一种用于加工集成进气块的设备及一种集成进气块的制作方法

本技术涉及薄膜加工，尤其涉及一种用于加工集成进气块的设备，以及一种集成进气块。

背景技术：

1、在原子层沉积(atomic layer deposition，ald)、ono(oxide/nitride/oxide)叠层薄膜制作等半导体薄膜加工过程中，所应用的加工气体的种类数量繁多，通常需要使用多孔分气块来实现多种气体的分配和控制。

2、集成进气块是一种集成度较高、体积较小、内部具有多根管道的多孔分气块。为适应半导体薄膜加工的需求，集成进气块的内部管道中需要设计大量的交叉联通管道。然而，由于集成进气块的较高集成度与小体积的特点，现有技术通常采用的钻头等手工方式，无法对集成进气块内部过深的交叉联通管道进行理想的成型加工与抛光，无法测量与控制所加工出来的集成进气块的内部交叉联通管道的质量，也无法保证所得到的相贯球线符合标准。

3、为了克服现有技术所存在的上述缺陷，本领域亟需一种集成进气块的加工技术，用于使所加工的集成进气块的深孔交叉点在成型的同时，还能具备顺滑的过渡衔接，并实现高标准的内壁抛光的要求。

技术实现思路

1、以下给出一个或多个方面的简要概述以提供对这些方面的基本理解。此概述不是所有构想到的方面的详尽综览，并且既非旨在指认出所有方面的关键性或决定性要素亦非试图界定任何或所有方面的范围。其唯一的目的是要以简化形式给出一个或多个方面的一些概念以为稍后给出的更加详细的描述之序。

2、如上所述，由于集成进气块的较高集成度与小体积的特点，现有技术通常采用的钻头等手工方式，无法对集成进气块内部过深的交叉联通管道进行理想的成型加工与抛光，无法测量与控制所加工出来的集成进气块的内部交叉联通管道的质量，也无法保证所得到的相贯球线符合合格的标准。

3、为了克服现有技术所存在的上述缺陷，本实用新型提供了一种用于加工集成进气块的设备，能够使所加工的集成进气块的深孔交叉点在成型的同时，还能具备顺滑的过渡衔接，并实现高标准的内壁抛光的要求。

4、具体来说，根据本实用新型的第一方面提供的上述用于加工集成进气块的设备包括：石墨电极，用于伸入所述集成进气块中多条孔洞的至少一个交叉点，对其内壁进行电火花放电，以去除所述交叉点处的相贯线；流体槽，用于向所述孔洞中灌注混合磨料的流体，以对所述孔洞的内壁进行流体抛光；以及直流电源，包括正极和负极，其中，所述正极连接所述集成进气块，所述负极插入所述流体槽，以在所述流体抛光的同时，对所述流体与所述孔洞的内壁的接触面进行电解抛光。

5、优选地，在本实用新型的一实施例中，所述石墨电极连接高压脉冲电源，用于对所述内壁进行脉冲的电火花放电，以去除所述交叉点处的相贯线。

6、优选地，在本实用新型的一实施例中，所述石墨电极具有球状外形，用于对所述内壁进行电火花放电，以去除所述交叉点处的相贯线，并获得圆滑过渡的相交孔轮廓。

7、优选地，在本实用新型的一实施例中，还包括：钻头，用于在所述集成进气块上钻削所述多条孔洞，以形成所述至少一个交叉点。

8、优选地，在本实用新型的一实施例中，所述钻头带有护架，所述护架围绕所述钻头，以阻止所述钻头在所述孔洞中的震颤。

9、优选地，在本实用新型的一实施例中，还包括：球头铣刀，用于在所述交叉点处加工出相贯线。

10、优选地，在本实用新型的一实施例中，还包括：球形铰刀，用于精修所述交叉点处的所述相贯线的线型，并调节所述内壁的粗糙度。

11、优选地，在本实用新型的一实施例中，所述球形铰刀具有适配所述孔洞的目标轮廓的定制头型。

12、此外，根据本实用新型的第二方面提供的上述集成进气块中包括多条孔洞，所述多条孔洞相互交叉联通，以形成至少一个交叉点，至少一个所述交叉点是由上述任意一个实施例所提供的用于加工集成进气块的设备加工的。

技术特征：

1.一种用于加工集成进气块的设备，其特征在于，包括：

2.如权利要求1所述的设备，其特征在于，所述石墨电极连接高压脉冲电源，用于对所述内壁进行脉冲的电火花放电，以去除所述交叉点处的相贯线。

3.如权利要求1所述的设备，其特征在于，所述石墨电极具有球状外形，用于对所述内壁进行电火花放电，以去除所述交叉点处的相贯线，并获得圆滑过渡的相交孔轮廓。

4.如权利要求1所述的设备，其特征在于，还包括：

5.如权利要求4所述的设备，其特征在于，所述钻头带有护架，所述护架围绕所述钻头，以阻止所述钻头在所述孔洞中的震颤。

6.如权利要求1所述的设备，其特征在于，还包括：

7.如权利要求6所述的设备，其特征在于，还包括：

8.如权利要求7所述的设备，其特征在于，所述球形铰刀具有适配所述孔洞的目标轮廓的定制头型。

9.一种集成进气块，其特征在于，所述集成进气块中包括多条孔洞，所述多条孔洞相互交叉联通，以形成至少一个交叉点，至少一个所述交叉点是由如权利要求1～8中任一项所述的用于加工集成进气块的设备加工的。

技术总结本技术提供了一种用于加工集成进气块的设备以及一种集成进气块。该用于加工集成进气块的设备包括：石墨电极，用于伸入集成进气块中多条孔洞的至少一个交叉点，对其内壁进行电火花放电，以去除交叉点处的相贯线；流体槽，用于向孔洞中灌注混合磨料的流体，以对孔洞的内壁进行流体抛光；以及直流电源，包括正极和负极，其中，正极连接集成进气块，负极插入流体槽，以在流体抛光的同时，对流体与孔洞的内壁的接触面进行电解抛光。本技术提供的用于加工集成进气块的设备能够使所加工的集成进气块的深孔交叉点成型的同时，还能具备顺滑的过渡衔接，并实现高标准的内壁抛光的要求。技术研发人员：郑旭东,魏有雯,吴凤丽受保护的技术使用者：拓荆科技(上海)有限公司技术研发日：20230927技术公布日：2024/6/18