工作台顶部的清洗移动组件；所述清洗移动组件包括：设置在所述工作台内侧底部的超声波发生器，在超声波发生器和若干压电换能器的配合下，能够对若干清洗框产生超声震动的效果，将基片固定在若干夹板之间，对移动板进行移动，能够带动基片沿着移动槽依次经过若干清洗框进行反复清洗，当基片位于清洗框内部时，通过利用高频振动产生的微小气泡破裂和冲击力，可以深入到基片表面的微小缝隙和孔洞，彻底清除污垢和杂质，并且不需要直接接触基片表面，减少了对基片的摩擦和刮擦，从而避免对基片产生的不利影响。技术研发人员：朱权,陈君武受保护的技术使用者：苏州钛阳新材料有限公司技术研发日：20231031技术公布日：2024/7/15